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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>采用PLC控制制備鐵電薄膜的液態(tài)源系統(tǒng)

      采用PLC控制制備鐵電薄膜的液態(tài)源系統(tǒng)

      2009-02-10 | rar | 233 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      摘要:為了提高制備鐵電薄膜的可靠性和重復性，設計了基于PLC控制的液態(tài)源MOCVD系統(tǒng)。通過觸摸屏完成系統(tǒng)控制、工藝參數設置及數據顯示，實現了工藝過程的自動化控制。同時為了確保工藝過程的安全性，系統(tǒng)設計了異常報警、廢氣處理等組件。實際
      應用表明，該系統(tǒng)結構緊湊、自動化程度高、控制靈活，適合于沉積制備高質量的金屬氧化物薄膜。
      關鍵詞:金屬有機物 化學氣相 沉積 可編程控制器 觸摸屏薄膜

      PLC控制
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