激光干涉儀-簡(jiǎn)介

　　激光干涉儀

　　以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)（見(jiàn)激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù)）測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn)的，最初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺，后又用于在計(jì)量室中精密測(cè)長(zhǎng)。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車(chē)間中使用。激光干涉儀在極接近標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對(duì)濕度59％、C O2含量0.03％）下的測(cè)量精確度很高，可達(dá)1×10-7。

　　激光干涉儀-基本原理

　　激光干涉儀原理

　　激光器的出現(xiàn)，使古老的干涉技術(shù)得到迅速發(fā)展，激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點(diǎn)，激光干涉測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟。激光干涉測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛：精密長(zhǎng)度、角度的測(cè)量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測(cè)；精密儀器中的定位檢測(cè)系統(tǒng)如精密機(jī)械的控制、校正；大規(guī)模集成電路專(zhuān)用設(shè)備和檢測(cè)儀器中的定位檢測(cè)系統(tǒng)；微小尺寸的測(cè)量等。

　　在大多數(shù)激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)中，都采用了邁克爾遜干涉儀或類(lèi)似的光路結(jié)構(gòu)。

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