【新啟航】玻璃晶圓 TTV 厚度在光刻工藝中的反饋控制優(yōu)化研究

一、引言 玻璃晶圓在半導體制造、微流控芯片等領域應用廣泛，光刻工藝作為決定器件圖案精度與性能的關鍵環(huán)節(jié)，對玻璃晶圓的質(zhì)量要求極為嚴苛 。總厚度偏差（T...

2025-10-09 標簽：晶圓光刻碳化硅 312 0

光阻去除屬于什么制程

光阻去除（即去膠工藝）屬于半導體制造中的光刻制程環(huán)節(jié)，是光刻技術流程中不可或缺的關鍵步驟。以下是其在整個制程中的定位和作用：1.在光刻工藝鏈中的位置典型...

2025-07-30 標簽：光刻半導體制造 783 0

芯片制造的四大工藝介紹

這一篇文章介紹幾種芯片加工工藝,在Fab里常見的加工工藝有四種類型,分別是圖形化技術（光刻）?摻雜技術?鍍膜技術和刻蝕技術。

2025-07-16 標簽：芯片制造光刻加工工藝 2.5k 0

電子束曝光與顯影工藝解讀

EBL就像是納米世界里的精密畫筆，能夠在極其微小的尺度上"畫"出任何你想要的二維圖案。

2025-07-09 標簽：納米光刻電子束 2.1k 0

ADI 數(shù)據(jù)采集解決方案在先進光刻芯片制造領域大放異彩l

作者：Pete Bartolik 投稿人：DigiKey 北美編輯 在半導體芯片銷售額從 2022 年的 6000 億美元增至 2030 年的 1 萬億...

2025-05-25 標簽：芯片ADI數(shù)據(jù)采集 523 0

一文詳解電子束光刻技術

本文系統(tǒng)梳理了直寫式、多電子束與投影式EBL的關鍵技術路徑，涵蓋掃描策略、束流整形、鄰近效應校正與系統(tǒng)集成等方面，并探討其在精度、效率與成本間的技術矛盾...

2025-04-30 標簽：工藝光刻電子束 2.8k 0

光阻的基礎知識

本文將系統(tǒng)介紹光阻的組成與作用、剝離的關鍵工藝及化學機理，并探討不同等離子體處理方法在光阻去除中的應用。 ? 一、光阻（Photoresist，PR）的...

2025-02-13 標簽：光刻半導體制造 3k 0

芯片制造:光刻工藝原理與流程

光刻是芯片制造過程中至關重要的一步，它定義了芯片上的各種微細圖案，并且要求極高的精度。以下是光刻過程的詳細介紹，包括原理和具體步驟。?? 光刻原理???...

2025-01-28 標簽：芯片制造光刻 2.3k 0

光刻掩膜技術介紹

?? 光刻掩膜簡介 ?? ? 光刻掩膜（Photomask）又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等，通常簡稱“mask”，是半導體制造過程中用于圖案轉(zhuǎn)移的關鍵工...

2025-01-02 標簽：半導體光刻掩膜 4k 0

接觸孔工藝的制造流程

接觸孔工藝是指在 ILD 介質(zhì)層上形成很多細小的垂直通孔，它是器件與第一層金屬層的連接通道。通孔的填充材料是金屬鎢（W），接觸孔材料不能用Cu，因為 C...

2024-11-15 標簽：晶圓工藝光刻 1.7k 0

柵氧化層工藝的制造流程

與亞微米工藝類似，柵氧化層工藝是通過熱氧化形成高質(zhì)量的柵氧化層，它的熱穩(wěn)定性和界面態(tài)都非常好。

2024-11-05 標簽：晶圓工藝光刻 2k 0

有源區(qū)工藝的制造過程

有源區(qū)工藝是指通過刻蝕去掉非有源區(qū)的區(qū)域的硅襯底，而保留器件的有源區(qū)。

2024-10-31 標簽：晶圓工藝光刻 1.6k 0

頂層金屬工藝是指什么

頂層金屬工藝是指形成最后一層金屬互連線，頂層金屬互連線的目的是實現(xiàn)把第二層金屬連接起來。頂層金屬需要作為電源走線，連接很長的距離，需要比較低的電阻，需要...

2024-10-29 標簽：晶圓工藝光刻 1.3k 0

金屬層2工藝是什么

金屬層2（M2）工藝與金屬層1工藝類似。金屬層2工藝是指形成第二層金屬互連線，金屬互連線的目的是實現(xiàn)把第一層金屬或者第三層金屬連接起來。

2024-10-24 標簽：晶圓工藝光刻 1.3k 0

Line Edge Roughness (LER) 線邊緣粗糙度

來源：C Lighting 線邊緣粗糙度(LER) 線邊緣粗糙度（LER）指的是柵極圖案邊緣的隨機變化，即印刷圖案邊緣的粗糙度。當最小特征尺寸減小到幾十...

2024-08-23 標簽：MOSFET半導體光刻 4.1k 0

晶圓制造工藝流程及一些常用名詞解釋

共讀好書 晶圓制造工藝流程 1、 表面清洗 2、 初次氧化 3、 CVD(Chemical Vapor deposition) 法沉積一層 Si3N4 ...

2024-07-30 標簽：光刻蝕刻晶圓制造 3.6k 0

激光指向穩(wěn)定在光刻系統(tǒng)應用中的關鍵作用及其優(yōu)化方案

光刻是半導體制造工藝中的核心之一，極紫外光刻技術作為新一代光刻技術也處于快速發(fā)展階段。其基本原理是利用光致抗蝕劑（或稱光刻膠）感光后因光化學反應而形成耐...

2024-06-27 標簽：芯片半導體激光 2.4k 0

電子束技術的原理與應用概覽

電子束技術在半導體制造行業(yè)一直是重要的應用技術。本文就電子束技術作一個簡單的圖文介紹。

2024-04-30 標簽：光刻電子束半導體制造 3.7k 0

玻璃通孔技術研究進展

聚焦放電主要包括兩個步驟：1) 將玻璃放在兩個電極之間，通過控制放電對玻璃局部區(qū)域進行放電熔融；2)通過焦耳熱使玻璃內(nèi)部產(chǎn)生高應力，引起內(nèi)部高壓和介電擊穿。

2024-04-26 標簽：等離子光刻顯微鏡 2.4k 0