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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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幾種不同的光束偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)對(duì)比
傳統(tǒng)的大尺寸振鏡采用兩個(gè)獨(dú)立的電磁旋轉(zhuǎn)模塊(VCM),驅(qū)動(dòng)兩個(gè)正交反射鏡。光束從兩個(gè)正交反射鏡反射,產(chǎn)生雙軸光束偏轉(zhuǎn)。角度傳感器是集成的。驅(qū)動(dòng)和控制電子...
2024-04-29 標(biāo)簽:mems電機(jī)驅(qū)動(dòng)光束 1.6k 0
數(shù)十年來(lái),基于石英的時(shí)鐘器件一直為航空航天和國(guó)防應(yīng)用提供參考時(shí)鐘。盡管,多年來(lái)基于石英的振蕩器不斷增強(qiáng)以改進(jìn)其缺點(diǎn),但其固有不足使其成為下一代防御系統(tǒng)(...
消除微型傳感器IC中外部熱擾動(dòng)的方案設(shè)計(jì)
Melexis 將探討非接觸式溫度感應(yīng)背后的原理,以及盡可能減輕熱沖擊影響的方法。
如何識(shí)別和診斷交流感應(yīng)電機(jī)特定的故障類型
當(dāng)工廠中的關(guān)鍵電機(jī)意外發(fā)生故障時(shí),生產(chǎn)就會(huì)停止。如果需要更換特定部件甚至整個(gè)電機(jī),則可能會(huì)產(chǎn)生較長(zhǎng)的交貨時(shí)間。計(jì)劃外停機(jī)的成本是計(jì)劃內(nèi)停機(jī)的 10 倍。...
本文16引線SOIC加速儀封裝的完整工藝流程進(jìn)行了評(píng)估解以了解造成低ppm水平芯片斷裂的裂紋擴(kuò)展和傾向。找出了兩個(gè)危害最大的關(guān)鍵工序。影響最大的是焊接回...
2013-01-25 標(biāo)簽:MEMSMEMS加速計(jì) 1.6k 0
把多個(gè)功用不一樣的傳感元件集成在一起,除可一起進(jìn)行多種參數(shù)的丈量外,還可對(duì)這些參數(shù)的丈量成果進(jìn)行歸納處理和評(píng)估,可反映出被測(cè)體系的全體狀況。由上還能夠...
2016-01-19 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1.6k 0
細(xì)數(shù)MEMS傳感器所涉及到的汽車安全系統(tǒng)
車輛安全問題一直是一個(gè)待改進(jìn)的問題,整個(gè)車輛需要向著更安全、更清潔和更經(jīng)濟(jì)的方向發(fā)展,這個(gè)是在電控車身系統(tǒng)、動(dòng)力總成系統(tǒng)、輔助駕駛系統(tǒng)以及車載信息系統(tǒng)等...
2014-08-26 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)MEMS汽車安全 1.6k 0
今天的現(xiàn)代電子設(shè)計(jì)已經(jīng)采用了這種機(jī)械知識(shí)并將其制成傳感器。這類傳感器可采用微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 進(jìn)行制造。傳感器技術(shù)可實(shí)現(xiàn)傳感器融合,從而將多個(gè)傳感...
2023-05-16 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 1.6k 0
通過(guò)AEC-Q100認(rèn)證的QVGA飛行時(shí)間傳感器 IC---MLX 75026,該產(chǎn)品現(xiàn)已量產(chǎn)。MLX 75026 是 Melexis 第三代 QVGA...
10kHz MEMS加速度計(jì)適合狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用
狀態(tài)監(jiān)控(CbM)是一種預(yù)測(cè)性維護(hù)方式,其利用各種傳感器來(lái)評(píng)估設(shè)備隨時(shí)間的運(yùn)行狀態(tài)。收集的傳感器數(shù)據(jù)用于建立基線趨勢(shì),從而幫助診斷甚至預(yù)測(cè)故障。與傳統(tǒng)的...
下一代觸控板設(shè)計(jì)的核心之MEMS壓力傳感器
今天的大多數(shù)觸控板都由定位感應(yīng)功能(觸控板襯板)和用于實(shí)現(xiàn)點(diǎn)擊功能的機(jī)械致動(dòng)器組成。電容感應(yīng)提供位置信息,就像目前的觸摸屏一樣。
帶頻率響應(yīng)補(bǔ)償?shù)腗EMS振動(dòng)分析儀
電路功能與優(yōu)勢(shì) 圖1所示電路是一款高線性度、低噪聲、寬帶寬振動(dòng)檢測(cè)解決方案。該方案適用于要求具有寬動(dòng)態(tài)范圍(70 g、250 g 或500 g)以及平坦...
2014-03-13 標(biāo)簽:MEMS振動(dòng)分析儀 1.6k 0
TDLS檢測(cè)利用光電二極管測(cè)量穿過(guò)氣室的激光強(qiáng)度。根據(jù)比爾-朗伯(Beer–Lambert)定律,紅外吸收技術(shù)的靈敏度與吸收路徑的長(zhǎng)度成正比,這意味著性...
MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的請(qǐng)求調(diào)度算法及數(shù)據(jù)布局策略的詳細(xì)介紹
MEMS也即微機(jī)電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對(duì)MEMS都具備一定認(rèn)識(shí)。在往期文章中,小編對(duì)MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進(jìn)大家對(duì)MEMS的了解程度...
2021-02-13 標(biāo)簽:MEMS存儲(chǔ)器存儲(chǔ)設(shè)備 1.6k 0
MEMS和FOG技術(shù)之間的戰(zhàn)爭(zhēng) 誰(shuí)會(huì)戰(zhàn)到最后
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競(jìng)爭(zhēng)。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
2018-04-14 標(biāo)簽:mems 1.6k 0
研究表明:雅培CardioMEMS傳感器將心力衰竭住院率降低44%
心力衰竭是一項(xiàng)全球性健康挑戰(zhàn),影響著全世界超過(guò)6400萬(wàn)人,并且由于頻繁的再次入院而對(duì)醫(yī)療保健系統(tǒng)提出了巨大的要求。而雅培CardioMEMS傳感器等遠(yuǎn)...
2023-05-31 標(biāo)簽:傳感器mems遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè) 1.6k 0
基于高溫退火非極性面氮化鋁單晶薄膜實(shí)現(xiàn)高性能聲學(xué)諧振器開發(fā)
氮化鋁(AlN)以其超寬禁帶寬度(~6.2 eV)和直接帶隙結(jié)構(gòu),與氧化鎵、氮化硼、金剛石等半導(dǎo)體材料被并稱為超寬禁帶半導(dǎo)體,與氮化鎵、碳化硅等第三代半...
半導(dǎo)體制程到了十字路口 對(duì)物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用是好消息
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來(lái)到了一個(gè)十字路口:有些設(shè)計(jì)追求微縮至7納米節(jié)點(diǎn)制程,但大多數(shù)設(shè)計(jì)其實(shí)還停留在28納米或更舊的節(jié)點(diǎn)。
2016-08-31 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng)半導(dǎo)體制程 1.5k 0
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