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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>規(guī)則標(biāo)準(zhǔn)>單晶硅拉晶細(xì)則

      單晶硅拉晶細(xì)則

      2010-10-20 | rar | 26 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      1，停爐：收尾結(jié)束后停爐

      首先將F3速度控制里控速輸出清零，溫校速率與溫校輸出清零，再將F4繼電控制里面的電流過低報(bào)警及下依次關(guān)閉，將歐陸表WSP打閉環(huán)至OP，將功率降至0，然后關(guān)閉加熱按鈕，

      ?同時(shí)將堝轉(zhuǎn)關(guān)閉，晶轉(zhuǎn)調(diào)低（如由原來10轉(zhuǎn)改為5轉(zhuǎn)），關(guān)閉晶升，待關(guān)閉加熱按鈕5小時(shí)后拆爐

      2，拆爐：

      ?首先熱后真空檢漏，關(guān)閉Ar氣抽至真空狀，然后關(guān)閉真空閥，關(guān)閉主室泵，3min不超1Pa說明爐內(nèi)密封性良好（升晶棒前應(yīng)將晶轉(zhuǎn)關(guān)閉），然后關(guān)閉真空計(jì)，打開Ar氣，待Ar氣充至一定時(shí)間將內(nèi)外壓力平衡，此時(shí)可打開門將Ar氣關(guān)閉，為安全起見將主副室隔離板落下進(jìn)行隔離，開啟液壓系統(tǒng)，卸荷（長(zhǎng)按聽到響聲為準(zhǔn)）升副室，取晶棒。

      3，拆爐后清理
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