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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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面向軌道交通的高可靠性MEMS加速度計MS9000

加速度計傳感器能夠檢測多種機械運動形態(tài)，包括慣性力、傾斜、振動與沖擊等。目前市場上存在多種類型的加速度傳感器，分別采用壓電式、壓阻式及電容式等不同傳感原...

2025-10-17 標簽：mems 加速度計運動傳感器 24 0

?Microchip DSA61xx MEMS振蕩器技術解析：汽車電子時鐘方案的革新選擇

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2025-10-14 標簽：振蕩器 mems 低功率 140 0

?Microchip DSA60XX MEMS振蕩器技術解析與應用指南

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2025-10-14 標簽：振蕩器 mems 低功率 162 0

Microchip DSC12X2/3/4高性能差分MEMS振蕩器技術解析

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2025-10-13 標簽：mems 時鐘振蕩器 123 0

HV56266高電壓運算放大器的技術解析與應用指南

Microchip Technology HV56266運算放大器是一款單通道MEMS放大器，帶外部增益設置電阻器。這款放大器設計能夠穩(wěn)定帶動最大15p...

2025-10-11 標簽：放大器 mems 運算放大器 165 0

基于Microchip DSA557系列PCIe時鐘發(fā)生器的技術解析與應用

Microchip Technology DSA557 PCI Express時鐘發(fā)生器采用先進的硅MEMS技術，可在各種電壓和溫度下生成低抖動的10...

2025-10-10 標簽：mems 時鐘發(fā)生器低抖動 170 0

德州儀器DLP651NE：賦能下一代高亮度1080p顯示系統(tǒng)的核心引擎

Texas Instruments DLP651NE DLP? 1080p HSSI數(shù)字微鏡器件 (DMD) 是一款數(shù)控微機電系統(tǒng) (MEMS) 空間照...

2025-09-28 標簽：mems DMD 數(shù)字微鏡器件 277 0

MEMS加速度計如何讓無人機在狂風中穩(wěn)如磐石？

當無人機在強風中保持懸停，其背后是加速度計在實時感知每一絲氣流擾動。ER-MA-5 MEMS加速度計通過測量線性加速度，與陀螺儀、磁力計協(xié)同構成無人機的...

2025-09-25 標簽：傳感器 mems 加速度計 248 0

三軸沖擊加速度傳感器462系列：精準捕捉極端環(huán)境下的動態(tài)沖擊--森瑟科技

在工業(yè)測試、運動學研究和爆炸沖擊監(jiān)測等領域，對高g值沖擊加速度的精確測量至關重要。Senther推出的462系列三軸沖擊加速度傳感器，憑借其卓越的性能和...

2025-09-22 標簽：mems 監(jiān)測加速度傳感器 770 0

選擇合適的MEMS振動傳感器?

選擇加速度計時，我們需要注意哪些規(guī)格？雖然目前沒有任何官方標準可用于振動傳感器的分類，但可以通過這些傳感器的有效分辨率劃分其類別，如圖8所示。很明顯，M...

2025-09-16 標簽：mems 加速度計振動傳感器 322 0

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2025-08-29 標簽：mems 麥克風耳機 5.2k 0

寬視場角MEMS超聲波傳感器在雙足機器人避障系統(tǒng)中的關鍵作用

通過持續(xù)優(yōu)化傳感器融合架構，雙足機器人的環(huán)境適應性將進一步提升，為災難救援、社會服務等場景提供可靠技術支持。

2025-08-25 標簽：mems 超聲波傳感器避障系統(tǒng) 767 0

奧迪威MEMS超聲波傳感器在四足機器人測距避障系統(tǒng)中的應用

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2025-08-25 標簽：傳感器 mems 四足機器人 1.4k 0

德州儀器DLP550HE數(shù)字微鏡器件(DMD)技術解析

Texas Instruments DLP550HE數(shù)字微鏡器件(DMD) 是一款數(shù)控微機電系統(tǒng) (MEMS) 空間光調(diào)制器 (SLM)，可用于實現(xiàn)明亮...

2025-08-21 標簽：mems 調(diào)制器 DMD 557 0

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Texas Instruments DLP670RE數(shù)字微鏡設備（DMD）是一種數(shù)控微機電系統(tǒng)（MEMS）空間光調(diào)制器（SLM），能夠?qū)崿F(xiàn)明亮、經(jīng)濟實惠...

2025-08-21 標簽：mems 調(diào)制器 DMD 619 0

MEMS慣性器件主要技術指標

MEMS慣性器件包括MEMS加速度計和MEMS陀螺儀，前者測量物體的加速度，通過一次積分和二次積分獲得物體的速度和位置。后者測量物體的姿態(tài)角速率，通過積...

2025-08-19 標簽：mems 陀螺儀慣性器件 514 0

MEMS能量收集技術的應用和解決方案

超低功耗MCU的發(fā)展創(chuàng)造了一個巨大且不斷擴容的能量收集市場，無論是規(guī)劃便攜式電池供電設備，還是希望提高大型設備的能源效率，所有設計工程師都在積極將能量收...

2025-08-16 標簽：mcu mems 能量收集 805 0

MEMS封裝的需求與優(yōu)化方案

當前，盡管針對 MEMS 器件的制備工藝與相關設備已開展了大量研究，但仍有不少 MEMS 傳感器未能實現(xiàn)廣泛的商業(yè)化落地，其中一個重要原因便是 MEMS...

2025-08-15 標簽：mems 晶圓封裝 2.3k 0

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當前MEMS壓力傳感器在汽車、醫(yī)療等領域的應用廣泛，其中應力敏感薄膜的厚度是影響傳感器性能的關鍵一，因此刻蝕深度合格且均勻性良好的薄膜至關重要。費曼儀器...

2025-08-13 標簽：傳感器 mems 壓力傳感器 457 0

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