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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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本文論述如何在個人導航儀內(nèi)利用MEMS壓力傳感器輔助GPS接收器測量海拔高度。本文第一部分概述大氣壓與海拔高度的關(guān)系。第二部門描述如何使用壓力傳感器計算...
空壓機作為工業(yè)氣動系統(tǒng)的核心動力源,其輸出壓力的穩(wěn)定性直接影響氣動工具精度、產(chǎn)品良率及能耗成本。傳統(tǒng)空壓機依賴機械式壓力表,存在讀數(shù)滯后、調(diào)節(jié)粗糙等問題...
反射型顯示器技術(shù)背后的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀
電潤顯示的反應速度要比電泳快很多,但要實現(xiàn)與LCD一樣的反應速度,電潤材料的液體粘性仍然很難克服,而且即便是其粘度能達到與液晶一樣,其分子自組裝仍然需要...
陶瓷封裝在MEMS(微機電系統(tǒng))上的應用是一個廣泛而深入的話題,它涉及到材料科學、微電子技術(shù)、精密機械加工等多個領(lǐng)域。
優(yōu)化導航系統(tǒng)中的MEMS IMU數(shù)據(jù)一致性和時序
PNT專家Dana Goward在近期的一篇社論中指出,如今社會極度依賴GPS提供的位置導航授時服務(PNT)?,F(xiàn)有GPS/GNSS PNT服務面臨著一...
2025-07-11 標簽:mems導航系統(tǒng)IMU 1.9k 0
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競爭。微機電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
今天的現(xiàn)代電子設(shè)計已經(jīng)采用了這種機械知識并將其制成傳感器。這類傳感器可采用微機電系統(tǒng) (MEMS) 進行制造。傳感器技術(shù)可實現(xiàn)傳感器融合,從而將多個傳感...
2023-05-16 標簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 1.9k 0
MEMS替代石英方案 SiTime插旗急攻高端戰(zhàn)場
MEMS時鐘器件正全面收復石英市占。高舉“全硅時鐘技術(shù)”大旗的全硅MEMS時鐘廠商SiTime公司近期再祭殺手锏,迅速插旗智能手機/平板電腦及高端FPG...
引領(lǐng)移動MEMS市場發(fā)展 意法半導體MEMS器件解決方案
意法半導體的傳感器產(chǎn)品包括MEMS(微機電 傳感器,包括加速度計、陀螺儀、數(shù)字羅盤、慣性模塊、壓力傳感器和麥克風)、溫度傳感器和觸摸傳感器。
當工廠中的關(guān)鍵電機意外發(fā)生故障時,生產(chǎn)就會停止。如果需要更換特定部件甚至整個電機,則可能會產(chǎn)生較長的交貨時間。計劃外停機的成本是計劃內(nèi)停機的 10 倍。...
利用EL6249C芯片實現(xiàn)頻閃照明電路的設(shè)計
微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的新興學科。由于它與傳統(tǒng)機械系統(tǒng)相比,具有可大批量生產(chǎn)、成本低、功耗小、集成化等一系列...
MEMS存儲設(shè)備的請求調(diào)度算法以及數(shù)據(jù)布局策略詳細介紹
MEMS也即微機電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進大家對MEMS的了解程度...
基于MEMS技術(shù)的新一代傳感器與診斷預測應用的先進算法相結(jié)合,擴大了測量各種機器和提高能力的機會,有助于高效監(jiān)控設(shè)備,延長正常運行時間,增強過程質(zhì)量,提升產(chǎn)量。
2019-06-17 標簽:傳感器mems半導體技術(shù) 1.8k 0
MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)...
任何晶圓的刻蝕都涉及邊緣不連續(xù)性,而且隨著晶圓尺寸提升至300mm,這些問題對良率的影響會更為顯著。
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