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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>熱激勵(lì)硅諧正式壓力傳感器溫度場(chǎng)的有限元計(jì)算

      熱激勵(lì)硅諧正式壓力傳感器溫度場(chǎng)的有限元計(jì)算

      2009-06-24 | rar | 135 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      針對(duì)一種典型的采用電阻熱激勵(lì)、壓敏電阻拾振的壓力微傳感器的實(shí)際結(jié)構(gòu)，利用有限元法系統(tǒng)地對(duì)其溫度場(chǎng)進(jìn)行模擬計(jì)算，分析并得出了激勵(lì)電阻在粱諧振子上位置、長(zhǎng)度、寬度變化時(shí)；粱諧振子長(zhǎng)度、寬度、厚度變化時(shí)；以及激、拾振子阻共同作用時(shí)，梁諧振子溫度場(chǎng)的分布規(guī)律。

      關(guān)鍵字?? 熱激勵(lì)??? 諧振子傳感器?? 壓力傳感器?? 硅微結(jié)構(gòu)?? 有振元法

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