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      陽極鍵合工藝進(jìn)展及其在微傳感器中的應(yīng)用

      2009-07-18 | rar | 475 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      分析了陽極鍵合技術(shù)的原理和當(dāng)前陽極鍵合技術(shù)的研究進(jìn)展,綜述了微傳感器對(duì)陽極鍵合的新需求,展望了陽極鍵合技術(shù)在傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用前景。
      關(guān)鍵詞:陽極鍵合; 傳感器; 硅片
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