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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>基于微元件鍵合圖庫的微機電系統(tǒng)動態(tài)建模與仿真

      基于微元件鍵合圖庫的微機電系統(tǒng)動態(tài)建模與仿真

      2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      為了更好地支持微機電系統(tǒng)(MEMS)Top-Down設計流程,針對MEMS仿真中的多能量域與非線性特點,采用鍵合圖場元件與結型結構設計并實現(xiàn)了一個集中參數(shù)表達的MEMS鍵合圖仿真元件庫,同時基于該元件庫提出了一種MEMS動態(tài)系統(tǒng)建模與仿真方法.采用參數(shù)化仿真模型與結構化體系構建的元件庫,為MEMS設計流程中的概念設計階段與系統(tǒng)級設計階段的快速建模與仿真提供了方便,同時元件庫內的所有元件均與MEMS器件級設計中的結構特征具有映射關系,這為用戶需求空間!功能原理空間!結構空間之間的設計空間映射提供了方便.通過一個靜電間隙執(zhí)行器的系統(tǒng)建模過程與仿真結果,驗證了利用該元件庫進行建模與仿真的有效性.
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