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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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在半導體制造中,刻蝕工序是必不可少的環(huán)節(jié)。而刻蝕又可以分為干法刻蝕與濕法刻蝕,這兩種技術(shù)各有優(yōu)勢,也各有一定的局限性,理解它們之間的差異是至關(guān)重要的。
TAG-304陀螺儀專為特別惡劣的環(huán)境應(yīng)用而開發(fā),能夠滿足MIL-STD-810標準,承受極端的沖擊和振動。此外,TAG-304陀螺儀完全數(shù)字化(RS-...
解決大問題需要開創(chuàng)性的技術(shù),機電繼電器早在電報問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關(guān)技術(shù)可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務(wù)、醫(yī)療保健...
2023-09-07 標簽:ESDmems微機電系統(tǒng) 1059 0
量子傳感器具有許多經(jīng)典傳感器所不具有的性質(zhì) ,設(shè)計量子傳感器時 ,在重點考慮將量子領(lǐng)域不可直接測量量變換成可測量量外 ,還應(yīng)從非破壞性 、實時性 、靈敏...
近年來,隨著機器人、可穿戴設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)(IoT)等領(lǐng)域的快速發(fā)展,人們對基于柔性聚合物的壓電薄膜(特別是氧化鋅(ZnO)和氮化鋁(AlN))的研究興趣顯...
慣性導航技術(shù)是慣性技術(shù)的核心和發(fā)展標志,慣性導航系統(tǒng) (Inertia navigation system,INS) 利用陀螺儀和加速度計 (統(tǒng)稱為慣性...
2023-08-22 標簽:mems陀螺儀導航系統(tǒng) 5605 0
什么是MEMS?MEMS深度文章從原理制造到應(yīng)用全講透
MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及,我們身邊的智能手機、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無不包含,然而大部分人對MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)...
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,砂輪劃片、激光全切等傳統(tǒng)切割方式存在振動沖擊大、切割屑污染、熱應(yīng)力作用大等問題,常常導致具有懸膜、懸臂梁、微針、微彈簧等敏感結(jié)構(gòu)類型的芯片損壞
國產(chǎn)傳感器罕見的時代機遇,是120萬億機器人市場
來源:傳感器專家網(wǎng) 機器人指數(shù)今年以來彈性突出,上半年指數(shù)漲幅達到25%,多個機器人傳感器概念企業(yè)漲幅明顯。 編輯:感知芯視界 從市場到資本,目前中國智...
三軸陀螺儀基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)或光學原理工作。它通常由三個獨立的感測器組成,每個感測器測量物體圍繞一個軸的旋轉(zhuǎn)速度。這些感測器可以是微機電系統(tǒng)...
MEMS傳感器是最先進的微型設(shè)備之一,以令人難以置信的精確度測量物理量,有力地改變著各行各業(yè)。MEMS技術(shù)使得高度集成系統(tǒng)的開發(fā)成為可能,這些系統(tǒng)用于監(jiān)...
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