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      國內(nèi)外半導體設備技術(shù)與市場

      2011-10-31 | pdf | 56 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      ?

      概述了國內(nèi)外半導體設備技術(shù)動態(tài), 介紹了光刻技術(shù)、CMP 技術(shù)、膜生長技術(shù)、刻蝕技術(shù)、離子注入技術(shù)、清洗技術(shù)及封裝技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀和技術(shù)趨勢, 預測了全球半導體制造設備未來市場變化, 并提出了國產(chǎn)半導體設備技術(shù)創(chuàng)新的途徑。
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