目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。研發(fā)人員制作出一種小型傳感器，這種傳感器將一個穩(wěn)定的膜片與易傳感的硅納米線結(jié)合在一起，從而使得MEMS壓力傳感器可以更穩(wěn)定耐用。
2013-01-28 16:27:56
2378 
先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車電子穩(wěn)定程序（ESP）微傳感器及系統(tǒng)”針對汽車電子應(yīng)用需求，對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計，開發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計芯片。
2013-04-22 10:24:011587 硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個重要分支，具有十分廣闊的應(yīng)用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應(yīng)快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點(diǎn)，而且 該種傳感器在強(qiáng)輻射作用下能正常工作，使其近年來發(fā)展迅速。
2014-07-07 19:20:302809 
目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)電傳感器。
2016-10-27 11:50:5828755 
關(guān)于MEMS傳感器的基礎(chǔ)知識，你了解多少？本文將從MEMS傳感器的概念、制造及工藝、MEMS傳感器與傳統(tǒng)傳感器的區(qū)別、MEMS傳感器的分類幾大部分詳解，幫助初識MEMS傳感器的讀者快速了解這一重要器件。
2016-12-06 10:47:2210250 由于MEMS傳感器測量的外部信號不同，不同類型的MEMS傳感器技術(shù)差異較大。MEMS慣性傳感器主要檢測物體的運(yùn)動，需要將傳感器安裝在載體上用于檢測載體的運(yùn)動，因此MEMS多為密閉式封裝。
2023-06-13 09:08:389942 
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容，分為兩部分，共計212頁P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類，基本敏感原理介紹，MEMS微傳感器實(shí)例、MEMS微執(zhí)行器分類
2023-09-05 08:46:232843 
MEMS傳感器及其應(yīng)用
2012-08-14 22:45:22
的剎車傳感器，側(cè)面氣囊，與日益嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻，再以惠斯頓
2018-11-07 10:56:09
預(yù)計在未來十年，傳感器的數(shù)量將達(dá)到萬億級，其價值是不可估量的。隨著汽車、消費(fèi)電子和醫(yī)療電子的發(fā)展，國內(nèi)市場對傳感器的需求呈現(xiàn)直線上升趨勢。以MEMS傳感器為代表的傳感器技術(shù)達(dá)到了巔峰。
2020-08-25 07:56:50
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，以半導(dǎo)體制造技術(shù)為
2016-12-09 17:46:21
和線振動式加速度計等，常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機(jī)械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風(fēng)等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒有完全標(biāo)準(zhǔn)的工藝。
2018-11-12 10:51:35
，；應(yīng)用最多的屬于振動陀螺儀，通常，它與低加速度計一起構(gòu)成主動控制系統(tǒng)。MEMS傳感器的廣泛應(yīng)用，強(qiáng)烈需要研究出高精密汽車傳感器焊接工藝。 汽車MEMS傳感器芯片多以單晶硅或多晶硅或微硅質(zhì)量塊作為材料
2022-10-18 18:28:49
傳感器曾經(jīng)被局限在汽車市場和工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域；今天，隨著MEMS傳感器越來越小，價格越來越低，能效越來越高，設(shè)計和應(yīng)用空間不斷擴(kuò)大，它在消費(fèi)類應(yīng)用市場的普及率正在不斷提高?！ ≈圃爝@些器件所采用的微加工
2018-10-31 16:56:44
MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應(yīng)用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個芯片上，這樣能夠感知被測參數(shù)，并且還能對所得到的信號進(jìn)行分析、處理和識別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS傳感器的主要分類MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？
2020-12-03 07:28:39
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
MEMS傳感器普及將加速物聯(lián)網(wǎng)時代到來
2021-02-22 07:16:32
MEMS傳感器面臨哪些挑戰(zhàn)呢？MEMS傳感器面對這些挑戰(zhàn)該如何去解決呢？
2021-07-19 06:39:01
電子技術(shù)蓬勃發(fā)展的今天倍受矚目。美國汽車傳感器權(quán)威弗萊明在2000年的汽車電子技術(shù)綜述就指出了MEMS技術(shù)在汽車傳感器領(lǐng)域的美好前景。設(shè)計了基于MEMS技術(shù)和智能化信號調(diào)理的擴(kuò)散硅壓力傳感器應(yīng)對汽車壓力
2011-09-20 15:53:04
使用熱氧化工藝來微調(diào)一維或二維硅結(jié)構(gòu)而生產(chǎn)出來。熱氧化在硅納米線的制造中具有特殊價值，硅納米線被廣泛用作機(jī)械和電子組件的MEMS系統(tǒng)。高深寬比（HAR）硅微加工體硅和表面硅微加工都用于傳感器，噴墨噴嘴和其他
2021-01-05 10:33:12
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。
2019-10-16 08:34:16
意法半導(dǎo)體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導(dǎo)體迅速擴(kuò)大了在消費(fèi)電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實(shí)現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價格、更高
2019-11-05 06:19:06
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是指集機(jī)械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)。MEMS慣性傳感器可構(gòu)成
2020-05-18 06:28:30
什么是氣壓傳感器？壓力傳感器的工作原理是什么？主要有哪幾種？MEMS氣壓傳感器在IoT中的應(yīng)用有哪些？
2021-07-08 07:27:39
MEMS磁傳感器的時間。 1.2 MEMS磁傳感器制作 通常，MEMS磁場傳感器的制造可以采用體或表面微加工工藝來實(shí)現(xiàn)。由于硅具有很好的機(jī)械和電學(xué)性質(zhì)而被用來作為其主要加工材料，例如，硅具有最小
2018-11-09 10:38:15
目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技術(shù)已經(jīng)朝著微型化、集成化及智能化的趨勢發(fā)展?；?b class="flag-6" style="color: red">MEMS工藝的硅壓阻式壓力傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空、石油化工
2018-11-05 15:37:57
和溫度補(bǔ)償傳感器。校準(zhǔn)為表壓傳感器，將壓力傳感器與信號調(diào)節(jié)ASIC封裝在一個單獨(dú)的封裝中，可簡化高級硅微加工壓力傳感器的使用。壓力傳感器可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)印刷電路板上，并且可以從模擬輸出中獲取高水平
2020-07-07 09:19:45
。 作為意法半導(dǎo)體最新的MEMS產(chǎn)品，LIS3DH的設(shè)計和制造采用意法半導(dǎo)體銷售超過7億支的運(yùn)動傳感器的制程技術(shù)?！ ?、博世 智能手環(huán)代表：ibody Rainbow、Jawbone UP、Smart
2018-11-12 16:11:06
、自判斷和自愈能力。MEMS加速度傳感器國產(chǎn)化替代正緊鑼密鼓?！跋嚓P(guān)科研院所已突破高精度SOI工藝加工、圓片級可調(diào)阻尼封裝、低功耗ASIC專用集成電路等關(guān)鍵技術(shù)?！眳侮栒f。SOI工藝，指在頂層硅和襯底硅
2018-12-03 16:33:20
：AWR1x和IWR1x。全新毫米波傳感器產(chǎn)品組合中的5款器件都具有小于4厘米的距離分辨率，距離精度低至小于50微米，范圍達(dá)到300米。同時，功耗和電路板面積相應(yīng)減少了50%。且看單芯片毫米波傳感器如何拋棄鍺硅工藝，步入CMOS時代？
2019-07-30 07:03:34
材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器，具有精度高、靈敏度高、動態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點(diǎn)。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩(wěn)定性好。同時，微壓力傳感器易于與微溫度
2018-11-07 11:01:49
商業(yè)硅霍爾傳感器與量子阱霍爾傳感器生成的區(qū)別在哪？
2022-02-22 08:03:43
硅微加速度傳感器是。MEMS器件中的一個重要分支，具有十分廣闊的應(yīng)用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應(yīng)快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點(diǎn)，而且該種傳感器在強(qiáng)輻射作用下能正常工作，使其近年來
2018-11-01 17:23:05
力、汽車胎壓壓力等。其中機(jī)油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機(jī)油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機(jī)機(jī)油壓力傳感器，研究了機(jī)油壓力傳感器的封裝工藝
2019-07-16 08:00:59
當(dāng)前MEMS技術(shù)在傳感器領(lǐng)域已得到廣泛應(yīng)用并取得了巨大成功。使用硅基微機(jī)械加工方法制作的微傳感器不僅體積小，成本低，機(jī)械牲好，并且能方便地與IC集成。形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。
2011-03-22 17:44:34
基于硅納米線的生物氣味傳感器是什么？硅納米線表面連接修飾OBP蛋白分子的方法有哪些？基于硅納米線的氣味識別生物傳感器的結(jié)構(gòu)是如何構(gòu)成的？
2021-07-11 07:43:02
檢測與待測物濃度相關(guān)的電流信號實(shí)現(xiàn)生物分子的檢測和識別，相對于傳統(tǒng)的光譜免疫檢測具有響應(yīng)快、靈敏度高、成本低、體積小等特點(diǎn)?！ 』?b class="flag-6" style="color: red">MEMS工藝在硅襯底上制備微電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)免疫檢測，能夠?qū)崿F(xiàn)免疫傳感器
2018-11-15 14:48:44
的技術(shù)組件： · 單晶硅傳感器 · 高性能ASIC · 兩個芯片外殼 圖3 產(chǎn)品參數(shù)表 傳感器的核心：單晶硅傳感器 硅傳感器（每個MEMS的核心）傳統(tǒng)上是批量生產(chǎn)或以表面微加工工藝制造
2020-07-07 09:36:40
的線性度受傳感器系統(tǒng)鏈中每個模塊的線性度影響，而且C/V和A/D的動態(tài)范圍要求可能會更加嚴(yán)格。相反，將MEMS傳感器放在負(fù)反饋閉環(huán)中使用有許多好處，例如改進(jìn)的帶寬、對MEMS器件的工藝和溫度變化具有
2018-11-06 16:07:28
，通過將ACEINNA MDP200傳感器、MEMS傳感器和信號調(diào)解電路集成在單芯片上，來構(gòu)建MEMS流量傳感器。CMOS工藝中，多晶硅和鋁屬于常用材料，通常用于互連。在熱式MEMS傳感器中，多晶硅可
2018-08-29 10:50:19
與主動組件、相機(jī)穩(wěn)定與GPS的陀螺儀、小型燃料電池與生化芯片等，應(yīng)用最多的傳感器是加速計、陀螺儀與MEMS硅麥克風(fēng)，其中加速度計是該市場中第一大應(yīng)用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長迅速，已經(jīng)成為繼加速度計后
2016-12-07 15:43:48
美國汽車傳感器權(quán)威弗萊明在2000年的汽車電子技術(shù)綜述就指出了MEMS技術(shù)在汽車傳感器領(lǐng)域的美好前景。設(shè)計了基于MEMS技術(shù)和智能化信號調(diào)理的擴(kuò)散硅壓力傳感器應(yīng)對汽車壓力系統(tǒng)的壓力檢測。
2020-03-18 07:40:15
構(gòu)成。使用此結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)將壓力、溫度、加速度這些物理量轉(zhuǎn)換成電氣信號的傳感器，還可實(shí)現(xiàn)提供電氣信號使可動結(jié)構(gòu)體像機(jī)械一樣運(yùn)動的所謂執(zhí)行器功能。MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，與使用了CMOS工藝
2019-07-04 06:06:12
在汽車電子控制系統(tǒng)的快速增長的市場需求下，汽車傳感器技術(shù)不斷發(fā)展。未來汽車傳感器的發(fā)展總體趨勢是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工藝制成的新型傳感器。MEMS技術(shù)傳感器成為汽車傳感器的主要部件。
2020-05-20 07:50:30
穩(wěn)定控制系統(tǒng)中的剎車傳感器，側(cè)面氣囊，與日益嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只
2016-12-07 15:42:36
MEMS傳感器應(yīng)用在航空航天領(lǐng)域，要求適應(yīng)在不同的空間環(huán)境，包括：真空、電磁輻射、高能粒子輻射、等離子體、微流星體、行星大氣、磁場和引力場等，以及航天器某些系統(tǒng)工作時或在空間環(huán)境作用下產(chǎn)生的誘導(dǎo)環(huán)境
2016-12-07 15:45:00
加工工藝成熟，與IC工藝兼容性好，可以在單個直徑為幾十毫米的單晶硅基片上批量生成數(shù)百個MEMS裝置。美國加州大學(xué)Berkeley分校的傳感器與執(zhí)行器研究中心（BSAC）首先完成了三層多晶硅表面MEMS
2018-11-05 15:42:42
`如圖所示，這種傳感器上面有水，電阻會變化?？瓷先ズ孟窬褪呛芏嗑€并排。這種傳感器的原理是什么？制作工藝是什么？`
2017-07-06 18:07:19
作為一枚實(shí)習(xí)僧，樓主被要求熟悉咱大ADI的產(chǎn)品，其中一張MEMS傳感器分類表嚇到寶寶了，MEMS傳感器分類居然如此復(fù)雜！不信請看：剛看見這張表，樓主內(nèi)心是崩潰的——怎么這么多！那么問題來了，挖掘機(jī)
2019-02-19 13:43:21
件相適應(yīng),于是制約了整個系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡單的物理縮小的產(chǎn)物,而是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng),使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料,通過MEMS 加工技術(shù)制備的新一代
2019-07-24 07:13:29
本技術(shù)筆記為采用 HLGA 表面貼裝封裝的 MEMS 傳感器產(chǎn)品提供 PCB設(shè)計和焊接工藝的通用指南。
2023-09-13 08:03:50
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)是通過使用先進(jìn)的微制造技術(shù)將機(jī)械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實(shí)現(xiàn)。如今，這些技術(shù)已經(jīng)逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當(dāng)大的設(shè)計優(yōu)勢。
2019-08-02 06:35:04
基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設(shè)計
硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個重要分支，具有十分廣闊的應(yīng)用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應(yīng)快、靈敏度高
2009-12-04 09:42:491383 硅電容壓力傳感器是利用硅基材料， 應(yīng)用電容原理， 采用MEMS 工藝制作的一類新型壓力傳感器。
2011-09-23 19:24:406052 
MEMS壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特定晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯通電橋，利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，制成了一個集力
2018-03-30 16:03:003936 
據(jù)報道，通過蘭微電子2017年年度業(yè)績預(yù)增公告來看，2018年士蘭微將重點(diǎn)布局MEMS傳感器市場，國產(chǎn)化進(jìn)程提速，MEMS傳感器應(yīng)用前景一片大好，士蘭微或?qū)屨紘鴥?nèi)中高端MEMS傳感器市場。
2018-01-30 14:19:074666 MEMS 的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)，利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械機(jī)構(gòu)、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。具有小體積、低成本、集成化等特點(diǎn)。
2018-07-31 09:23:001418 MEMS讓傳感器小型化、智能化，MEMS傳感器將在智慧工業(yè)時代大有可為。MEMS溫度、濕度傳感器可用于環(huán)境條件的檢測，MEMS加速度計可以用來監(jiān)測工業(yè)設(shè)備的振動和旋轉(zhuǎn)速度。高精度的MEMS加速度計和陀螺儀可以為工業(yè)機(jī)器人的導(dǎo)航和轉(zhuǎn)動提供精確的位置信息。
2018-04-12 11:25:4512197 
據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）和傳感器代工廠Micralyne在日本“MEMS傳感和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)展會”上展示了用于開發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺——標(biāo)準(zhǔn)的硅工藝技術(shù)和工藝模塊。
2018-04-28 15:30:002449 麥姆斯咨詢：高精度慣性傳感器主要用于測量傾角、加速度和振動等。慣性傳感器作為MEMS器件，以單晶硅傳感器元件為基礎(chǔ)，采用最新的微機(jī)械加工技術(shù)制備。
2019-01-29 16:35:2120788 
北京大學(xué)微納電子學(xué)系高成臣教授課題組依托MEMS工藝平臺，經(jīng)過6年的持續(xù)研究，在國內(nèi)首次研制出了高性能的熱式聲粒子振速傳感器，并完成了聲粒子振速傳感器與聲壓傳感器的系統(tǒng)集成，制作出了高性能的MEMS空氣聲矢量傳感器，該傳感器能夠完成聲壓信號的全信息檢測。
2019-05-27 10:37:078731 微機(jī)械加速度傳感器是一種典型的微機(jī)電系統(tǒng)（microelectromechanical system，MEMS），在航空、航天、汽車等領(lǐng)域已得到了越來越廣泛的應(yīng)用，但基于MEMS微加速度傳感器技術(shù)的無線輸入設(shè)備的研究和應(yīng)用還不是很多，微加速度傳感器用于輸入設(shè)備的潛在優(yōu)勢還沒有得到很好的應(yīng)用。
2019-09-02 11:31:071923 
用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)。同時，MEMS傳感器不僅能夠感知被測參數(shù)，將其轉(zhuǎn)換成方便度量的信號;而且能對所得到的信號進(jìn)行分析、處理和識別、判斷，因此形象地被稱為智能傳感器。
2019-12-25 10:21:254886 MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制
2020-03-31 11:01:251830 伴隨著物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，傳感器也迎來了新的發(fā)展機(jī)遇。近幾年幾乎每年保持兩位數(shù)的增長，中國傳感器市場規(guī)模接近一千五百億人民幣，傳感器的類型是多樣化的，MEMS傳感器市場規(guī)模占比達(dá)到一半以上，而MEMS傳感器和智能傳感器無疑是未來幾年的主流。
2020-04-12 11:39:289992 一文了解MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈 一、MEMS簡介MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)利用半導(dǎo)體制造工藝和材料，將傳感器、執(zhí)行器、機(jī)械機(jī)構(gòu)、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統(tǒng)，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在
2020-05-11 09:13:122254 、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占
2020-05-18 17:13:251561 美新半導(dǎo)體主營業(yè)務(wù)是MEMS傳感器。MEMS傳感器離我們并不遙遠(yuǎn)，大家日常使用的手機(jī)中其實(shí)就有MEMS陀螺儀。MEMS傳感器在汽車、航天、航空、軍事、消費(fèi)電子產(chǎn)品等諸多方面都有廣闊的應(yīng)用潛力。
2020-05-15 17:23:035151 那MEMS傳感器又是什么？MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片（ASIC芯片）封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風(fēng)內(nèi)部構(gòu)造的放大圖，圖內(nèi)右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風(fēng)。
2020-06-12 09:42:2279319 近年來，傳感所以巨磁阻傳感器的研制為MEMS傳感器的研發(fā)突破口，不斷擴(kuò)展研究領(lǐng)域，宋玉哲著力于具有巨磁阻效應(yīng)的自旋閥和磁隧道結(jié)的研制，這兩類晶圓是巨磁阻傳感器研發(fā)最前端的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，該技術(shù)被跨國公司長期壟斷，是國內(nèi)亟需解決的行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)。
2020-06-20 10:02:379006 MEMS是微傳感器（Micro-Electro-Mechanical System）的縮寫，它是一種小體積的、利用傳感技術(shù)對被測量信息進(jìn)行檢測的設(shè)備。
2020-07-21 16:12:09875 ；由于MEMS傳感器的制造涉及芯片加工，工藝線投入大，一般產(chǎn)品公司可通過共享來完成。這三個環(huán)節(jié)密切聯(lián)系在一起，產(chǎn)品公司可實(shí)現(xiàn)MEMS傳感器的大規(guī)模銷售。
2020-08-28 11:22:231121 敏芯股份是全球領(lǐng)先的MEMS微傳感器制造商。經(jīng)過長達(dá)十幾年的研發(fā)，我們擁有基于自主研發(fā)、自有知識產(chǎn)權(quán)的MEMS / ASIC芯片的MEMS硅麥克風(fēng)、壓力傳感器以及加速度傳感器產(chǎn)品線。同時，公司擁有基于中國大陸完整的本土化產(chǎn)業(yè)鏈。
2020-09-03 10:27:494193 、 技術(shù)附加值高 , 適于批量化生產(chǎn) 、 易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。 MEMS 傳感器和IC芯片最大的區(qū)別在于：MEMS 是可動結(jié)構(gòu)，利用微納加工技術(shù)同時加工出機(jī)械結(jié)構(gòu)和電路系統(tǒng)。如圖1中所示，是目前市場中常見的一些MEMS傳感器，并且隨著MEMS傳感器的不斷發(fā)展，還出現(xiàn)了許多從前沒有的
2020-12-28 15:42:4010965 具有代表性的基于金屬氧化物半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應(yīng)用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領(lǐng)域的氣體檢測，該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設(shè)的核心節(jié)點(diǎn)，MEMS技術(shù)為解決MOS氣體傳感器的該類問題提供了強(qiáng)有力的有效途逕和方案。
2020-12-26 00:18:593249 MEMS制程各工藝相關(guān)設(shè)備的極限能力又是限定器件尺寸的關(guān)鍵要素，且其相互之間的配套方能實(shí)現(xiàn)設(shè)備成本的最低；下面先簡要介紹一下前段制程的特點(diǎn)及涉及的設(shè)備。
2021-01-11 10:35:423099 MEMS壓力傳感器是具有電源、接口電路、執(zhí)行器、微型傳感器和信號處理的微型的機(jī)電系統(tǒng)。它可以使用在制作工藝和電路設(shè)計，低成本而高精度地進(jìn)行大量的生產(chǎn)。其實(shí)傳統(tǒng)的壓力傳感器是在當(dāng)金屬彈性體受到
2021-03-11 14:53:42
124 中心占地面積1000平方米，擁有凈化面積達(dá)500平方米的4英寸MEMS工藝線，配置了國際一流的微納加工、測試、封裝設(shè)備，具備硅基MEMS矢量水聽器、MEMS壓阻式壓力傳感器、MEMS加速度計、熱電堆紅外探測器等全套工藝加工能力
2021-04-06 11:06:235719 合肥微納成立于2015年，專注于MEMS傳感器及模塊的研發(fā)與量產(chǎn)，公司主要產(chǎn)品包括MEMS氣體傳感器、MEMS氣體流量傳感器、MEMS紅外溫度傳感器及模組，廣泛應(yīng)用于消費(fèi)、家電、汽車等領(lǐng)域。
2021-05-24 14:53:389740 MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微機(jī)電系統(tǒng)，是在微米級尺寸上進(jìn)行精密微加工，制作形成各種類型的微傳感器及微執(zhí)行器。壓力傳感器是MEMS傳感器中最早出現(xiàn)及應(yīng)用的傳感器之一
2022-04-19 14:32:064932 MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System），是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口
2022-06-08 11:33:2810567 物理學(xué)院余向陽教授，奧迪威總經(jīng)理張曙光先生等作為技術(shù)交流嘉賓，圍繞PMUT技術(shù)產(chǎn)品“MEMS超聲波傳感器AW101”進(jìn)行了分享。 MEMS超聲波傳感器：AW101 MEMS超聲波傳感器AW101是將壓電薄膜作為功能薄膜與硅基MEMS（微機(jī)電）相集成的新一代超聲波傳感器產(chǎn)品，通過晶圓級MEMS微納工藝制
2022-11-18 17:41:191951 本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容，分為兩部分，共計212頁P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類，基本敏感原理介紹，MEMS微傳感器實(shí)例、MEMS微執(zhí)行器分類
2023-03-29 15:50:512347 ——原理、設(shè)計和應(yīng)用》，說明了MEMS電容式傳感器、MEMS觸覺傳感器、MEMS壓電式加速度計等常見傳感器的原理和構(gòu)造，可選自己感興趣的部分MEMS傳感器知識閱讀。 ? 傳感器技術(shù)的演進(jìn)趨勢，是向著超小型化或微系統(tǒng)技術(shù)（MST）發(fā)展。這方面的一個子系統(tǒng)就是MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）
2023-04-10 17:34:125526 納芯微推出一款基于硅的壓阻效應(yīng)并采用先進(jìn)的MEMS微加工工藝設(shè)計而成的汽車級壓差傳感器模組NSPGM2系列。該產(chǎn)品采用汽車級信號調(diào)理芯片對貴金屬MEMS芯體輸出進(jìn)行校準(zhǔn)和補(bǔ)償，能將0~±5kPa
2023-05-30 14:39:411419 
MEMS傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，在推動各種傳感設(shè)備小型化方面發(fā)揮著巨大作用，并逐漸取代傳統(tǒng)的機(jī)械傳感器，如智能手機(jī)、健身手環(huán)、打印機(jī)、汽車、無人機(jī)和VR/AR耳機(jī)等。幾乎所有最近的電子產(chǎn)品都使用MEMS傳感器。下面就為大家介紹一下MEMS傳感器的應(yīng)用和分類。
2023-06-06 18:13:063504 
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))是指集機(jī)械元件、微傳感器、信號處理與控制電路、接口電路、通信和電源為一體的完整的微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS慣性傳感器可以組成低成本的INS/GPS組合導(dǎo)航系統(tǒng)。它是一種非常適合構(gòu)建小型捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)的慣性傳感器。MEMS慣性傳感器的突出特性使其在許多民用和軍事領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
2023-07-19 09:21:573833 環(huán)境傳感器可細(xì)分為氣體、溫度和濕度傳感器等。MEMS溫度傳感器可用于任何需要檢測溫度的地方。MEMS濕度傳感器在工業(yè)控制、氣象、農(nóng)業(yè)、礦山檢測等行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。MEMS氣體傳感器主要用于檢測目標(biāo)氣體的成分、濃度等。
2023-07-26 14:22:204983 工藝深刻地影響了現(xiàn)今傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。可以說，MEMS的工藝技術(shù)都是從集成電路（IC）行業(yè)借鑒而來的，特別在MEMS剛興起時，傳統(tǒng)IC行業(yè)的工藝設(shè)備和技術(shù)為MEMS制造提供了巨大的基礎(chǔ)設(shè)施。比如，MEMS中使用的光刻設(shè)備，可能是為IC制造而設(shè)計的前幾代設(shè)備，但設(shè)備的性能足以滿足
2023-10-20 16:10:355830 
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容，分為兩部分，共計212頁P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類，基本敏感原理介紹，MEMS微傳感器實(shí)例、MEMS微執(zhí)行器分類
2023-10-20 08:43:231555 
MEMS傳感器基本構(gòu)成MEMS被認(rèn)為是21世紀(jì)最有前途的技術(shù)之一，如果半導(dǎo)體微制造被視為第一次微制造革命，MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù)，MEMS具有革命性的工業(yè)
2024-09-24 08:07:481488 
MEMS傳感器是一種微型電子機(jī)械系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）傳感器，它將傳感器和微機(jī)電系統(tǒng)集成在一起，利用微納技術(shù)實(shí)現(xiàn)微型化。這種傳感器通常由微型機(jī)械結(jié)構(gòu)
2024-10-18 15:33:358508 MEMS硅麥傳感器已廣泛應(yīng)用于智能音箱、TWS耳機(jī)等消費(fèi)電子產(chǎn)品中，成為這些設(shè)備的核心組件。本文將探討MEMS硅麥傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域的應(yīng)用及其重要性。
2025-04-02 11:47:171039 
電子發(fā)燒友App
工商網(wǎng)監(jiān)
評論