激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、機(jī)械、電子等各種領(lǐng)域的測(cè)量。其中，平行度和垂直度的測(cè)量是激光干涉儀的重要應(yīng)用之一。

傳統(tǒng)的測(cè)量方法通常采用機(jī)械測(cè)量或光學(xué)測(cè)量，但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點(diǎn)。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測(cè)量。

激光干涉儀平行度測(cè)量原理

平行度測(cè)量是在直線(xiàn)度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線(xiàn)度測(cè)量組成，參見(jiàn)下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

平行度測(cè)量配置及應(yīng)用

平行度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線(xiàn)度鏡組（或長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

激光干涉儀垂直度測(cè)量原理

垂直度的測(cè)量是直線(xiàn)度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線(xiàn)度測(cè)量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線(xiàn)度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測(cè)量配置及應(yīng)用

垂直度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線(xiàn)度鏡組（或長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。

總之，激光干涉儀是一種強(qiáng)大的測(cè)量工具，可以廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域的平行度和垂直度測(cè)量工作。它的出現(xiàn)為各種精密制造和科學(xué)實(shí)驗(yàn)提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。