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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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ADI公司革命性MEMS開關(guān)技術(shù)的基本原理
本文介紹ADI公司在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)方面的突破。與傳統(tǒng)的機(jī)電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關(guān)技術(shù)在RF和DC開關(guān)性能、可靠性和小型化方...
狀態(tài)監(jiān)測(cè)中數(shù)字MEMS加速度計(jì)的混疊效應(yīng)
與現(xiàn)有的壓電加速度計(jì)相比,MEMS加速度計(jì)具有低成本、重量、功耗和易用性等特點(diǎn),是工業(yè)機(jī)械基于振動(dòng)的狀態(tài)監(jiān)測(cè)的有吸引力的候選者。這些功能允許設(shè)備制造商嵌...
振動(dòng)校正誤差(VRE)是加速度計(jì)對(duì)交流振動(dòng)的響應(yīng),這些振動(dòng)被糾正為直流,表現(xiàn)為加速度計(jì)偏移的異常偏移。在傾角計(jì)等應(yīng)用中,這是一個(gè)重要的誤差源,其中加速度...
MEMS加速度計(jì)作為現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)測(cè)(CM)系統(tǒng)中的振動(dòng)傳感器剛剛成熟。最近在測(cè)量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)方面的擴(kuò)展正在實(shí)現(xiàn)新的概念和系統(tǒng)架構(gòu),因?yàn)镃M開...
利用MEMS慣性感測(cè)轉(zhuǎn)變應(yīng)用
例如,具有活動(dòng)檢測(cè)功能的加速度計(jì)可以在確定設(shè)備在沒有移動(dòng)或振動(dòng)的情況下處于非活動(dòng)狀態(tài)時(shí),通過告訴設(shè)備進(jìn)入最低功耗模式來啟用電源管理技術(shù)。復(fù)雜的控件和物理...
突破性的5kV ESD MEMS開關(guān)技術(shù)
ADI MEMS開關(guān)技術(shù)的核心是靜電驅(qū)動(dòng)、微加工、金懸臂梁開關(guān)元件的概念。MEMS開關(guān)可以被認(rèn)為是微米級(jí)的機(jī)械繼電器,具有金屬對(duì)金屬觸點(diǎn),通過高直流電壓...
2023-01-04 標(biāo)簽:繼電器驅(qū)動(dòng)器mems 1479 0
MEMS振動(dòng)監(jiān)測(cè):從加速度到速度
這個(gè)過程從從慣性運(yùn)動(dòng)的角度回顧線性振動(dòng)開始。在這種情況下,振動(dòng)是一種平均位移為零的機(jī)械振蕩。對(duì)于那些不希望他們的機(jī)器在工廠車間移動(dòng)的人來說,零平均位移非...
加速度計(jì)能夠測(cè)量加速度、傾斜度、振動(dòng)或沖擊,因此可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。有數(shù)百種零件可供選擇,成本和性能差異很大。本文第 1...
可穿戴設(shè)備、狀態(tài)監(jiān)測(cè)和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中的關(guān)鍵規(guī)格和功能
為您的應(yīng)用選擇最合適的加速度計(jì)可能很困難,因?yàn)椴煌圃焐痰臄?shù)據(jù)手冊(cè)可能有很大差異,導(dǎo)致對(duì)最關(guān)鍵規(guī)格的混淆。在本文的第 2 部分中,我們將重點(diǎn)介紹可穿戴設(shè)...
2023-01-03 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)電池 1331 0
對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資,加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新,極大地提高了MEMS性能,足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測(cè)應(yīng)用的可行選擇。現(xiàn)在,通過專門的MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技...
雖然消費(fèi)類應(yīng)用刺激了對(duì)這些傳感器的需求,但它們?cè)谄渌袌?chǎng)的使用也在增加。隨著數(shù)字化或物聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn),傳感器正在成為工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施應(yīng)用的核心。在這些情況下,M...
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是什么意思
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是電子工業(yè)中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉(zhuǎn)移光敏光刻膠上。然后進(jìn)行一系列化學(xué)...
未來服務(wù)對(duì)傳感器的需求:用于狀態(tài)監(jiān)測(cè)的智能傳感器
這種預(yù)測(cè)性維護(hù)(PM)的主要元素,眾所周知 技術(shù)術(shù)語,是基于狀態(tài)的監(jiān)測(cè)(CBM),通常是旋轉(zhuǎn)的 渦輪機(jī)、風(fēng)扇、泵和電機(jī)等機(jī)器。有了煤層氣, 實(shí)時(shí)記錄有關(guān)...
為工業(yè)4.0實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大的有線狀態(tài)監(jiān)控
機(jī)器人和旋轉(zhuǎn)機(jī)械(如渦輪機(jī)、風(fēng)扇、泵和電機(jī))的狀態(tài)監(jiān)控 (CbM) 記錄與機(jī)器運(yùn)行狀況和性能相關(guān)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù),以實(shí)現(xiàn)有針對(duì)性的預(yù)測(cè)性維護(hù)以及優(yōu)化控制。在機(jī)...
傳感器性能如何實(shí)現(xiàn)基于狀態(tài)的監(jiān)測(cè)解決方案
不平衡系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生過度振動(dòng),這些振動(dòng)以機(jī)械方式耦合到系統(tǒng)內(nèi)的其他組件,例如軸承、聯(lián)軸器和負(fù)載,從而可能加速處于良好運(yùn)行狀態(tài)的組件的劣化。
SPI至RS-485/RS-422設(shè)計(jì)解決方案的詳細(xì)物理層設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)
為MEMS實(shí)現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當(dāng)在長(zhǎng)RS-485/RS-422電纜上擴(kuò)展時(shí)鐘同步接口(如SPI)時(shí),以及...
MEMS系統(tǒng)的EMC合規(guī)性提高了99%
本文概括介紹了在設(shè)計(jì) EMC 標(biāo)準(zhǔn)時(shí)遇到的主要難題,這些挑戰(zhàn)應(yīng)與當(dāng)今高度集成的 CbM 解決方案相協(xié)調(diào)。眾所周知,EMC設(shè)計(jì)很難在第一次就正確,即使是電...
為什么MEMS加速度計(jì)正在成為設(shè)計(jì)人員在CbM應(yīng)用中的最佳選擇
全球狀態(tài)監(jiān)測(cè)(CbM)市場(chǎng)在過去幾年中經(jīng)歷了顯著增長(zhǎng),并且這種情況似乎將繼續(xù)下去。1這種增長(zhǎng)恰逢MEMS加速度計(jì)用于振動(dòng)傳感應(yīng)用的快速發(fā)展,現(xiàn)在可以與曾...
前烘就是在一定溫度下,使膠膜里的溶劑緩慢地?fù)]發(fā)出來,使膠膜干燥,并增加其粘附性和耐磨性。
用于狀態(tài)監(jiān)測(cè)的高保真振動(dòng)采集平臺(tái)
希望專注于算法開發(fā)的開發(fā)人員需要 準(zhǔn)確預(yù)測(cè)資產(chǎn)故障和停機(jī)時(shí)間的信息。他們不想要 設(shè)計(jì)硬件或?qū)?shù)據(jù)的完整性進(jìn)行故障排除;他們只是想 使用已知為高保真度的數(shù)...
2022-12-15 標(biāo)簽:傳感器mems機(jī)器學(xué)習(xí) 1791 0
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