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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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業(yè)界轉(zhuǎn)向MEMS以獲得精確的實(shí)時(shí)時(shí)鐘
實(shí)時(shí)時(shí)鐘 (RTC) 不斷發(fā)展,通過變得更小、更準(zhǔn)確來跟上其使用和應(yīng)用的變化。這種演變和適應(yīng)背后的主要驅(qū)動(dòng)力是一種新的諧振器技術(shù)——微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS...
所謂,RF MEMS 開關(guān),是一種是小型的微機(jī)械開關(guān),功耗低,可以使用傳統(tǒng)的 MEMS 制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān),其中觸點(diǎn)打開或關(guān)閉以通...
意法半導(dǎo)體在穿戴式設(shè)備領(lǐng)域的傳感器布局
可穿戴裝置的關(guān)鍵技術(shù)有四:傳感技術(shù)、計(jì)算技術(shù)、電源技術(shù)和通信技術(shù)。意法半導(dǎo)體公司(STMicroelectronics,ST)在傳感器、嵌入式處理、連接...
2018-05-17 標(biāo)簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 1588 0
MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展十分迅速,但是人們常常忽視對(duì)其的早期測(cè)試。乍一看來,MEMS器件和傳統(tǒng)IC器件的制造十分相似,但是,由于MEMS器件具有額外的機(jī)械部分(...
2016-11-05 標(biāo)簽:mems 1587 0
精密MEMS傳感器實(shí)現(xiàn)新的導(dǎo)航應(yīng)用
導(dǎo)航通常與汽車、飛機(jī)和輪船有關(guān)。然而,在工業(yè)和醫(yī)療領(lǐng)域,精確導(dǎo)航正變得越來越廣泛地應(yīng)用于從工廠機(jī)械和手術(shù)機(jī)器人到急救人員跟蹤的各種應(yīng)用中。有許多現(xiàn)有的方...
微機(jī)電系統(tǒng)與專用集成電路的結(jié)合也在同時(shí)走向成熟,這將帶來前所未有的產(chǎn)品。傳感器的微型化推動(dòng)了遠(yuǎn)程醫(yī)療、智能家居、智能城市、先進(jìn)制造設(shè)施、手持可穿戴設(shè)備等...
2024-01-03 標(biāo)簽:mems晶體管微機(jī)電系統(tǒng) 1572 0
本文共討論了MEMS加速計(jì)的三種高壓滅菌器失效機(jī)理。分別說明了每一種失效機(jī)理的FA方法(通過建模和測(cè)量)和設(shè)計(jì)改進(jìn)。排除了封裝應(yīng)力作為高壓滅菌器失效的根源。
2013-01-24 標(biāo)簽:MEMSMEMS加速計(jì)高壓滅菌器 1566 0
把多個(gè)功用不一樣的傳感元件集成在一起,除可一起進(jìn)行多種參數(shù)的丈量外,還可對(duì)這些參數(shù)的丈量成果進(jìn)行歸納處理和評(píng)估,可反映出被測(cè)體系的全體狀況。由上還能夠...
2016-01-19 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1563 0
基于MEMS技術(shù)的新一代傳感器與診斷預(yù)測(cè)應(yīng)用的先進(jìn)算法相結(jié)合,擴(kuò)大了測(cè)量各種機(jī)器和提高能力的機(jī)會(huì),有助于高效監(jiān)控設(shè)備,延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間,增強(qiáng)過程質(zhì)量,提升產(chǎn)量。
2019-06-17 標(biāo)簽:傳感器mems半導(dǎo)體技術(shù) 1563 0
使用 MEMS 加速計(jì)快速部署傳感器,實(shí)現(xiàn)基于 IIoT 的預(yù)測(cè)性維護(hù)
作者:Richard A. Quinnell 使用振動(dòng)傳感器對(duì)機(jī)器進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè),這是工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) (IIoT)(或工業(yè)4.0)預(yù)測(cè)性維護(hù)目標(biāo)的關(guān)鍵要素。這...
LSM6DS3TR-C是單芯片“3軸陀螺儀 + 3軸加速度計(jì)”的慣性 測(cè)量單元(IMU), 五種種可選滿量程的陀螺儀(125/250/500/1000/...
2023-11-14 標(biāo)簽:mems陀螺儀數(shù)據(jù)采集 1561 0
在環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療診斷和工業(yè)產(chǎn)品制造等領(lǐng)域,能夠?qū)Χ喾N分析物進(jìn)行選擇性檢測(cè)的高性能氣體/化學(xué)傳感器是近些年研究關(guān)注的熱點(diǎn)。
通過AEC-Q100認(rèn)證的QVGA飛行時(shí)間傳感器 IC---MLX 75026,該產(chǎn)品現(xiàn)已量產(chǎn)。MLX 75026 是 Melexis 第三代 QVGA...
如何對(duì)系統(tǒng)和組件進(jìn)行可靠的封裝是微系統(tǒng)工業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn),因?yàn)槲⑾到y(tǒng)的封裝技術(shù)遠(yuǎn)沒有微電子封裝技術(shù)成熟。微系統(tǒng)封裝在廣義上講有三個(gè)主要的任務(wù):裝配、封裝...
MEMS加速度計(jì)作為現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)測(cè)(CM)系統(tǒng)中的振動(dòng)傳感器剛剛成熟。最近在測(cè)量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)方面的擴(kuò)展正在實(shí)現(xiàn)新的概念和系統(tǒng)架構(gòu),因?yàn)镃M開...
復(fù)旦大學(xué)在新型MEMS基ppb級(jí)硫化氫氣體傳感器研究中取得進(jìn)展
隨著新材料的研究不斷深入,MOF材料在氣體傳感領(lǐng)域展現(xiàn)了極大的應(yīng)用前景。MOF多孔納米材料由金屬離子和有機(jī)配體自組裝而成,具有孔隙率高、比表面積大、孔道...
如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測(cè)中的振動(dòng)檢測(cè)
本文展示了一種基于ADXL1002 MEMS加速度計(jì)的高線性、低噪聲、寬帶振動(dòng)測(cè)量解決方案。該解決方案可用于軸承分析或發(fā)動(dòng)機(jī)監(jiān)控,以及需要高達(dá) ±50 ...
任何晶圓的刻蝕都涉及邊緣不連續(xù)性,而且隨著晶圓尺寸提升至300mm,這些問題對(duì)良率的影響會(huì)更為顯著。
MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的請(qǐng)求調(diào)度算法以及數(shù)據(jù)布局策略詳細(xì)介紹
MEMS也即微機(jī)電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對(duì)MEMS都具備一定認(rèn)識(shí)。在往期文章中,小編對(duì)MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進(jìn)大家對(duì)MEMS的了解程度...
用ADIN1110設(shè)計(jì)一款小巧但強(qiáng)大的傳感器
對(duì)于狀態(tài)監(jiān)測(cè)(CbM)傳感器開發(fā),單對(duì)以太網(wǎng)(SPE)或10BASE-T1L比標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)更具顯著優(yōu)勢(shì),包括縮小傳感器尺寸、降低復(fù)雜性和低成本布線選項(xiàng)。本...
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