掃描電鏡在微納加工中的應(yīng)用

本文是A. N. BROERS關(guān)于掃描電鏡在微納加工中應(yīng)用的研究回顧，重點(diǎn)記錄了他從1960年代開始參與電子束加工技術(shù)開發(fā)的歷程。文章詳細(xì)記錄了EBL技...

2025-06-20 標(biāo)簽：過(guò)濾器電子束光刻技術(shù) 174 0

晶圓表面缺陷類型和測(cè)量方法

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓堪稱核心基石，其表面質(zhì)量直接關(guān)乎芯片的性能、可靠性與良品率。

2025-05-29 標(biāo)簽：半導(dǎo)體晶圓電子束 717 0

電子束對(duì)Low-K材料有什么影響

指介電常數(shù)較低的材料。這種材料廣泛運(yùn)用于集成電路中，可以減少漏電電流、降低導(dǎo)線之間的電容效應(yīng)，并減少集成電路的發(fā)熱問(wèn)題? ，在高頻基板和高速電路設(shè)計(jì)中尤...

2025-05-27 標(biāo)簽：集成電路材料fib 264 0

什么是透射電子顯微鏡？

透射電子顯微鏡透射電子顯微鏡（簡(jiǎn)稱透射電鏡）是一種利用加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，通過(guò)電子與樣品原子的碰撞產(chǎn)生立體角散射來(lái)成像的儀器。散射角...

2025-05-23 標(biāo)簽：電子束電子顯微鏡透射電子顯微鏡 221 0

帶你了解什么是透射電鏡？

透射電鏡的工作原理透射電鏡是基于電子束與超薄樣品相互作用。它利用電子加速槍產(chǎn)生高能電子束，經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚焦和準(zhǔn)直后照射到超薄樣品上。樣品中不同區(qū)域的原子...

2025-05-19 標(biāo)簽：電磁電子束透射電鏡 339 0

電子顯微鏡中的磁透鏡設(shè)計(jì)

十九世紀(jì)末，科學(xué)家首次觀察到軸對(duì)稱磁場(chǎng)對(duì)陰極射線示波器中電子束產(chǎn)生的聚焦作用，這種效應(yīng)與光學(xué)透鏡對(duì)可見光的聚焦作用驚人地相似。基于此，Ruska等人在1...

2025-05-15 標(biāo)簽：示波器光源電子束 1024 0

一文詳解電子束光刻技術(shù)

本文系統(tǒng)梳理了直寫式、多電子束與投影式EBL的關(guān)鍵技術(shù)路徑，涵蓋掃描策略、束流整形、鄰近效應(yīng)校正與系統(tǒng)集成等方面，并探討其在精度、效率與成本間的技術(shù)矛盾...

2025-04-30 標(biāo)簽：工藝光刻電子束 1038 0

FIB-SEM雙束系統(tǒng)：多領(lǐng)域應(yīng)用的前沿技術(shù)

系統(tǒng)構(gòu)成與工作原理FIB-SEM雙束系統(tǒng)是一種集微區(qū)成像、加工、分析、操縱于一體的綜合型分析與表征設(shè)備。其基本構(gòu)成是將單束聚焦離子束系統(tǒng)與掃描電子顯微鏡...

2025-03-28 標(biāo)簽：SEMfib電子束 323 0

半導(dǎo)體材料介紹 | 光刻膠及生產(chǎn)工藝重點(diǎn)企業(yè)

光刻膠（Photoresist）又稱光致抗蝕劑，是指通過(guò)紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增...

2025-03-18 標(biāo)簽：半導(dǎo)體材料電子束光刻膠 947 0

SEM是掃描電鏡嗎？

SEM是掃描電鏡，英文全稱為ScanningElectronMicroscope。以下是關(guān)于掃描電鏡的一些基本信息：1、工作原理：掃描電鏡是一種利用電子...

2025-02-24 標(biāo)簽：SEM電子束掃描電鏡 556 0

桌面式掃描電鏡是什么？

桌面式掃描電鏡是掃描電子顯微鏡的一種類型，它在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、功能特點(diǎn)等方面都有自身獨(dú)特之處，以下從其定義、原理、特點(diǎn)、應(yīng)用場(chǎng)景等方面進(jìn)行具體介紹：1、定義與...

2025-02-12 標(biāo)簽：電子束電子顯微鏡掃描電鏡 548 0

材料的哪些性質(zhì)會(huì)影響掃描電鏡下的成像效果？

材料的物理和化學(xué)等諸多性質(zhì)都會(huì)影響掃描電鏡下的成像效果，以下是具體介紹：1、物理性質(zhì)（1）導(dǎo)電性：-對(duì)于導(dǎo)電性良好的材料，如金屬，電子束轟擊材料表面產(chǎn)生...

2025-02-12 標(biāo)簽：測(cè)量材料電子束掃描電鏡 544 0

全面解析電子背散射衍射技術(shù)：原理、應(yīng)用與未來(lái)趨勢(shì)

EBSD技術(shù)概述電子背散射衍射（EBSD）是一種尖端的材料分析技術(shù)，它依托于高能電子與材料表面晶體結(jié)構(gòu)的交互作用，通過(guò)捕捉和解析由此產(chǎn)生的背散射電子的衍...

2025-01-24 標(biāo)簽：晶體測(cè)量電子束 524 0

一文帶你讀懂EBSD

電子背散射衍射（ElectronBackscatterDiffraction，簡(jiǎn)稱EBSD）技術(shù)是一種基于掃描電子顯微鏡（SEM）的顯微分析技術(shù)，它能夠...

2025-01-14 標(biāo)簽：SEM顯微鏡電子束 1188 0

透射電子顯微鏡（TEM）快速入門：原理與操作指南

無(wú)法被清晰地觀察。為了解決這一問(wèn)題，科學(xué)家們開始探索使用波長(zhǎng)更短的光源來(lái)提高顯微鏡的分辨率。1932年，德國(guó)科學(xué)家恩斯特·魯斯卡（ErnstRuska）...

2025-01-09 標(biāo)簽：顯微鏡電子束TEM 1641 0

泊蘇 Type C 系列防震基座在半導(dǎo)體光刻加工電子束光刻設(shè)備的應(yīng)用案例

某大型半導(dǎo)體制造企業(yè)專注于高端芯片的研發(fā)與生產(chǎn)，其電子束光刻設(shè)備在芯片制造的光刻工藝中起著關(guān)鍵作用。然而，企業(yè)所在園區(qū)周邊存在眾多工廠，日常生產(chǎn)活動(dòng)產(chǎn)生...

2025-01-07 標(biāo)簽：半導(dǎo)體電子束光刻設(shè)備 764 0

獲得良好的衍射圖譜的前提是制備出優(yōu)質(zhì)的EBSD樣品

電子背散射衍射技術(shù)（EBSD）在材料科學(xué)領(lǐng)域，電子背散射衍射技術(shù)（EBSD）自20世紀(jì)90年代末期以來(lái)，已經(jīng)成為一種創(chuàng)新且不可或缺的分析工具。EBSD技...

2025-01-03 標(biāo)簽：SEM電子束電子顯微鏡 505 0

電子顯微鏡下的納米世界

在當(dāng)今時(shí)代，納米科學(xué)因其在眾多行業(yè)中引發(fā)的變革性應(yīng)用，已然成為促進(jìn)人類文明向前發(fā)展的重要驅(qū)動(dòng)力。無(wú)論是在生物醫(yī)學(xué)、能源存儲(chǔ)還是航空宇宙領(lǐng)域，納米技術(shù)都展...

2025-01-02 標(biāo)簽：SEM電子束電子顯微鏡 461 0

FIB系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及其實(shí)際應(yīng)用

雙束技術(shù)：FIB與SEM的協(xié)同工作雙束聚焦離子束顯微鏡的關(guān)鍵在于其雙束技術(shù)，離子束（FIB）用于樣品的精確切割和蝕刻，而電子束（SEM）則捕捉樣品的高分...

2024-12-30 標(biāo)簽：SEMfib電子束 581 0

如何操作才能使樣品在掃描電鏡中清晰成像？

要使樣品在掃描電鏡中清晰成像，需要注意以下操作要點(diǎn)：1、樣品制備-清潔處理：確保樣品表面沒(méi)有灰塵、油污和其他雜質(zhì)。比如對(duì)于金屬樣品，可以使用有機(jī)溶劑（如...

2024-12-25 標(biāo)簽：電子束掃描電鏡 1224 0