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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于閉環(huán)MEMS的電容式慣性傳感器設(shè)計
微機(jī)械式慣性傳感器已經(jīng)成為許多消費(fèi)產(chǎn)品的一個組成部分,比如手持式移動終端、照相機(jī)和游戲控制器等。此外,微機(jī)械式慣性傳感器還被廣泛用于工業(yè)、汽車安全和穩(wěn)定...
可穿戴設(shè)備、狀態(tài)監(jiān)測和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中的關(guān)鍵規(guī)格和功能
為您的應(yīng)用選擇最合適的加速度計可能很困難,因為不同制造商的數(shù)據(jù)手冊可能有很大差異,導(dǎo)致對最關(guān)鍵規(guī)格的混淆。在本文的第 2 部分中,我們將重點(diǎn)介紹可穿戴設(shè)...
2023-01-03 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)電池 1.5k 0
MEMS傳感器在消費(fèi)類領(lǐng)域的應(yīng)用
硬盤驅(qū)動器保護(hù)功能 硬盤驅(qū)動器墜落保護(hù)功能是MEMS運(yùn)動傳感器在消費(fèi)電子市場的具有重要?dú)v史意義的代表性應(yīng)用之一。 在手提電腦內(nèi)的三軸加速度傳感計可以監(jiān)測...
ADXL345 3 軸數(shù)字加速計: 小型、薄片式、低功耗移動設(shè)備應(yīng)用的理想選擇
具有 13 位分辨率的 ADXL345 3 軸數(shù)字加速計 Analog Devices 的小型、薄片式、低功耗 ADXL345 加速計是移動設(shè)備應(yīng)用的理...
由于采用了Technitrol的MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))麥克風(fēng)技術(shù),一系列極具創(chuàng)新性的MEMS產(chǎn)品得以投放到在硅麥克風(fēng)市場。首批上市的產(chǎn)品為愛普科斯T...
智能汽車將推動CMOS圖像傳感器和傳感器晶圓需求的持續(xù)增長
移動終端產(chǎn)品中的電子元器件應(yīng)用日益增長,受此驅(qū)動,半導(dǎo)體行業(yè)正面臨著一個新的時代,在這個新時代,工藝節(jié)點(diǎn)縮小和成本降低將不再延續(xù)過去幾十年來的摩爾定律發(fā)...
替代MEMS?未來20年,最具顛覆性的4大傳感器技術(shù),中國已提前布局!
在過去的20年,傳感器廠商不斷研究創(chuàng)新的測量原理和敏感材料,這些成果能讓我們用到高集成、低成本的傳感器,其中,最成功也是最具顛覆性的,無疑是MEMS技術(shù)...
MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于...
2015-03-20 標(biāo)簽:汽車電子MEMS可穿戴設(shè)備 1.5k 0
NIST開發(fā)出微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)延遲線內(nèi)存控制器
美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)日前展示一款采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的延遲線內(nèi)存控制器,可望作為未來量子電腦的暫存內(nèi)存控制器。
2013-03-21 標(biāo)簽:MEMS延遲線微機(jī)電系統(tǒng) 1.5k 0
從驅(qū)動方式和機(jī)械結(jié)構(gòu)的角度介紹了不同的RF MEMS開關(guān)類型,分析了各類MEMS開關(guān)的性能及優(yōu)缺點(diǎn),分析了MEMS開關(guān)在制作和發(fā)展中面臨的犧牲層技術(shù)、封...
各種創(chuàng)新消費(fèi)類產(chǎn)品的MEMS傳感器應(yīng)用設(shè)計
MEMS即微機(jī)電系統(tǒng),是利用微米級立體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)感應(yīng)和執(zhí)行功能的一項關(guān)鍵技術(shù)。其中,微米級立體結(jié)構(gòu)是利用被稱為“微加工”的特殊工藝實(shí)現(xiàn)的微米大小的立體機(jī)械...
ADI公司推出了一款雙軸傾斜計傳感器能提供出小于0.1度線性傾斜誤差
ADIS16209作為業(yè)界最精密的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)傾斜計,提供小于0.1度線性傾斜誤差的全補(bǔ)償直接角度輸出,從而使其精度提高到至少是同類傾斜傳...
一般理解傳感器是將一種物理量經(jīng)過電路轉(zhuǎn)換成一種能以另外一種直觀的可表達(dá)的物理量的描述。比如轉(zhuǎn)換成僅依賴于此測物理量的較高的電壓電流等信號,再顯示出來。...
2016-01-19 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1.5k 0
意法半導(dǎo)體的傳感器產(chǎn)品包括MEMS(微機(jī)電 傳感器,包括加速度計、陀螺儀、數(shù)字羅盤、慣性模塊、壓力傳感器和麥克風(fēng))、溫度傳感器和觸摸傳感器。
2013-02-20 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 1.5k 0
水壓計ILPS28QSW開發(fā)(3)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱為電荷變化檢測(Qvar stands for “Quasi-static VARiation”),是一種用于檢測電荷變化的技術(shù)。這種技術(shù)...
利用標(biāo)準(zhǔn)代工平臺構(gòu)建硅光子MEMS微環(huán)諧振濾波器
通常,利用光子集成電路(PIC)執(zhí)行此操作。光子集成電路將光限制并引導(dǎo)到微尺度組件中,例如陣列波導(dǎo)光柵或集成環(huán)形諧振器等,這些組件在多個波長通道中操縱信息。
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