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      廠商產品 +關注129人關注

      微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3561個 瀏覽：194130次 帖子：462個

      mems資訊

      研發(fā)MEMS探針卡和LTCC陶瓷測試基板，韜盛科技獲1.6億元B輪投資

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      殷嵐勇?lián)碛屑幽么驣vey商學院EMBA學位，2002年回國后歷任晶圓探測器公司Electroglas中國區(qū)銷售經(jīng)理和K&S半導體測試產品事業(yè)部中...

      2023-05-19 標簽：半導體mems探針 1860 0

      熱環(huán)境中結晶硅的蝕刻工藝研究

      微電子機械系統(tǒng)（MEMS）是將機械元件和電子電路集成在一個共同的基板上，通過使用微量制造技術來實現(xiàn)尺寸從小于一微米到幾微米的高性能器件。由于現(xiàn)有的表面加...

      2023-05-19 標簽：半導體mems晶圓 841 0

      又一國產MEMS傳感器龍頭企業(yè)科創(chuàng)板IPO注冊通過?。ㄗC監(jiān)會最新消息）

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      ? 據(jù)傳感器專家網(wǎng)從證監(jiān)會獲悉，5月16日，證監(jiān)會披露了關于同意安徽芯動聯(lián)科微系統(tǒng)股份有限公司（簡稱：芯動聯(lián)科）首次公開發(fā)行股票注冊的批復，同意芯動聯(lián)科...

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      適用于中低真空度測量的AGP3000皮拉尼真空計

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      真空計，也稱為真空表計和真空規(guī)管，是測量真空度或低氣壓的儀器。一般用氣體的某些物理效應在不同壓力下的變化來測量壓力，廣泛用于科研和工業(yè)生產。 根據(jù)真空計...

      2023-05-18 標簽：mems測量 906 0

      剛剛！中國第二大晶圓廠科創(chuàng)板成功過會！募資180億！擁有MEMS-CMOS全兼容產線！

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      剛剛（5月17日下午），據(jù)傳感器專家網(wǎng)從上海證券交易所獲悉，全球領先的特色工藝純晶圓代工企業(yè)華虹半導體（華虹宏力），在上交所科創(chuàng)板的IPO上市委會議中成...

      2023-05-18 標簽：CMOSmems晶圓 1506 0

      基于微懸臂梁的MEMS探針中與傾斜相關定位誤差的量化和校正

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      ? ? 1995年，時任國防科工委主任、中國工程院院士、中國人民解放軍上將丁衡高在《中國慣性技術學報》、《儀器儀表學報》等期刊上，發(fā)表題為《面向21世紀...

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