MEMS器件目前主要應用于汽車和消費電子，未來在醫(yī)療、工業(yè)、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點？MEMS設(shè)計與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答。
2016-11-01 10:46:17
7642 
硅基MEMS加工技術(shù)主要包括體硅MEMS加工技術(shù)和表面MEMS加工技術(shù)。體硅MEMS加工技術(shù)的主要特點是對硅
2018-04-12 08:40:4411966 
當前，盡管針對 MEMS 器件的制備工藝與相關(guān)設(shè)備已開展了大量研究，但仍有不少 MEMS 傳感器未能實現(xiàn)廣泛的商業(yè)化落地，其中一個重要原因便是 MEMS 器件的封裝問題尚未得到妥善解決。MEMS
2025-08-15 16:40:052775 
隨著便攜消費電子的走熱，MEMS器件得到了爆發(fā)式的增長。短短兩年時間MEMS器件成為消費電子領(lǐng)域炙手可熱的器件，近幾年都會保持高速增長趨勢?，F(xiàn)在讓我們一起來了解下MEMS各器件的走勢吧。
2013-01-23 14:43:052728 
MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展十分迅速，但是人們常常忽視對其的早期測試。乍一看來，MEMS器件和傳統(tǒng)IC器件的制造十分相似，但是，由于MEMS器件具有額外的機械部分（大多是可活動的）和封裝，這些部分的成本通常占其總成本的大部分，因此MEMS器件的特性比傳統(tǒng)IC器件要復雜得多，而且各不相同。
2016-11-05 07:25:471708 如今，MEMS器件已成為我們?nèi)粘Ｉ钪胁豢苫蛉钡囊徊糠?，盡管它們的存在常常被人忽略，其應用范圍從耳機中的麥克風到用于工業(yè)天線穩(wěn)定的慣性傳感器，無所不包。根據(jù)Yole Group發(fā)布的《2025年
2025-12-15 19:17:215095 
MEMS傳感器件正在越來越多的被用于各種便攜消費電子中，而這些傳感器并不是單獨使用，而是多個整合起來實現(xiàn)更豐富的功能和更好的體驗，集成多種傳感器的模塊也是未來的一種趨勢。
2011-03-02 09:05:53645 鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝，所以人們很自然會考慮用IC設(shè)計工具來創(chuàng)建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44:161078 。 ? MEMS 重要類別——IMU ? 慣性測量單元一直是MEMS市場里重要的產(chǎn)品類型，主要包括加速度計、陀螺儀和磁力計。如今，由分立的慣性測量單元組合成的三軸、六軸、九軸IMU，將加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起，以滿足生產(chǎn)
2023-08-01 00:08:002155 據(jù)麥姆斯咨詢介紹，物聯(lián)網(wǎng)（IoT）可以利用MEMS的幾個核心功能和優(yōu)勢，MEMS器件可以有效地滿足許多物聯(lián)網(wǎng)應用的要求：
2020-12-23 07:09:36
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 編輯
MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關(guān)鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾乎占去
2010-12-29 15:44:12
ＭＥＭＳ技術(shù)涉及到慣性器件如加速度計與陀螺、ＡＦＭ（原子力顯微鏡）、數(shù)據(jù)存儲、三維微型結(jié)構(gòu)的制作、微型閥門、泵和微型噴口、流量器件、微型光學器件、各種執(zhí)行器、微型機電器件性能模擬、各種制造工藝、封裝鍵合、醫(yī)用器件、實驗表征器件、壓力傳感器、麥克風以及聲學器件等領(lǐng)域。并在軍事、民用范圍內(nèi)廣泛應用。
2019-06-20 06:03:09
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術(shù)為
2016-12-09 17:46:21
重要器件。傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天，我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品——--MEMS傳感器。什么是MEMS傳感器？MEMS的全稱是微型電子機械
2018-11-12 10:51:35
MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個芯片上，這樣能夠感知被測參數(shù)，并且還能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領(lǐng)域，從而進行生物化學等實驗室技術(shù)流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24:09
mg或1.7%。圖2. PZT加速度計（上）和MEMS加速度計（下）的噪聲密度譜；在高達10 kHz時，結(jié)果幾乎相同；主要差別在MEMS加速度計的低頻響應。不同于PZT器件，MEMS器件具有低頻
2018-10-23 14:29:49
1. MEMS IMU配置(ADIS16485)可用帶寬及其與跨軸相位匹配能力的關(guān)系對于多軸設(shè)計也至關(guān)重要。有些陀螺儀結(jié)構(gòu)帶寬有限，與總降噪有關(guān)，而有些結(jié)構(gòu)帶寬有限(通常低于100 Hz)是由于反饋電子器件
2018-10-18 10:55:34
Eric Carty、Padraig Fitzgerald和Padraig McDaidADI公司簡介過去30年來，MEMS開關(guān)一直被標榜為性能有限的機電繼電器的出色替代器件，因為它易于使用，尺寸
2018-10-17 10:52:05
性能、更多功能(技術(shù)推動)與更具創(chuàng)新力的設(shè)計方法(設(shè)計推動的創(chuàng)新) ，使最終的MEMS器件更適合消費電子市場的需求[1]。
2019-11-05 06:19:06
MEMS器件目前主要應用于汽車和消費電子，未來在醫(yī)療、工業(yè)、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點？MEMS設(shè)計與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答。 MEMS是什么？ 微機
2018-11-07 11:00:01
DMD電輸入-光輸出器件，使得開發(fā)人員能夠執(zhí)行高速、高效和可靠空間光調(diào)制，來生成一個投射圖像。MEMS技術(shù)所取得的進步基于MEMS的DMD的不斷創(chuàng)新正在為開發(fā)人員提供更多機會，將基于投影的顯示技術(shù)包含
2018-09-06 14:58:52
微機電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）是指集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。其尺寸
2018-10-15 10:47:43
微機電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設(shè)計和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設(shè)計和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
的主要設(shè)計、制作，傳感技術(shù)及器件性質(zhì)進行綜述，并對其未來發(fā)展進行展望?！ ?、MEMS磁傳感器設(shè)計及制作 1.1 MEMS磁傳感器設(shè)計 為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應用對象對器件
2018-11-09 10:38:15
`作為一種新型封裝器件，微機電系統(tǒng)(MEMS)將成為21世紀電子領(lǐng)域的重要技術(shù)之一，但是對于如何在PCB上裝配MEMS，中國工程師仍知之甚少。要想在這一新興技術(shù)領(lǐng)域占有一席之地，除了開發(fā)設(shè)計外
2014-08-19 15:50:19
的巨大進步，包括超小型制造結(jié)構(gòu)、出色的穩(wěn)定性和可重復性、低功耗，所有這些都已成為硅工業(yè)不折不扣的要求。迄今為止，MEMS麥克風的功耗和噪聲水平還是相當高，不宜用于助聽器，但滿足這兩項關(guān)鍵要求的新器件
2019-11-05 08:00:00
模塊的線性度影響，而且C/V和A/D的動態(tài)范圍要求可能會更加嚴格。相反，將MEMS傳感器放在負反饋閉環(huán)中使用有許多好處，例如改進的帶寬、對MEMS器件的工藝和溫度變化具有較低的敏感性。另外，由于C/V
2018-12-05 15:12:05
我在原型中使用LPS331。除了可以選擇輸出數(shù)據(jù)速率之外，數(shù)據(jù)表不提供任何時序信息。 SPI的時序值是什么，例如最大時鐘頻率等。我搜索ST站點，找不到任何其他有用的信息。對于I2C，它表示它符合快速
2018-11-16 10:44:20
早在1979年，微電子機械開關(guān)就被用于轉(zhuǎn)換低頻電信號。從那時開始，開關(guān)設(shè)計就采用懸臂、旋轉(zhuǎn)和隔膜的布局來實現(xiàn)RF和微波頻率下的良好性能。RF MEMS表現(xiàn)出低損耗、低功耗和沒有互調(diào)失真。對于有微秒開關(guān)速度就足夠的應用來說，這些器件用于取代傳統(tǒng)FET或p-i-n二極管開關(guān)極有吸引力。
2019-10-21 07:38:31
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是實現(xiàn)上萬單元相控陣雷達的關(guān)鍵技術(shù)，在軍事上有重要意義。在通信領(lǐng)域上亦憑借超低
2019-07-29 08:31:54
ST是否為其MEMS器件提供特性數(shù)據(jù)？ #mems #characterization以上來自于谷歌翻譯以下為原文 Does ST provide characterization data for its MEMS devices? #mems #characterization
2018-11-09 09:46:51
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
兩個橫隔（傳感器橫隔上部、傳感器下部）之間的間距變化，導致隔板之間的電容變化，據(jù)此可以測算出壓力大小。（2）MEMS加速度傳感器MEMS加速度傳感器，顧名思義，是一種能夠測量加速度的MEMS器件。加速度
2021-04-09 07:00:00
兩個橫隔（傳感器橫隔上部、傳感器下部）之間的間距變化，導致隔板之間的電容變化，據(jù)此可以測算出壓力大小。（2）MEMS加速度傳感器MEMS加速度傳感器，顧名思義，是一種能夠測量加速度的MEMS器件。加速度
2021-05-25 07:00:00
什么是RF MEMS？有哪些關(guān)鍵技術(shù)與器件？微電子機械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem)，簡稱MEMS，是以微電子技術(shù)為基礎(chǔ)而興起發(fā)展的，以硅、砷化鎵、藍寶石等為襯底
2019-08-01 06:17:43
等，同時在機械結(jié)構(gòu)上制備了電極，以便通過電子技術(shù)進行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一個可轉(zhuǎn)動的MEMS馬達于1988年誕生于加州大學伯克利分校，如圖1所示；之后于1989年，美國桑迪亞國家實驗室
2020-05-12 17:27:14
基于MEMS的TI TI DLP? Pico? 投影顯示技術(shù)的核心是一組高反射性鋁制微鏡，被稱為數(shù)字微鏡器件 (DMD)。一個DMD可以包含數(shù)百萬個單獨控制的微鏡，每個微鏡位于相關(guān)的補償金屬氧化物
2022-11-18 06:41:21
PZT加速度計（上）和MEMS加速度計（下）的噪聲密度譜；在高達10 kHz時，結(jié)果幾乎相同；主要差別在MEMS加速度計的低頻響應。不同于PZT器件，MEMS器件具有低頻響應性能（可測量0.1 Hz
2018-11-01 11:01:00
易譜科技有限公司代理 Radant MEMS 公司在中國區(qū)的產(chǎn)品銷售與技術(shù)支持服務。Radant 是一家專業(yè)設(shè)計、生產(chǎn)射頻/微波開關(guān)的廠商，目前產(chǎn)品已在美國以及亞洲市場有了廣泛的應用，與無線通信
2014-10-24 11:36:26
是否可以使用Agilent 4284a LCR儀表檢查MEMS器件的動態(tài)性能？如果是的話，請轉(zhuǎn)到我的應用說明。謝謝。 以上來自于谷歌翻譯 以下為原文Is it possible to check
2019-07-12 10:33:33
本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 11:21 編輯
釋放MEMS機械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝，總部位于蘇格蘭的Point 35
2013-11-04 11:51:00
隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-12 10:23:29
論述了微機電系統(tǒng)(MEMS)器件縮減模型的建立是進行MEMS系統(tǒng)級模擬的關(guān)鍵。論證了基于線性正交振型建立MEMS器件縮減模型是一種有效的方法，導出了MEMS器件動態(tài)縮減模型的微分方
2009-05-28 11:19:06
17 微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)在通信領(lǐng)域中有著廣泛的應用前景，本文介紹了在無線通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 電感、電容、開關(guān)、濾波器、光檢測器等MEMS 器件的原理、結(jié)構(gòu)
2009-11-16 16:41:3715 開發(fā)一種生物運動微慣性測量裝置，以基于 ARM7 的LPC2129 為核心處理單元，采用MEMS 陀螺和MEMS 加速度計為測量傳感器。該裝置實現(xiàn)了對SPC-III 機器魚尾鰭拍動參數(shù)的精確測量，為
2009-11-26 11:49:3017 RF-MEMS 不僅在體積上小于傳統(tǒng)射頻器件，易于單片集成，且其性能也優(yōu)于傳統(tǒng)射頻器件，此外，RF-MEMS 還可以實現(xiàn)器件多功能配置，如可重構(gòu)天線。因此，RF-MEMS近年來已成為全世
2009-11-26 15:59:3921 隨著MEMS 系統(tǒng)級設(shè)計成為研究的熱點，MEMS 系統(tǒng)級CAD 的開發(fā)日益重要。論文介紹了一種基于降階宏模型MEMS 系統(tǒng)級仿真平臺，通過有限元方法提取MEMS 器件幾何物理數(shù)據(jù)，建立MEMS 器件
2009-12-19 14:05:2914 采用PC的IC工具降低MEMS設(shè)計方法
鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝，所以人們很自然會考慮用IC設(shè)計工具來創(chuàng)建MEMS器件的
2010-03-11 14:23:33607 MEMS規(guī)范概述
許多擁有晶圓廠的半導體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線的產(chǎn)能，但是若
2010-03-11 14:35:31752 MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關(guān)鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾
2010-11-29 09:23:131983 MEMS存儲器是一種新型存儲器件，本內(nèi)容介紹了MEMS存儲設(shè)備的管理技術(shù)，請求調(diào)度算法，數(shù)據(jù)布局策略等內(nèi)容
2012-12-11 14:25:421364 mems（微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2012-12-11 14:31:371265 近年來，隨著消費電子領(lǐng)域的快速發(fā)展，MEMS器件正式進入了人們的視線。面對當前的MEMS器件熱，電子發(fā)燒友網(wǎng)在這里先為大家整理了ADI近年來發(fā)布的MEMS器件新品來供大家認識與了解。
2012-12-12 14:25:012948 
石英振蕩器與硅基MEMS技術(shù)（硅晶圓級封裝技術(shù)）結(jié)合的時鐘器件，該方案利用硅基MEMS技術(shù)真空封裝石英振蕩器。
2013-02-25 14:52:361662 
MEMS技術(shù)在THz無源器件中的應用
2017-02-07 18:05:378 近年來，MEMS 慣性器件取得了飛速發(fā)展，基于 MEMS 慣性器件的慣導系統(tǒng)也逐漸成熟，應用范圍越來越廣，特別是在航天和軍事上具有巨大的發(fā)展?jié)摿Α１疚年U述了 MEMS 慣性器件特點、發(fā)展過程及在航天
2017-10-19 14:50:0618 MEMS器件動態(tài)特性的光學測量就是一種有效的測試手段。先進的光學測量技術(shù)對MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動態(tài)響應，完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)（尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應時間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測量。
2018-07-13 14:40:0017232 MEMS是一種結(jié)合微電子和微機械的半導體技術(shù)，在計算機和智能手機中可以找到，包括傳感器、執(zhí)行器和微齒輪等機械微結(jié)構(gòu)。MEMS現(xiàn)在幾乎無處不在，從智能手機到汽車安全氣囊、生物傳感器件以及光學器件等，MEMS可以借助典型計算機芯片中的半導體技術(shù)完成制造。
2018-03-12 15:29:001974 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002975 MEMS器件，尤其是MEMS傳感器已成為智能手機中的標準配置。同時，智能手機應用軟件日益龐大的生態(tài)系統(tǒng)很大程度上要歸功于MEMS傳感器。蘋果iPhone和Research in Motion
2018-04-28 15:24:002729 
即便您要重新設(shè)計傳動電機的MEMS傳感器，目標也是讓工作盡可能輕松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS庫，您可以從大量MEMS器件不同的基本單元中進行選擇，然后迅速裝配出您的MEMS版圖。
2018-05-09 14:48:116299 
本文通過大量的歷史資料調(diào)研和失效信息收集等方法，針對不同環(huán)境應力條件下的MEMS慣性器件典型失效模式及失效機理進行了深入探討和分析。
2018-05-21 16:23:459746 
本視頻為 ADI亞太區(qū)應用和客戶支持經(jīng)理 Camille Huin 帶來的《用于醫(yī)療保健領(lǐng)域的ADI公司身體傳感器和MEMS器件》。
2018-06-03 00:46:004885 本視頻為 ADI亞太區(qū)應用和客戶支持經(jīng)理 Camille Huin 帶來的《用于醫(yī)療保健領(lǐng)域的ADI公司身體傳感器和MEMS器件》。
2018-05-24 15:47:005624 國內(nèi)
MEMS產(chǎn)業(yè)鏈后端封裝較為完善，其原因在于國內(nèi)的封裝技術(shù)起步較早，而
MEMS器件的封裝則可以參考或借鑒IC封裝。他說：“其實很多企業(yè)，尤其是
MEMS麥克風企業(yè)，早期的商業(yè)模式就是購買國外裸片(前端工藝完成后的產(chǎn)品)，自己做后端封裝和測試?！?/div>
2018-05-28 16:32:2112462 MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關(guān)鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾乎占去了所有物料和組裝成本的20%～40%。由于生產(chǎn)因素的影響，使得封裝之后的測試成本比器件級的測試成本更高，這就使MEMS產(chǎn)品的封裝選擇和設(shè)計更加重要。
2018-06-12 14:33:006779 
創(chuàng)建基于傳感器的物聯(lián)網(wǎng)（IoT）邊緣器件會涉及多個設(shè)計領(lǐng)域，因此極具挑戰(zhàn)性（圖1）。但是，在同一硅片上創(chuàng)建一個既有采用傳統(tǒng)CMOS IC流程制作的電子器件，又有MEMS傳感器的邊緣器件似乎不大現(xiàn)實
2018-08-02 18:55:166015 MEMS器件以硅為主要材料。硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當。密度類似于鋁，熱傳導率接近銅和鎢，因此MEMS器件機械電氣性能優(yōu)良。它集中了當今科學技術(shù)發(fā)展的許多尖端成果。通過微型化、集成化可以探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng)，將開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域。
2019-02-12 15:12:1513774 MEMS器件的行為模式通常與尺寸較大的器件類似，但有一些明顯的差異。能夠?qū)⒋罅?b class="flag-6" style="color: red">MEMS器件裝進智能手機等尺寸稍大的設(shè)備中，絕對是一個很關(guān)鍵的差異化優(yōu)勢。一系列傳感器和其他MEMS器件都可以集成到僅有口袋大小的智能手機中。
2019-05-17 09:35:371203 隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-11 17:27:551595 
那MEMS傳感器又是什么？MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片（ASIC芯片）封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風內(nèi)部構(gòu)造的放大圖，圖內(nèi)右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風。
2020-06-12 09:42:2279319 了減小其無線收發(fā)器的尺寸、重量以及功耗，美國國家航空航天局（NASA）已經(jīng)開始著手一項開發(fā)MEMS技術(shù)的計劃
2020-07-17 15:43:131197 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)使用半導體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具有多個運動元件的復雜的機電系統(tǒng)。
2020-07-22 18:06:096451 
MEMS 比 CMOS 的復雜之處 MEMS 與 CMOS 的根本區(qū)別在于：MEMS 是帶活動部件的三維器件，CMOS 是二維器件。因此，雖然許多刻蝕和沉積工藝相似，但某些工藝是 MEMS 獨有的，例如
2022-12-13 11:42:003165 測試MEMS器件需要不同的方法，因為有些MEMS芯片包含可動作的機械器件，測試時需要搖動器件來測試移動范圍與結(jié)構(gòu)的一致性，但是這種測試各自有相應的問題，例如成本。 “用大型ATE設(shè)備測試成本敏感型
2021-07-19 17:36:522796 許多MEMS器件需要保護，以免受到外部環(huán)境的影響，或者只能在受控氣氛或真空下運行。當今MEMS器件與CMOS芯片的高度集成，還需要專門用于MEMS器件的先進晶圓級封裝解決方案。
2022-07-15 12:36:015041 
隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展，微電子機械系統(tǒng)（MEMS）逐漸成為眾多領(lǐng)域的研究熱點。MEMS器件在諸如傳感器、執(zhí)行器等方面表現(xiàn)出卓越的性能，但要實現(xiàn)這些優(yōu)越特性，對其封裝結(jié)構(gòu)和制造工藝要求極高。本文將詳細介紹MEMS器件真空封裝結(jié)構(gòu)及其制造工藝。
2023-04-21 14:18:183884 
最新消息！知芯傳感，作為國產(chǎn)MEMS器件領(lǐng)域的踐行者，于2023年8月18日發(fā)布了令人振奮的搬遷公告。這一重要舉措意味著知芯傳感邁向了新的征程，進一步鞏固其在國內(nèi)MEMS市場踐行者的地位。
2023-08-25 17:20:521293 
MEMS器件廣泛應用于機械、光學、射頻、生物等領(lǐng)域，氣體檢測正是其重要應用方向之一。
2024-01-23 09:33:102008 
傳輸?shù)阮I(lǐng)域得到了廣泛應用。 MEMS交換的原理是利用微機電系統(tǒng)中的微結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)光路的開關(guān)。該系統(tǒng)由一個微型光學器件和一個驅(qū)動電路組成。光學器件包括多個微型反射鏡或折射器，它們能夠通過機械運動來改變光路的傳輸方向。驅(qū)動電路則負責控制
2024-02-02 14:41:311230 天眼查顯示，杭州士蘭微電子股份有限公司近日取得一項名為“MEMS器件及其制造方法”的專利，授權(quán)公告號為CN109665488B，授權(quán)公告日為2024年7月19日，申請日為2018年12月29日。 本
2024-08-05 14:46:25826 
電子發(fā)燒友網(wǎng)站提供《高精度六軸MEMS運動跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表.pdf》資料免費下載
2024-08-12 16:38:5711 MEMS慣性器件包括MEMS加速度計和MEMS陀螺儀，前者測量物體的加速度，通過一次積分和二次積分獲得物體的速度和位置。后者測量物體的姿態(tài)角速率，通過積分獲取物體的姿態(tài)角。作為在工程上廣泛應用的測量
2025-08-19 14:20:15825 
TDK IIM - 42653：工業(yè)應用中的高性能6軸智能運動跟蹤MEMS器件 引言 在工業(yè)應用領(lǐng)域，對于高精度、高可靠性的運動跟蹤傳感器的需求日益增長。TDK的IIM - 42653便是一款專門為
2025-12-25 17:25:12475 已全部加載完成
電子發(fā)燒友App
工商網(wǎng)監(jiān)
評論