MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應(yīng)用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號(hào)處理電路和敏感單元集成制作在一個(gè)芯片上，這樣能夠感知被測(cè)參數(shù)，并且還能對(duì)所得到的信號(hào)進(jìn)行分析、處理和識(shí)別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對(duì)微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測(cè)量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
Mark Looney對(duì)于采用MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言，優(yōu)化帶寬可能是關(guān)鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應(yīng)時(shí)間之間的一種經(jīng)典權(quán)衡。雖然多數(shù)MEMS傳感器制造商都會(huì)給出典型帶寬指標(biāo)
2018-10-24 10:42:31
`預(yù)計(jì)2014年MEMS組件市場(chǎng)規(guī)?？蛇_(dá)到80億美元，增長(zhǎng)率約14%，而其中一項(xiàng)重要的增長(zhǎng)動(dòng)力來源就是汽車電子領(lǐng)域，具體主要應(yīng)用在汽車安全性方面?！‰S著汽車技術(shù)的不斷進(jìn)步，傳感器等電子產(chǎn)品不斷應(yīng)用到
2014-08-08 11:08:12
電子技術(shù)蓬勃發(fā)展的今天倍受矚目。美國(guó)汽車傳感器權(quán)威弗萊明在2000年的汽車電子技術(shù)綜述就指出了MEMS技術(shù)在汽車傳感器領(lǐng)域的美好前景。設(shè)計(jì)了基于MEMS技術(shù)和智能化信號(hào)調(diào)理的擴(kuò)散硅壓力傳感器應(yīng)對(duì)汽車壓力
2011-09-20 15:53:04
使用熱氧化工藝來微調(diào)一維或二維硅結(jié)構(gòu)而生產(chǎn)出來。熱氧化在硅納米線的制造中具有特殊價(jià)值，硅納米線被廣泛用作機(jī)械和電子組件的MEMS系統(tǒng)。高深寬比（HAR）硅微加工體硅和表面硅微加工都用于傳感器，噴墨噴嘴和其他
2021-01-05 10:33:12
的專業(yè)人士創(chuàng)立，技術(shù)核心團(tuán)隊(duì)有在國(guó)外頂尖大學(xué)微納電子實(shí)驗(yàn)室從事MEMS技術(shù)研究的寶貴經(jīng)驗(yàn)，公司70%員工擁有研究生以上學(xué)歷，其中具有海外學(xué)習(xí)或工作背景的博士6名。公司在微機(jī)電(MEMS)慣性傳感器、超低
2012-08-03 15:38:31
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。
2019-10-16 08:34:16
隨著微機(jī)電系統(tǒng)（
MEMS）技術(shù)在微型化技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合了電子、機(jī)械、材料等多種學(xué)科交叉融合的前沿科研領(lǐng)域的不斷發(fā)展與成熟，從而出現(xiàn)了很多基于
MEMS技術(shù)的
傳感器，此類
傳感器具有體積小、重量輕、低功耗、多功能等優(yōu)點(diǎn)，在電子產(chǎn)品、航空航天、機(jī)械化工等行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用?！ ?/div>
2020-08-27 06:09:30
MS-2163：利用集成式MEMS慣性傳感器改 善工業(yè)控制
2019-09-03 14:31:55
意法半導(dǎo)體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價(jià)格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導(dǎo)體迅速擴(kuò)大了在消費(fèi)電子MEMS傳感器市場(chǎng)的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實(shí)現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價(jià)格、更高
2019-11-05 06:19:06
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是指集機(jī)械元素、微型傳感器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)。MEMS慣性傳感器可構(gòu)成
2020-05-18 06:28:30
rms震動(dòng)，100o/sec離軸旋轉(zhuǎn)。雖然只是短短幾年前，高性能慣性傳感器僅能通過光纖等方法來實(shí)現(xiàn)，現(xiàn)在工業(yè)MEMS工藝已明確證明它們完全可以勝任，關(guān)鍵導(dǎo)航指標(biāo)比較見以下表5。表5. 高性價(jià)比工業(yè)
2018-10-30 14:52:39
什么是氣壓傳感器？壓力傳感器的工作原理是什么？主要有哪幾種？MEMS氣壓傳感器在IoT中的應(yīng)用有哪些？
2021-07-08 07:27:39
車用MEMS的應(yīng)用有哪些？車用MEMS有哪些具體應(yīng)用體現(xiàn)？MEMS汽車傳感器在汽車電子控制系統(tǒng)的應(yīng)用是什么？
2021-06-17 10:57:24
MEMS磁傳感器的時(shí)間。 1.2 MEMS磁傳感器制作 通常，MEMS磁場(chǎng)傳感器的制造可以采用體或表面微加工工藝來實(shí)現(xiàn)。由于硅具有很好的機(jī)械和電學(xué)性質(zhì)而被用來作為其主要加工材料，例如，硅具有最小
2018-11-09 10:38:15
具有MEMS麥克風(fēng)傳感器參考設(shè)計(jì)的錄音機(jī)。該參考設(shè)計(jì)演示了基于SAMG53微控制器和兩個(gè)數(shù)字MEMS麥克風(fēng)傳感器的錄音機(jī)。該設(shè)計(jì)使用戶能夠輕松體驗(yàn)立體聲/單聲道音頻數(shù)據(jù)采集和存儲(chǔ)，以便通過I2S或PDM接口進(jìn)行進(jìn)一步處理
2020-05-20 14:45:44
MEMS黏度傳感器是另一款最新推出的產(chǎn)品。此類傳感器用于在汽車正常行駛時(shí)監(jiān)控發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部液體的黏度，通過監(jiān)測(cè)汽油和傳動(dòng)液的液體粘稠度，向司機(jī)提供反饋信息。此外，傳感器還能通過感應(yīng)軸承和機(jī)械軸的磨損狀況
2019-07-25 06:45:45
今后幾十年內(nèi)，影響和改變著世界經(jīng)濟(jì)格局和人們生活方式的10大科技領(lǐng)域，傳感器名列10大領(lǐng)域之首。如今，新原理、新技術(shù)、新工藝、新材料不斷涌出，傳感器自身也在發(fā)生質(zhì)的變化。目前，傳感器使用的MEMS工藝和MCU制程
2018-04-19 14:48:18
目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技術(shù)已經(jīng)朝著微型化、集成化及智能化的趨勢(shì)發(fā)展?；?b class="flag-6" style="color: red">MEMS工藝的硅壓阻式壓力傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空、石油化工
2018-11-05 15:37:57
Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”壓力傳感器。與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，該公司的第一款MEMS產(chǎn)品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢(shì)。此外，Apogee公司
2018-11-20 15:46:23
本技術(shù)筆記為采用 HLGA 表面貼裝封裝的 MEMS 傳感器產(chǎn)品提供 PCB 設(shè)計(jì)和焊接工藝的通用指南。
2023-09-05 08:27:53
和溫度補(bǔ)償傳感器。校準(zhǔn)為表壓傳感器，將壓力傳感器與信號(hào)調(diào)節(jié)ASIC封裝在一個(gè)單獨(dú)的封裝中，可簡(jiǎn)化高級(jí)硅微加工壓力傳感器的使用。壓力傳感器可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)印刷電路板上，并且可以從模擬輸出中獲取高水平
2020-07-07 09:19:45
節(jié)的多階壓力和溫度補(bǔ)償?shù)?b class="flag-6" style="color: red">傳感器。它有表壓配置。該器件將壓力傳感器與信號(hào)調(diào)節(jié)ASIC集成在單個(gè)封裝中，可以簡(jiǎn)化高級(jí)硅微加工壓力傳感器的使用。壓力傳感器可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)印刷電路板上，并且可以從數(shù)字接口獲取
2020-07-07 09:32:56
的數(shù)字全調(diào)節(jié)的多階壓力和溫度補(bǔ)償?shù)?b class="flag-6" style="color: red">傳感器。它可提供差壓配置。該器件將壓力傳感器與信號(hào)調(diào)節(jié)ASIC集成在單個(gè)封裝中，可以簡(jiǎn)化先進(jìn)硅微加工壓力傳感器的使用。壓力傳感器可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)印刷電路板上，并且可以從
2020-07-07 09:48:37
制造工藝：深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝：如常溫鍵合倒裝焊接、無(wú)應(yīng)力微薄結(jié)構(gòu)封裝、多芯片組裝工藝;新型“元器件”傳感器：如用微硅電容“元器件”傳感器、微硅質(zhì)量流量“元器件”傳感器
2013-10-22 17:44:45
?！ ∽鳛橐夥ò雽?dǎo)體最新的MEMS產(chǎn)品，LIS3DH的設(shè)計(jì)和制造采用意法半導(dǎo)體銷售超過7億支的運(yùn)動(dòng)傳感器的制程技術(shù)?！ ?、博世 智能手環(huán)代表：ibody Rainbow、Jawbone UP、Smart
2018-11-12 16:11:06
、自判斷和自愈能力。MEMS加速度傳感器國(guó)產(chǎn)化替代正緊鑼密鼓?！跋嚓P(guān)科研院所已突破高精度SOI工藝加工、圓片級(jí)可調(diào)阻尼封裝、低功耗ASIC專用集成電路等關(guān)鍵技術(shù)?！眳侮?yáng)說。SOI工藝，指在頂層硅和襯底硅
2018-12-03 16:33:20
：AWR1x和IWR1x。全新毫米波傳感器產(chǎn)品組合中的5款器件都具有小于4厘米的距離分辨率，距離精度低至小于50微米，范圍達(dá)到300米。同時(shí)，功耗和電路板面積相應(yīng)減少了50%。且看單芯片毫米波傳感器如何拋棄鍺硅工藝，步入CMOS時(shí)代？
2019-07-30 07:03:34
至關(guān)重要。MEMS壓力傳感器在汽車中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測(cè)，通常用于自動(dòng)裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動(dòng)系統(tǒng)。德國(guó)廠商博世最近進(jìn)入該市場(chǎng)，推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護(hù)硅薄膜，使其可以
2016-12-14 17:25:11
材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器，具有精度高、靈敏度高、動(dòng)態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點(diǎn)。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。同時(shí)，微壓力傳感器易于與微溫度
2018-11-07 11:01:49
商業(yè)硅霍爾傳感器與量子阱霍爾傳感器生成的區(qū)別在哪？
2022-02-22 08:03:43
硅微加速度傳感器是。MEMS器件中的一個(gè)重要分支，具有十分廣闊的應(yīng)用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應(yīng)快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點(diǎn)，而且該種傳感器在強(qiáng)輻射作用下能正常工作，使其近年來
2018-11-01 17:23:05
力、汽車胎壓壓力等。其中機(jī)油壓力傳感器是用于測(cè)量汽車發(fā)動(dòng)機(jī)油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器，研究了機(jī)油壓力傳感器的封裝工藝
2019-07-16 08:00:59
當(dāng)前MEMS技術(shù)在傳感器領(lǐng)域已得到廣泛應(yīng)用并取得了巨大成功。使用硅基微機(jī)械加工方法制作的微傳感器不僅體積小，成本低，機(jī)械牲好，并且能方便地與IC集成。形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。
2011-03-22 17:44:34
基于硅納米線的生物氣味傳感器是什么？硅納米線表面連接修飾OBP蛋白分子的方法有哪些？基于硅納米線的氣味識(shí)別生物傳感器的結(jié)構(gòu)是如何構(gòu)成的？
2021-07-11 07:43:02
檢測(cè)與待測(cè)物濃度相關(guān)的電流信號(hào)實(shí)現(xiàn)生物分子的檢測(cè)和識(shí)別，相對(duì)于傳統(tǒng)的光譜免疫檢測(cè)具有響應(yīng)快、靈敏度高、成本低、體積小等特點(diǎn)?！ 』?b class="flag-6" style="color: red">MEMS工藝在硅襯底上制備微電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)免疫檢測(cè)，能夠?qū)崿F(xiàn)免疫傳感器
2018-11-15 14:48:44
的技術(shù)組件： · 單晶硅傳感器 · 高性能ASIC · 兩個(gè)芯片外殼 圖3 產(chǎn)品參數(shù)表 傳感器的核心：?jiǎn)尉?b class="flag-6" style="color: red">硅傳感器 硅傳感器（每個(gè)MEMS的核心）傳統(tǒng)上是批量生產(chǎn)或以表面微加工工藝制造
2020-07-07 09:36:40
的基礎(chǔ)上，在壓力傳感器的設(shè)計(jì)中借鑒系統(tǒng)級(jí)封裝的基本思想，將擴(kuò)散硅壓力敏感芯片及其相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)放大電路等附屬電路系統(tǒng)集成在一塊特殊設(shè)計(jì)的印刷電路板上，再運(yùn)用專門設(shè)計(jì)的MEMS系統(tǒng)級(jí)封裝工藝將其封裝在一個(gè)金屬
2018-12-04 15:10:10
的線性度受傳感器系統(tǒng)鏈中每個(gè)模塊的線性度影響，而且C/V和A/D的動(dòng)態(tài)范圍要求可能會(huì)更加嚴(yán)格。相反，將MEMS傳感器放在負(fù)反饋閉環(huán)中使用有許多好處，例如改進(jìn)的帶寬、對(duì)MEMS器件的工藝和溫度變化具有
2018-11-06 16:07:28
尋求感應(yīng)傳感器工藝。有這方面工藝的大俠請(qǐng)聯(lián)系微信：dgdzkj123.郵箱；gddgdz123@163.com。面談報(bào)酬。
2018-04-26 10:00:44
按照被測(cè)量的物理性質(zhì)，將微型傳感器分為化學(xué)微傳感器、生物微傳感器、物理微傳感器等，簡(jiǎn)要介紹一下每種類型中典型的微傳感器。
2019-10-11 09:12:59
，通過將ACEINNA MDP200傳感器、MEMS傳感器和信號(hào)調(diào)解電路集成在單芯片上，來構(gòu)建MEMS流量傳感器。CMOS工藝中，多晶硅和鋁屬于常用材料，通常用于互連。在熱式MEMS傳感器中，多晶硅可
2018-08-29 10:50:19
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)感測(cè)器制造技術(shù)邁入新里程碑。意法半導(dǎo)體(ST)宣布成功結(jié)合面型微加工(Surface-micromachining)和體型微加工(Bulk-micromachining)制程
2020-05-05 06:36:14
與主動(dòng)組件、相機(jī)穩(wěn)定與GPS的陀螺儀、小型燃料電池與生化芯片等，應(yīng)用最多的傳感器是加速計(jì)、陀螺儀與MEMS硅麥克風(fēng)，其中加速度計(jì)是該市場(chǎng)中第一大應(yīng)用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長(zhǎng)迅速，已經(jīng)成為繼加速度計(jì)后
2016-12-07 15:43:48
美國(guó)汽車傳感器權(quán)威弗萊明在2000年的汽車電子技術(shù)綜述就指出了MEMS技術(shù)在汽車傳感器領(lǐng)域的美好前景。設(shè)計(jì)了基于MEMS技術(shù)和智能化信號(hào)調(diào)理的擴(kuò)散硅壓力傳感器應(yīng)對(duì)汽車壓力系統(tǒng)的壓力檢測(cè)。
2020-03-18 07:40:15
繼推出硅基MEMS麥克風(fēng)芯片后，蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對(duì)壓力傳感器芯片，主要針對(duì)量程為15PSI的高度表市場(chǎng)，并已開始提供樣品
2018-11-01 17:16:10
新型傳感器的特點(diǎn)是什么？什么是MEMS傳感器？什么是CMOS圖像傳感器？
2021-06-28 09:37:17
構(gòu)成。使用此結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)將壓力、溫度、加速度這些物理量轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)的傳感器，還可實(shí)現(xiàn)提供電氣信號(hào)使可動(dòng)結(jié)構(gòu)體像機(jī)械一樣運(yùn)動(dòng)的所謂執(zhí)行器功能。MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，與使用了CMOS工藝
2019-07-04 06:06:12
基于MEMS的微型磁場(chǎng)傳感器具有體積小、價(jià)格低、功耗小、便攜等特點(diǎn)，是近幾年來磁場(chǎng)傳感器研究的熱點(diǎn)。目前主要有利用永磁體受力的磁場(chǎng)傳感器，利用洛倫茲力以及多晶硅壓阻檢測(cè)磁場(chǎng)的傳感器以及
2019-09-20 06:18:36
在汽車電子控制系統(tǒng)的快速增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求下，汽車傳感器技術(shù)不斷發(fā)展。未來汽車傳感器的發(fā)展總體趨勢(shì)是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工藝制成的新型傳感器。MEMS技術(shù)傳感器成為汽車傳感器的主要部件。
2020-05-20 07:50:30
穩(wěn)定控制系統(tǒng)中的剎車傳感器，側(cè)面氣囊，與日益嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只
2016-12-07 15:42:36
`MEMS傳感器技術(shù)的突破也為醫(yī)療應(yīng)用帶來前所未有的便利性和體驗(yàn)。隨著人口的老齡化，人們的醫(yī)療保健問題變的空前重要。人們的醫(yī)療保健問題變的空前重要。體外診斷、藥物研究、病患監(jiān)測(cè)、給藥方式以及植入式
2016-12-07 15:46:48
械加工技術(shù)、深反應(yīng)離子刻蝕、LIGA技術(shù)、分子裝配技術(shù)、體微加工、表面微加工、激光微加工和微型封裝技術(shù)等。硅微機(jī)械加工工藝是MEMS主流技術(shù)，它是一種精密三維加工技術(shù)，是研制傳感器、微執(zhí)行器、微作用
2021-09-07 09:50:07
MEMS傳感器應(yīng)用在航空航天領(lǐng)域，要求適應(yīng)在不同的空間環(huán)境，包括：真空、電磁輻射、高能粒子輻射、等離子體、微流星體、行星大氣、磁場(chǎng)和引力場(chǎng)等，以及航天器某些系統(tǒng)工作時(shí)或在空間環(huán)境作用下產(chǎn)生的誘導(dǎo)環(huán)境
2016-12-07 15:45:00
加工工藝成熟，與IC工藝兼容性好，可以在單個(gè)直徑為幾十毫米的單晶硅基片上批量生成數(shù)百個(gè)MEMS裝置。美國(guó)加州大學(xué)Berkeley分校的傳感器與執(zhí)行器研究中心（BSAC）首先完成了三層多晶硅表面MEMS
2018-11-05 15:42:42
電系統(tǒng)（MEMS）慣性傳感器的設(shè)計(jì)在本質(zhì)上對(duì)運(yùn)動(dòng)非常敏感，可有效檢測(cè)和處理線性加速、磁航向、海拔和角速率信息。為充分利用慣性傳感器的性能潛力，設(shè)計(jì)者必須熟悉總體機(jī)械系統(tǒng)，密切關(guān)注應(yīng)用中的運(yùn)動(dòng)源和諧
2018-11-12 15:38:15
大家好，我想了解下ADXL001 MEMS傳感器 在電氣性能上與現(xiàn)在在工業(yè)領(lǐng)域常用的壓電式加速度傳感器有什么差別。目前幾乎大多數(shù)的工業(yè)振動(dòng)加速度傳感器都是壓電式的傳感器。而ADXL001 看上去 要
2019-03-05 14:29:44
的數(shù)字信號(hào)處理ASIC芯片。具有掩膜可編程性，即可以利用客戶專用軟件進(jìn)行配置。它是由MEMS傳感器和ASIC電路幾塊芯片，用集成電路工藝做在一個(gè)封裝里的（圖3）。在封裝的上方留有一個(gè)壓力/溫度導(dǎo)入孔
2010-04-01 08:40:49
械加工技術(shù)、深反應(yīng)離子刻蝕、LIGA技術(shù)、分子裝配技術(shù)、體微加工、表面微加工、激光微加工和微型封裝技術(shù)等。硅微機(jī)械加工工藝是MEMS主流技術(shù)，它是一種精密三維加工技術(shù)，是研制傳感器、微執(zhí)行器、微作用
2021-09-07 09:40:25
`如圖所示，這種傳感器上面有水，電阻會(huì)變化?？瓷先ズ孟窬褪呛芏嗑€并排。這種傳感器的原理是什么？制作工藝是什么？`
2017-07-06 18:07:19
作為一枚實(shí)習(xí)僧，樓主被要求熟悉咱大ADI的產(chǎn)品，其中一張MEMS傳感器分類表嚇到寶寶了，MEMS傳感器分類居然如此復(fù)雜！不信請(qǐng)看：剛看見這張表，樓主內(nèi)心是崩潰的——怎么這么多！那么問題來了，挖掘機(jī)
2019-02-19 13:43:21
件相適應(yīng),于是制約了整個(gè)系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡(jiǎn)單的物理縮小的產(chǎn)物,而是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng),使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料,通過MEMS 加工技術(shù)制備的新一代
2019-07-24 07:13:29
本技術(shù)筆記為采用 HLGA 表面貼裝封裝的 MEMS 傳感器產(chǎn)品提供 PCB設(shè)計(jì)和焊接工藝的通用指南。
2023-09-13 08:03:50
了傳感器向微型化發(fā)展，盡管MEMS技術(shù)能夠?qū)?b class="flag-6" style="color: red">工藝精度控制在很小的范圍內(nèi)，但還是很難精確地控制擴(kuò)散硅的摻雜濃度，這就直接導(dǎo)致了MEMS傳感器零位溫度漂移和靈敏度溫度漂移的存在。工作溫度范圍變化通過兩種
2022-09-22 15:58:43
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)是通過使用先進(jìn)的微制造技術(shù)將機(jī)械器件、傳感器和電子組件部署在單個(gè)硅基板上而實(shí)現(xiàn)。如今，這些技術(shù)已經(jīng)逐漸取代了汽車市場(chǎng)各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當(dāng)大的設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)。
2019-08-02 06:35:04
技術(shù)包括壓力、力、溫度、位置、加速度、濕度和液體特性等，以其先進(jìn)的設(shè)計(jì)能力和專業(yè)的制造領(lǐng)域知識(shí)滿足用戶任何設(shè)計(jì)需求?！ E的傳感器產(chǎn)品種類繁多，能夠滿足您任何個(gè)性化設(shè)計(jì)要求，包括基于MEMS技術(shù)及硅
2020-07-07 16:31:22
北京大學(xué)微納電子學(xué)系高成臣教授課題組依托MEMS工藝平臺(tái)，經(jīng)過6年的持續(xù)研究，在國(guó)內(nèi)首次研制出了高性能的熱式聲粒子振速傳感器，并完成了聲粒子振速傳感器與聲壓傳感器的系統(tǒng)集成，制作出了高性能的MEMS空氣聲矢量傳感器，該傳感器能夠完成聲壓信號(hào)的全信息檢測(cè)。
2019-05-27 10:37:07
7235 MEMS制程各工藝相關(guān)設(shè)備的極限能力又是限定器件尺寸的關(guān)鍵要素，且其相互之間的配套方能實(shí)現(xiàn)設(shè)備成本的最低；下面先簡(jiǎn)要介紹一下前段制程的特點(diǎn)及涉及的設(shè)備。
2021-01-11 10:35:422139 用MEMS技術(shù)制造的新型傳感器，就稱為MEMS傳感器。一般傳感器的主要構(gòu)造有敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、變換電路和輔助電源四部分組成。那么，MEMS傳感器的主要構(gòu)造是怎樣的呢？
2023-08-23 17:38:541183 
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