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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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根據(jù)被測量的介質(zhì)和組件的設(shè)計,這種類型的傳感器可能會成為由介質(zhì)本身引起的故障的受害者。 一個常見的問題是浮子吸收了它浸沒在其中的介質(zhì),這將導(dǎo)致人為的低液...
關(guān)于 MEMS 芯片,首先要了解的是,當(dāng)它們暴露在壓力或溫度下時,它們會產(chǎn)生相應(yīng)的輸出(以毫伏為單位),前提是已提供輸入電壓或激勵電壓。 MEMS 芯片...
許多壓力傳感器應(yīng)用都需要具有集成信號調(diào)理功能的緊湊型 MEMS 器件; 然而,挑戰(zhàn)在于找到一種能夠支持應(yīng)用的體積和成本要求(包括壓力范圍方面的靈活性)的...
最近,經(jīng)過一段時間不懈努力,實現(xiàn)了對 QMI8658 姿態(tài)傳感器的零偏(即常值誤差)進(jìn)行標(biāo)定。過去我曾整理過姿態(tài)傳感器誤差參數(shù)相關(guān)的文章,包括《MEMS...
精準(zhǔn)醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)
微流控芯片(MicrofluidicChip) ,又稱為芯片實驗室(Lab-on-a-Chip)或生物 芯片。是利用MEMS技術(shù)將一個大型實驗室系統(tǒng)縮微...
2023-06-05 標(biāo)簽:mems微流控精準(zhǔn)醫(yī)療 4.1k 0
根據(jù)真空計測量原理所采用的不同物理機制,真空計主要可分為三類:利用力學(xué)性能(如波爾登真空計和薄膜電容規(guī))、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)(如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī))...
Zepsor設(shè)計并開發(fā)了一種無源MEMS傳感器,能夠檢測人體產(chǎn)生的熱能,然后在不需要任何供能的情況下激活自身及其他電子設(shè)備。實現(xiàn)了零功耗下的“永久在線(...
研究表明:雅培CardioMEMS傳感器將心力衰竭住院率降低44%
心力衰竭是一項全球性健康挑戰(zhàn),影響著全世界超過6400萬人,并且由于頻繁的再次入院而對醫(yī)療保健系統(tǒng)提出了巨大的要求。而雅培CardioMEMS傳感器等遠(yuǎn)...
2023-05-31 標(biāo)簽:傳感器mems遠(yuǎn)程監(jiān)測 1.6k 0
摩托羅拉SPI(串行外設(shè)接口)及其變體因其低引腳數(shù)和緊湊的設(shè)計特性而成為系統(tǒng)設(shè)計人員的熱門選擇。隨著安全要求的不斷提高,現(xiàn)在比以往任何時候都更需要一個行...
所謂,RF MEMS 開關(guān),是一種是小型的微機械開關(guān),功耗低,可以使用傳統(tǒng)的 MEMS 制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān),其中觸點打開或關(guān)閉以通...
RF MEMS開關(guān)是一種小型微機械開關(guān),具有低功耗,可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間里的開關(guān),通過打開或關(guān)閉接觸點來傳導(dǎo)信號。 ...
2023-05-23 標(biāo)簽:memsRF機械開關(guān) 2.5k 0
RF MEMS 開關(guān)的設(shè)計與優(yōu)化
射頻微機電系統(tǒng)(RF MEMS)是MEMS技術(shù)的一大重要應(yīng)用領(lǐng)域,也是20世紀(jì)90年代至今研究MEMS技術(shù)各領(lǐng)域中飛速發(fā)展的熱點。射頻微機械開關(guān)體積小,...
從驅(qū)動方式和機械結(jié)構(gòu)的角度介紹了不同的RF MEMS開關(guān)類型,分析了各類MEMS開關(guān)的性能及優(yōu)缺點,分析了MEMS開關(guān)在制作和發(fā)展中面臨的犧牲層技術(shù)、封...
可穿戴設(shè)備中的傳感器:尺寸越來越“小”,左右越來越“大”
MEMS器件具有重量輕、體積小、成本低、功耗小等優(yōu)點,非常有利于MEMS器件在電信和消費電子等行業(yè)中的應(yīng)用。近年來,MEMS技術(shù)在汽車行業(yè)尤其是包括安全...
2023-05-20 標(biāo)簽:傳感器MEMS可穿戴設(shè)備 3.1k 0
微機電系統(tǒng)(MEMS)是一種緊湊型設(shè)備,在單個硅芯片上組合各種功能,如機械、光學(xué)、流體和電子,是醫(yī)療、運輸和電信領(lǐng)域發(fā)展的主要支持技術(shù)。MEMS加速度計...
今天的現(xiàn)代電子設(shè)計已經(jīng)采用了這種機械知識并將其制成傳感器。這類傳感器可采用微機電系統(tǒng) (MEMS) 進(jìn)行制造。傳感器技術(shù)可實現(xiàn)傳感器融合,從而將多個傳感...
2023-05-16 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 1.6k 0
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