本應(yīng)用筆記探討了MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)在標(biāo)準(zhǔn)實時時鐘（RTC）中相對于標(biāo)準(zhǔn)晶體技術(shù)的優(yōu)勢。最明顯的優(yōu)勢是尺寸。還討論了MEMS技術(shù)優(yōu)越的其他領(lǐng)域-CMOS工藝和開發(fā)，制造與組裝以及環(huán)境耐用性
2021-05-13 07:50:00
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進(jìn)行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的，膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
2022-10-11 09:12:592651 MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及，我們身邊的智能手機(jī)、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無不包含，然而大部分人對MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)的應(yīng)用主要有傳感器和執(zhí)行器兩部分，本文是一篇
2023-08-21 17:23:1614605 
MEMS傳感器是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù)，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術(shù)促進(jìn)了傳感器的極大發(fā)展。
2023-11-05 10:13:464883 
層，該多晶硅層被圖案化為可移動的機(jī)械結(jié)構(gòu)，并通過犧牲性蝕刻下面的氧化物層來釋放。叉指式梳狀電極用于產(chǎn)生平面內(nèi)力并以電容方式檢測平面內(nèi)運動。這種MEMS范例使制造低成本的加速度計成為可能適用于例如汽車
2021-01-05 10:33:12
顧兩種技術(shù)的基礎(chǔ)知識，比較它們的差異并貫穿每種解決方案的優(yōu)勢。MEMS麥克風(fēng)MEMS麥克風(fēng)采用MEMS元件安裝在印刷電路板（PCB）上并由機(jī)械覆蓋物保護(hù)， 機(jī)殼內(nèi)加工了一個小孔，可以讓聲音進(jìn)入設(shè)備。此孔
2019-02-23 14:05:47
ADI公司產(chǎn)品營銷工程師Max Liberman和業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell在工業(yè)制造運營中，被動的設(shè)備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素，這種維修本來是可以避免的。平均售價僅幾美元
2018-10-17 10:34:00
ADI公司產(chǎn)品營銷工程師Max Liberman和業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell在工業(yè)制造運營中，被動的設(shè)備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素，這種維修本來是可以避免的。平均售價僅幾美元
2018-10-18 11:35:34
ADI公司產(chǎn)品營銷工程師Max Liberman和業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell在工業(yè)制造運營中，被動的設(shè)備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素，這種維修本來是可以避免的。平均售價僅幾美元
2018-10-24 10:42:46
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，以半導(dǎo)體制造技術(shù)為
2016-12-09 17:46:21
的微型器件研究，還有很多創(chuàng)新工作要做，不然就會面臨發(fā)展停滯的風(fēng)險。技術(shù)優(yōu)勢：用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結(jié)構(gòu)， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點， 產(chǎn)能高，良品率
2018-11-12 10:51:35
、機(jī)械和熱屬性都非常出色。此外，半導(dǎo)體廠商還意識到，如果使用成熟的芯片量產(chǎn)制造技術(shù)，在晶片上一次可以制造數(shù)以萬計的MEMS器件。這就是說，MEMS可以利用微電子器件現(xiàn)有的規(guī)模經(jīng)濟(jì)，獲得更大的成本優(yōu)勢
2018-10-31 16:56:44
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
微小。采用以硅為主的材料，采用與集成電路（IC）類似的生成技術(shù)，可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟技術(shù)、工藝，進(jìn)行大批量、低成本生產(chǎn)，使性價比相對于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。完整的MEMS是由微傳感器
2018-09-07 15:24:09
據(jù)麥姆斯咨詢介紹，物聯(lián)網(wǎng)（IoT）可以利用MEMS的幾個核心功能和優(yōu)勢，MEMS器件可以有效地滿足許多物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的要求：
2020-12-23 07:09:36
設(shè)計流程中都必須對封裝策略和如何折中進(jìn)行考慮和給與極大的關(guān)注。許多MEMS產(chǎn)品供應(yīng)商都會把產(chǎn)品封裝作為進(jìn)行市場競爭的主要產(chǎn)品差異和競爭優(yōu)勢。封裝選擇規(guī)則設(shè)計MEMS器件的封裝往往比設(shè)計普通集成電路的封裝
2010-12-29 15:44:12
很小，能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GHz信號，有望徹底改變電子系統(tǒng)的實現(xiàn)方式。這種性能優(yōu)勢會對大量不同的設(shè)備和應(yīng)用產(chǎn)生重要影響。在MEMS開關(guān)技術(shù)的幫助下，很多領(lǐng)域都將達(dá)到前所未有
2018-10-17 10:52:05
在通信領(lǐng)域上亦憑借超低損耗、高隔離度、成本低等優(yōu)勢在手機(jī)上得到應(yīng)用。然而RF MEMS開關(guān)普遍存在驅(qū)動電壓高、開關(guān)時間長的問題，劣于FET場效應(yīng)管開關(guān)和PIN二極管開關(guān)。相對于國外已取得的成果，國內(nèi)的研究尚處于起步階段。下文將針對MEMS開關(guān)的缺陷做一些改進(jìn)。
2019-07-29 07:57:25
意法半導(dǎo)體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導(dǎo)體迅速擴(kuò)大了在消費電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價格、更高
2019-11-05 06:19:06
電系統(tǒng)（MEMS），在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù)，或在日本被稱為微機(jī)械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米——1微米可是要比人們頭發(fā)的直徑小很多。 MEMS
2018-11-07 11:00:01
哪位大佬可以詳細(xì)介紹下MEMS技術(shù)到底是什么
2020-11-25 07:23:59
，這是修修補(bǔ)補(bǔ)的改造所不能實現(xiàn)的效果。由于MEMS振蕩器的實現(xiàn)原理完全不同于以往的石英晶振，因此它可以克服現(xiàn)有石英晶振的很多先天劣勢。具體總結(jié)如下：由采用全硅MEMS技術(shù)所帶來的優(yōu)勢，下面從體積到性能
2016-06-04 10:18:38
微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設(shè)計和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應(yīng)用，涉及各種細(xì)分市場。在眾多細(xì)分市場中，價格降低、準(zhǔn)確度要求提高和快速面市需求將對設(shè)計和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
作者：Mark Looney簡介MEMS加速度計終于達(dá)到了能夠測量廣泛機(jī)器平臺振動的階段。其最近的能力進(jìn)步，加上MEMS加速度計已有的相對于傳統(tǒng)振動傳感器的諸多優(yōu)勢（尺寸、重量、成本、抗沖擊性
2019-07-22 06:31:06
還有用于醫(yī)療(如藥品傳送)的微型泵和微型閥等，這些MEMS器件特別細(xì)小，甚至可以植入人體。目前MEMS并不都僅僅處于實驗室階段，有的已進(jìn)入實用場合，例如已有制造廠商完成了MEMS光學(xué)系統(tǒng)的商品化，該系
2014-08-19 15:50:19
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:52 編輯
MEMS陀螺儀的原理與應(yīng)用優(yōu)勢分析
2012-08-14 22:49:36
MEMS麥克風(fēng)制造的推薦焊接參數(shù)（即焊膏厚度）是多少？以上來自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
2. MEMS麥克風(fēng)的SEM圖像圖3. MEMS麥克風(fēng)的橫截面由于幾何結(jié)構(gòu)在制造工藝中受到嚴(yán)格控制，因此不同麥克風(fēng)的實測性能具有高度可重復(fù)性。利用MEMS技術(shù)構(gòu)建麥克風(fēng)的另一個優(yōu)勢是薄膜極小，因此其
2019-11-05 08:00:00
導(dǎo)讀：傳感器性能對MEMS和ASIC參數(shù)的高度依賴性表明，閉環(huán)傳感器的系統(tǒng)級設(shè)計需要做大量的折衷考慮，其中的ASIC噪聲預(yù)算、激勵電壓、功耗和技術(shù)都高度依賴于MEMS參數(shù)?！ ∥C(jī)械式慣性傳感器
2018-12-05 15:12:05
加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用?；谄洫毺氐?b class="flag-6" style="color: red">優(yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域
2016-08-04 15:08:50
DMA方式輸出的優(yōu)勢是什么？
2021-11-25 08:01:02
近日，麻省理工學(xué)院微系統(tǒng)技術(shù)實驗室的研究人員開發(fā)出了一種使用桌面型3D打印機(jī)制造高質(zhì)量微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)的方法。用這種方法制造MEMS，其成本僅有市場上現(xiàn)有技術(shù)的百分之一，而且質(zhì)量一點不差
2015-12-24 16:27:44
損耗、高隔離度、成本低等優(yōu)勢在手機(jī)上得到應(yīng)用。然而RF MEMS開關(guān)普遍存在驅(qū)動電壓高、開關(guān)時間長的問題，劣于FET場效應(yīng)管開關(guān)和PIN二極管開關(guān)。相對于國外已取得的成果，國內(nèi)的研究尚處于起步階段。下文將針對MEMS開關(guān)的缺陷做一些改進(jìn)。
2019-07-29 08:31:54
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
具有許多獨特的優(yōu)勢。 它們在相同的性能等級中較小，并且經(jīng)過設(shè)計和調(diào)整，使其在多麥克風(fēng)音頻信號之間具有匹配的幅度和相位。此外，MEMS技術(shù)可抵抗高溫和回流焊，從而實現(xiàn)了自動化的PCB組裝過程。語音用戶界面
2020-09-01 18:48:02
不能進(jìn)行SMT（表面貼裝技術(shù)）操作。在MEMS麥克風(fēng)的制造過程中，SMT回流焊簡化了制造流程，可以省略一個目前通常以手工方式進(jìn)行的制造步驟。在ECM麥克風(fēng)內(nèi)，必須添加進(jìn)行信號處理的電子元件；而在MEMS麥克風(fēng)
2016-05-17 12:01:13
、制造、銷售與服務(wù)于一體的無源光通信器件OEM/ODM廠商，主要生產(chǎn)和銷售光纖連接類產(chǎn)品（光纖連接器、適配器、跳線），WDM波分復(fù)用器，PLC光分路器，MEMS光開關(guān)等核心光無源基礎(chǔ)器件，廣泛應(yīng)用于光纖到戶、4G/5G移動通信、互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中心、國防通信等領(lǐng)域。`
2020-05-12 17:27:14
元件來最小化寄生電容。因此，MEMS可提供比所有傳統(tǒng)制造的慣性傳感器組合更多的優(yōu)勢?！ irst Sensor 傳感器在測量傾斜度，加速度和振動方面的優(yōu)勢： · 靈活的MEMS設(shè)計：測量范圍從1到
2020-07-07 09:36:40
進(jìn)的MEMS開關(guān)制造設(shè)備，ADI公司目前可以批量生產(chǎn)高性能的快速小型MEMS開關(guān)，此類開關(guān)的特點是機(jī)械耐用、功耗低且具有靜電放電 (ESD) 保護(hù)功能。MEMS開關(guān)技術(shù)ADI MEMS開關(guān)技術(shù)的關(guān)鍵是
2018-11-01 11:02:56
的晶體振蕩器的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)振蕩器已打入了頻率控制市場。這些MEMS振蕩器具有絕佳的可靠性，并且可提供具有成本優(yōu)勢的各種封裝尺寸，尤其是在晶體振蕩器上屬于高成本結(jié)構(gòu)的小巧型封裝。此外，通過引進(jìn)單
2014-08-20 15:39:07
電子設(shè)備和通信系統(tǒng)設(shè)備的振蕩器選擇是影響系統(tǒng)性能的主要因素。目前振蕩器有兩種：石英晶體振蕩器是由石英晶體的基本結(jié)構(gòu)構(gòu)成，和一個簡單的振蕩器電路。全硅MEMS諧振器，鎖向電路，溫度補(bǔ)償，以及制造校準(zhǔn)
2020-05-30 13:25:53
。這并沒有妨礙狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師在新產(chǎn)品中使用噪音性能優(yōu)良的MEMS。作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，下面是狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計感興趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)是通過使用先進(jìn)的微制造技術(shù)將機(jī)械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實現(xiàn)。如今，這些技術(shù)已經(jīng)逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當(dāng)大的設(shè)計優(yōu)勢。
2019-08-02 06:35:04
ST mems陀螺儀
基于ST專有的MEMS技術(shù)的優(yōu)勢和世界
2008-09-23 10:41:202485 “MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研討會探索MEMS廣闊市場
MEMS是多學(xué)科交叉融合的前沿技術(shù)，是未來的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)之一。MEMS以其微型化的優(yōu)勢，在消費電子、醫(yī)療電子集汽車電子等
2010-02-22 11:18:02675 MEMS規(guī)范概述
許多擁有晶圓廠的半導(dǎo)體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線的產(chǎn)能，但是若
2010-03-11 14:35:31752 MEMS光開關(guān)的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介
摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的光開關(guān)的技術(shù)優(yōu)勢及主要制造商情況，并概要分
2010-03-20 11:15:341454 中心議題： MEMS振蕩器與傳統(tǒng)石英晶振的比較優(yōu)勢 Stime最新的MEMS晶振性能介紹 解決方案： MEMS振蕩器體積更小巧，厚度可低至0.25毫米 MEMS振蕩器的穩(wěn)固程度為傳統(tǒng)石英晶振的十倍 MEMS振
2012-09-14 23:09:332747 MEMS麥克風(fēng)在移動設(shè)備中的應(yīng)用優(yōu)勢，MEMS麥克風(fēng)不僅提供極佳的音頻質(zhì)量，而且具有優(yōu)良的抗電磁干擾功能
2012-12-10 14:01:5910463 面向世界各地的集成元件制造商（IDM）和最終測試分包商，設(shè)計和制造最終測試分選機(jī)、測試座和負(fù)載板的廠商Multitest公司，日前宣布其設(shè)備全面支持MEMS振蕩器的相關(guān)優(yōu)勢。
2012-12-21 14:09:251780 MEMS制造中精確測量薄膜厚度的方法研究與比較_陳莉
2017-03-19 18:58:18
2 作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計感興趣的主要原因。
2018-07-07 11:25:001685 MEMS器件動態(tài)特性的光學(xué)測量就是一種有效的測試手段。先進(jìn)的光學(xué)測量技術(shù)對MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動態(tài)響應(yīng)，完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)（尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應(yīng)時間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測量。
2018-07-13 14:40:0017232 全面屏CNC切割方式在全面屏加工中是有優(yōu)勢的，那具體有哪些優(yōu)勢？
2018-03-06 10:32:359034 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002975 MEMS產(chǎn)業(yè)增長潛力巨大，而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實的關(guān)鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報道，漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間的用量少帶來的高報價是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要
2018-05-17 11:23:001575 
MEMS產(chǎn)業(yè)增長潛力巨大，而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實的關(guān)鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報道，漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間的用量少帶來的高報價是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要絆腳石。
2018-05-21 23:27:003477 
MEMS產(chǎn)業(yè)增長潛力巨大，而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實的關(guān)鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報道，漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間的用量少帶來的高報價是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要
2018-05-21 09:36:001023 
可能大部分對MEMS還是比較陌生，但其實MEMS在生活中早已無處不在了，智能手機(jī)、手環(huán)、汽車、無人機(jī)、VR/AR頭戴式設(shè)備等，都應(yīng)用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2423633 除了5G通信，Emerald MEMS OCXO還適合物聯(lián)網(wǎng)和汽車應(yīng)用。在物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域，MEMS 時鐘具有體積小、重量輕和低功耗的優(yōu)勢。而在汽車領(lǐng)域，嚴(yán)苛環(huán)境下的穩(wěn)定性以及智能汽車對時鐘精度的高要求都使得MEMS OCXO極具競爭力。
2020-02-12 09:05:002661 
IMT公司專項獎學(xué)金支持未來之才開展創(chuàng)新研究，推動MEMS制造工藝技術(shù)快速發(fā)展。
2019-05-06 14:22:041109 源自微電子，MEMS制造的優(yōu)勢在于批處理。就像其它任何產(chǎn)品，MEMS器件規(guī)模量產(chǎn)加大了它的經(jīng)濟(jì)效益。如同集成電路制造，MEMS制造中光刻方法往往最具成本效益，當(dāng)然也是最常用的技術(shù)。然而，其它處理方式，同時兼具優(yōu)點和缺點，也在使用，包括化學(xué)/物理氣相沉積（CVD/ PVD）、外延和干法蝕刻。
2019-08-29 15:10:5710775 MEMS（微型機(jī)電系統(tǒng)） 麥克風(fēng)是基于MEMS技術(shù)制造的麥克風(fēng)，簡單的說就是一個電容器集成在微硅晶片上，使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC，最后進(jìn)行蓋外殼完成封裝。MEMS麥克風(fēng)在簡潔的外觀之余，同時提供高性能、保真度及可靠性，適用于攜帶式裝置。
2019-08-15 14:40:158401 深度反應(yīng)離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術(shù)，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。
2020-03-14 11:04:076453 
MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機(jī)電系統(tǒng)。在半導(dǎo)體集成電路技術(shù)之上發(fā)展起來的硅基MEMS制造技術(shù)目前使用十分廣泛。 國外技術(shù)發(fā)展日趨成熟 上世紀(jì)80年代，在
2020-04-03 15:27:422401 MEMS是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。 用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化
2020-04-16 16:17:461335 三級鐘MEMS振蕩器的問世，讓MEMS技術(shù)順利切入高端精密頻率組件市場，對石英振蕩器帶來全面性的威脅，原本石英晶體精準(zhǔn)、穩(wěn)定度高等特性固守高端頻率組件領(lǐng)域的優(yōu)勢已不復(fù)存在。
2020-05-04 17:41:002996 
敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應(yīng)一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發(fā)生產(chǎn)工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產(chǎn)業(yè)鏈全國產(chǎn)化的原因。
2020-05-30 11:08:1415793 隨著中國制造業(yè)的傳統(tǒng)優(yōu)勢消失，面對印度、東南亞等地的低成本優(yōu)勢的競爭壓力，中國制造業(yè)企業(yè)利潤面臨進(jìn)一步被稀釋，并且逐漸被取代的趨勢，一方面喪失制造成本優(yōu)勢。
2020-06-16 11:50:451458 MEMS器件利用半導(dǎo)體加工技術(shù)來制造三維機(jī)械結(jié)構(gòu)，三種最常用的MEMS制造技術(shù)包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:588760 蚌埠發(fā)布消息顯示，蚌埠與214所共同建設(shè)的8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項目建設(shè)周期為2年、總投資10億元，建設(shè)目標(biāo)是打造國內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)化平臺，建成后將擁有年產(chǎn)5萬片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測能力。
2020-12-04 14:27:554246 MEMS是一種制造技術(shù)，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術(shù)顯得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:317595 MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)說明。
2021-04-08 09:30:41252 贊助商廣告展示 原文標(biāo)題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號：今日半導(dǎo)體】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:187553 公司的角色是MEMS純代工廠商，為下游各領(lǐng)域客戶提供優(yōu)質(zhì)的工藝開發(fā)及晶圓制造服務(wù)，公司并不會去主動規(guī)劃收入結(jié)構(gòu)，但會根據(jù)相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域當(dāng)前及未來的需求展望在產(chǎn)能、工藝、團(tuán)隊等方面做一些傾向性準(zhǔn)備。MEMS是萬物互聯(lián)、人工智能時代的基礎(chǔ)器件，公司長期看好各領(lǐng)域的未來需求。
2022-12-16 14:54:021957 RF MEMS開關(guān)是一種小型微機(jī)械開關(guān)，具有低功耗，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間里的開關(guān)，通過打開或關(guān)閉接觸點來傳導(dǎo)信號。
在RF MEMS設(shè)備的情況下，開關(guān)的機(jī)械部件僅有幾微米大小。與普通開關(guān)不同的是，RF MEMS開關(guān)傳導(dǎo)的信號處于射頻范圍內(nèi)。
2023-05-23 14:58:512743 
MEMS振蕩器的優(yōu)勢照比傳統(tǒng)OSC的主要優(yōu)勢
2025-11-21 15:37:541743 
在電子醫(yī)療器械領(lǐng)域，MEMS傳感器正被用于不同功能的醫(yī)療設(shè)備。雖然MEMS技術(shù)仍存在瑕疵，如制造成本較高，精度不夠……但是這些問題都會隨著制造及MEMS測試技術(shù)的進(jìn)步而改善?？梢灶A(yù)見，MEMS將有
2022-09-09 15:51:171950 
MEMS 器件通常使用兩個芯片制造：一個來自 CMOS 晶圓，另一個來自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來了一些挑戰(zhàn)。為 MEMS 和 CMOS 生產(chǎn)單獨的晶圓成本高昂，會延長上市時間，而且只能生產(chǎn)小批量（特別是在硅短缺的情況下）。
2023-08-15 16:14:401832 
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容，全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，推薦！ ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術(shù)，MEMS
2023-10-20 16:10:355830 
最清晰明了的方式，圖解直觀闡述MEMS傳感器芯片的制造過程和原理！ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微機(jī)電系統(tǒng)）的縮寫，具有微小的立體結(jié)構(gòu)（三維結(jié)構(gòu)），是處理各種輸入、輸出信號的系統(tǒng)的統(tǒng)稱。 ? 是利用微細(xì)加工技術(shù)，將機(jī)械零零件、電子電路
2023-11-02 08:37:093152 
和封裝成本。本文討論不同的半導(dǎo)體 MEMS 制造方法及其進(jìn)展。 半導(dǎo)體 MEMS 的重要性 MEMS 主要是傳感器系統(tǒng)，可以控制或感測化學(xué)、光學(xué)或物理量，例如流體、加速度或輻射。MEMS 設(shè)備/傳感器擁有與外界的電氣接口，通常通過 IC 實現(xiàn)，IC 提供必要的智能，使設(shè)備能
2023-11-24 09:19:311058 膜厚測試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要，它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量，更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì)，精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 09:40:542563 
MEMS差分振蕩器則采用微機(jī)械元件實現(xiàn)，因此能夠在尺寸和功耗上實現(xiàn)更大的優(yōu)化。本文將深入探討MEMS差分振蕩器與傳統(tǒng)差分振蕩器之間的區(qū)別和優(yōu)勢。 首先，MEMS差分振蕩器的最大優(yōu)勢在于其微機(jī)械元件的制造方式。傳統(tǒng)差分振蕩器使用的元件需
2024-01-26 14:20:521287 ?? 本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容，全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，因水平所限，部分介紹或有缺漏，可在本文留言討論
2024-07-21 16:50:206476 
天眼查顯示，杭州士蘭微電子股份有限公司近日取得一項名為“MEMS器件及其制造方法”的專利，授權(quán)公告號為CN109665488B，授權(quán)公告日為2024年7月19日，申請日為2018年12月29日。 本
2024-08-05 14:46:25826 
MEMS傳感器基本構(gòu)成MEMS被認(rèn)為是21世紀(jì)最有前途的技術(shù)之一，如果半導(dǎo)體微制造被視為第一次微制造革命，MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù)，MEMS具有革命性的工業(yè)
2024-09-24 08:07:481488 
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