為了開發(fā)移動電話LTE頻段所需的高性能濾波器和雙工器，需要一種質(zhì)量更高、頻率溫度系數(shù)更低的聲表面波諧振器旋轉(zhuǎn)Y-X LiTaO3（LT）襯底的深度方向。采用有限元模擬方法，從聲能分布、相速度、耦合系數(shù)和溫度特性等方面，對低阻抗和高阻抗多層襯底在LT層下的特性進行了數(shù)值研究。經(jīng)過多次計算，我們開發(fā)出了一種新型的多層結(jié)構(gòu)，在薄的LT層下用SiO2作為低阻抗層，AlN作為高阻抗層。用這種新的襯底制作了一個單端口諧振器，實驗結(jié)果表明，所研制的諧振器的BodeQ大于4000，TCF為-8ppm/°C，分別是傳統(tǒng)42°YX-LT聲表面波諧振器的四倍和五分之一小。應(yīng)用該技術(shù)成功地研制出了一種具有極窄雙工間隙的25波段雙工器，具有極低的插入損耗、陡峭的截止特性和穩(wěn)定的溫度特性。

　　由于智能手機和視頻內(nèi)容服務(wù)的普及，移動通信對更高數(shù)據(jù)速率的需求繼續(xù)增加。為了開發(fā)第五代移動通信系統(tǒng)（5G）以滿足這一需求，移動通信的頻帶擴展和有效頻帶分配已經(jīng)提高第三代合作伙伴計劃（3GPP）標準和用于同時多個頻帶的接入系統(tǒng)（如載波聚合（CA）服務(wù)）已變得普遍〔2〕。最近的長期演進（LTE）頻帶往往在相鄰頻帶之間以及頻分的TX和RX頻帶之間具有更窄的頻率間隔雙工（FDD）。在這些頻帶中，除了2016年12月1日收到的下Munuscript外，濾波組件還要求通帶形狀的矩形度和過渡帶的陡峭度；2017年****日接受。T、 Takai，H.Iwamoto，Y.Takamine，H.Yamasaki，T.Fuyutsume，H.Kyoya，T.Nakao，H.Kando，M.Hiramoto，T.Toi，M.Koshino和N.《插入損耗和高衰減》。終端射頻部分的高溫操作穩(wěn)定性也非常重要，因為小型射頻模塊與功率放大器（PAs）集成，產(chǎn)生熱量，通常用于手機。
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