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分析和探討了為獲取被加工材料穩(wěn)定的超精密表面所涉及的幾個關(guān)鍵技術(shù)問題,
包括超精密加工機(jī)床、刀具和環(huán)境條件對表面的影響以及超高精密表面的分析測試等幾個方
面。簡述了加一機(jī)理和各環(huán)節(jié)
一
誤差補(bǔ)償, 并展望了這一研究領(lǐng)域的未來。
包括超精密加工機(jī)床、刀具和環(huán)境條件對表面的影響以及超高精密表面的分析測試等幾個方
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