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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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該傳感器模塊基于世界領(lǐng)先的MEMS技術(shù)和電通緯創(chuàng)十幾年的大規(guī)模IC封測生產(chǎn)制造經(jīng)驗和專業(yè)知識。
靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅(qū)動或摩擦的作用下,殘余電荷會集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
新型 MEMS 能量采集器的采集原理如圖 2 所示。駐極體電路的電容是固定的(Cfix),而 MEMS 可調(diào)電容器(CM)的電容根據(jù)彈簧的拉伸(由外部振...
2019-02-14 標簽:電容器mems物聯(lián)網(wǎng) 4949 0
國內(nèi)外RF MEMS廠商大盤點 5G對我國的RF MEMS廠商來說是機遇也是挑戰(zhàn)
射頻微機電系統(tǒng)(RF MEMS)是MEMS技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一,也是二十世紀九十年代以來MEMS領(lǐng)域的研究熱點。RF MEMS用于射頻和微波頻率電路中...
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,它開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其目標是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng) (GNSS) 非常有用,能夠定位全球任意位置已正確啟用此功能的系統(tǒng),但僅僅使用 GNSS 接收器進行定位也存在一些問題。使用慣性測量裝...
工業(yè)4.0和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)等計劃正在幫助制造企業(yè)提高生產(chǎn)流程的效率。基于云的分析應(yīng)用程序負責(zé)整理和提供運行生產(chǎn)或制造操作的許多不同方面的上下文。...
新型能量收集技術(shù)在MESE領(lǐng)域的應(yīng)用
隨著傳感器和無線鏈路的電能要求減弱,作為家庭、工廠車間甚至是人體內(nèi)部的簡易供電方法,能量收集器件的作用愈顯重要。 這種情況一直在激勵著各種公司和大學(xué)的研...
有許多因素導(dǎo)致加速度計技術(shù)的快速發(fā)展。首先是這類設(shè)備的市場不斷擴大,特別是在汽車,消費品和醫(yī)療電子產(chǎn)品領(lǐng)域,加速度計可以實現(xiàn)幫助產(chǎn)品在市場上取得成功的新...
應(yīng)用于工業(yè)消費市場的低功耗MEMS傳感器的介紹
MEMS傳感器徹底改變了我們與日常技術(shù)互動的方式,使其更容易,更便于用戶使用。 MEMS傳感器提供諸如2軸和3軸線性加速度計以及單軸和多軸陀螺儀等功能S...
許多技術(shù)可用于振動監(jiān)測。只需在金屬銷周圍纏繞彈簧即可創(chuàng)建低成本的閾值傳感器。當(dāng)受到振動時,彈簧接觸銷并關(guān)閉開關(guān)。另一方面,多軸MEMS運動傳感器具有大帶...
微型干簧開關(guān)已經(jīng)實現(xiàn)了各種各樣的應(yīng)用,要求高可靠性,小尺寸和低成本。簡單地說,微機械加工技術(shù)是利用半導(dǎo)體制造設(shè)備以創(chuàng)造微機械的方式為特定目的服務(wù)的系統(tǒng)。...
超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的性能優(yōu)勢和實用性可能性
超聲波被定義為上面的循環(huán)聲壓力人類聽覺的頻率限制,大約20 kHz。這是超聲波最明顯的特征,但不一定是最重要的。根據(jù)應(yīng)用要求,用戶可能還會關(guān)注:
應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)計項目的傳感器網(wǎng)絡(luò)技術(shù)介紹
醫(yī)學(xué)不推進技術(shù),技術(shù)進步醫(yī)學(xué)。對于攔截和預(yù)防性醫(yī)療技術(shù)的診斷,維護和監(jiān)測尤其如此。特別是傳感器技術(shù),基于小型化的改進 - 特別是在MEMS領(lǐng)域 - 處于...
應(yīng)用與音頻設(shè)計的MEMS麥克風(fēng)技術(shù)介紹
使用CMOS技術(shù)還可以在同一芯片上實現(xiàn)標準接口,增加集成度并降低系統(tǒng)功耗,因為芯片到芯片的連接和整體材料清單都很少。隨著可靠性的提高,這些因素促使該技術(shù)...
開發(fā)和評估板和套件是設(shè)計工程師工具箱的重要組成部分,這些產(chǎn)品在微控制器(MCU)領(lǐng)域非常重要,可以作為了解新處理器架構(gòu)和快速啟動開發(fā)的一種方式。雖然大多...
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