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從等離子體動力學(xué)的角度出發(fā)，求解描述帶電粒子碰撞過程的Fokker-Planck動力學(xué)方程，計算非平衡態(tài)下SF6等離子體中電子的慢化頻率、偏轉(zhuǎn)頻率、平行擴散頻率和動能交換頻率，分析了電子速度減慢、動能耗散以及電子與重粒子間動能傳遞的能力；求解粒子間能量變化率，得到電子一電子、電子一重粒子、重粒子一重粒子間通過碰撞達(dá)到溫度平衡所用的時間。研究結(jié)果表明：SF6等離子體由非平衡態(tài)向平衡態(tài)過渡所需的時間應(yīng)該采用電子，重粒子間的溫度平衡時間表征，壓強0.1～2.0 MPa下，當(dāng)SF6氣體處于絕緣介質(zhì)和導(dǎo)電通道臨界狀態(tài)時（等離子體溫度3 500～4 000 K），SF6等離子體由非平衡態(tài)過渡到平衡態(tài)所用的時間在9.5～535.9 lcs;高壓SF6斷路器介質(zhì)恢復(fù)（熱恢復(fù)過程持續(xù)時間10 Vs左右）和隔離開關(guān)多次重燃（單次燃弧持續(xù)時間小于10 Vs）等過程中的非平衡態(tài)SF6等離子體很難過渡到平衡態(tài)。
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