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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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微流控技術(shù)是下一代醫(yī)療診斷顛覆性技術(shù),聚合物的微加工方法
然而對(duì)于微尺度結(jié)構(gòu)的加工,尤其是高深寬比結(jié)構(gòu)的填充,注塑成型通常做的不如熱壓成型填充率高,對(duì)于微結(jié)構(gòu)的填充最有效的辦法是使用變模溫注塑技術(shù),即在一個(gè)循環(huán)...
沒有生命的物體也能擁有記憶呢?MEMS器件中的新應(yīng)用
實(shí)際上,早在1951年,Chang和Read就在金鎳合金中觀察到了形變?cè)偌訜崮茏兓卦蔚倪@一奇特的現(xiàn)象。Buehler在上世紀(jì)60年代發(fā)現(xiàn)了NiTi合金...
通過不同加速度傳感器的原理、制作工藝及應(yīng)用展開全面了解
MEMS壓阻式加速度傳感器的敏感元件由彈性梁、質(zhì)量塊、固定框組成。壓阻式加速度傳感器實(shí)質(zhì)上是一個(gè)力傳感器,他是利用用測量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時(shí)產(chǎn)生...
NIR光譜分析在農(nóng)業(yè)和食品行業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)的效用
光譜分析是一種測量技術(shù);它通過測量材料與不同波長光的相互作用情況來檢查材料的屬性。有幾種不同的交互作用可被測量,包括材料對(duì)光的吸收、反射和透射。
狀態(tài)監(jiān)控中的MEMS加速度計(jì)的介紹和應(yīng)用范圍
如今的MEMS設(shè)備可包括大量集成、單電壓信號(hào)調(diào)理電子器件,提供具有極低功耗的模擬和數(shù)字接口來幫助實(shí)現(xiàn)電池供電的無線產(chǎn)品。
2018-04-30 標(biāo)簽:MEMS加速度計(jì)狀態(tài)監(jiān)控 4718 0
MEMS封裝技術(shù)進(jìn)行探討研究與MEMS器件封裝優(yōu)勢(shì)
微機(jī)電系統(tǒng)是按照功能在芯片上的集成,尺寸一般是在毫米以下,制作工藝更加精密,需要更高的技術(shù),微機(jī)電系統(tǒng)早在國外就有應(yīng)用,我國起步晚,在MEMS方面的投入...
關(guān)于MEMS傳感器的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域
物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,傳感器產(chǎn)品需求大幅增加,重心也逐漸轉(zhuǎn)向技術(shù)含量較高的MEMS傳感器領(lǐng)域。
如何將低功耗應(yīng)用利用在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上
低功耗可利用MEMS加速計(jì)(Accelerometer)傳感器來增加電池壽命。傳感器變得越來越省電,所嵌入的各種功能也有助于減少整體系統(tǒng)能耗。舉例來說,...
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件,針對(duì)定制IC、AMS和MEMS設(shè)計(jì)
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件是一套針對(duì)定制集成電路(IC)、模擬/混合信號(hào)(AMS)和MEMS設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。對(duì)物聯(lián)網(wǎng)(IoT)...
利用Tanner EDA工具進(jìn)行MEMS設(shè)計(jì)和仿真學(xué)習(xí)
高速的光網(wǎng)絡(luò)使世界各地的人們得以即時(shí)交流和分享想法。微小的MEMS光開關(guān)在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關(guān)涉及機(jī)械、光學(xué)和電氣三個(gè)領(lǐng)域,...
兩款RF MEMS開關(guān)設(shè)計(jì)固有的“逆天”性能
其實(shí),我們身邊不乏這樣的“黃金芯片”,ADI 發(fā)布的 RF MEMS 開關(guān)再次將黃金的優(yōu)良金屬性能在芯片中的應(yīng)用發(fā)揮到極致。我們不妨來看看這些黃金造的芯...
許多應(yīng)用需要能在125℃以上環(huán)境下工作的信號(hào)處理解決方案,但對(duì)于采用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的集成電路其最高工作溫度通常僅規(guī)定為125℃。無論是在地下一英里處操縱油鉆還...
2018-04-12 標(biāo)簽:芯片驅(qū)動(dòng)器MEMS 8900 0
MEMS制程:簡要介紹一下前段制程的特點(diǎn)及涉及的設(shè)備
電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準(zhǔn)地實(shí)現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)膜材,使膜材表面原子蒸發(fā)進(jìn)而沉積在基片上;以FATRI UTC電子束蒸鍍機(jī)在MEMS制造過...
為了獲得高性能的MEMS磁傳感器,首先要根據(jù)器件的應(yīng)用對(duì)象對(duì)器件進(jìn)行設(shè)計(jì),由此確定器件的結(jié)構(gòu)、使用的材料、應(yīng)用的工作原理和感應(yīng)技術(shù)等。MEMS設(shè)計(jì)人員可...
近年來,隨著人們對(duì)家庭及辦公場所要求的不斷提高,在創(chuàng)造智能家居環(huán)境的同時(shí)還要充分考慮節(jié)能環(huán)保的問題。以智能照明為例,在國家大力推動(dòng)節(jié)能減排的背景下,實(shí)現(xiàn)...
基于MEMS磁傳感器在制備過程設(shè)計(jì)及應(yīng)用
在這些傳感器中,雖然SQUID可探測極小磁感應(yīng)強(qiáng)度(fT),但裝置需要低溫冷卻,并且易受電磁干擾,為此需要復(fù)雜的外圍設(shè)備。
MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System),相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個(gè)厘米...
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