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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>在HF水溶液中處理的GaP表面的特性

在HF水溶液中處理的GaP表面的特性

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我們?nèi)A林科納研究了不同醇類添加劑對氫氧化鉀溶液的影響。據(jù)說醇導(dǎo)致硅蝕刻各向異性的改變。具有一個羥基的醇表現(xiàn)出與異丙醇相似的效果。它們導(dǎo)致(hh 1)型平面的蝕刻速率大大降低,通常在蝕刻凸形圖形的側(cè)壁處發(fā)展。這就是凸角根切減少的原因。具有一個以上羥基的醇不影響蝕刻各向異性,并導(dǎo)致表面光潔度變差。
2021-12-17 15:27:53641

KOH和HCl處理后氧化銦錫表面的表征

力顯微鏡、常規(guī)的x光光發(fā)射光譜和掃描光發(fā)射光譜顯微鏡已經(jīng)被用于研究在有機層生長之前通常用于平滑/清潔/圖案化表面的幾種處理之后的商用薄氧化銦錫膜的形態(tài)和化學(xué)性質(zhì)。還沒有觀察到氫氧化鉀基溶液的明確平滑效果,而在應(yīng)
2021-12-24 11:46:38973

氫氟酸溶液中多孔硅的形成

引言 我們研究了四種硅在高頻水溶液中的陽極電流-電勢特性。根據(jù)不同電位陽極氧化的樣品的表面條件,電流-電位曲線上通常有三個區(qū)域:電流隨電位指數(shù)變化區(qū)域的多孔硅形成,恒流區(qū)域的硅的電泳拋光,以及
2021-12-28 16:40:16905

關(guān)于HF溶液陽極氧化形成多孔硅層的機理

引言 我們根據(jù)實驗,研究了多孔硅層(PSL)的形成機理。PSL是由只發(fā)生在孔隙底部的硅的局部溶解而形成的。在陽極化過程中,PSL孔隙中電解質(zhì)的HF濃度保持恒定,孔隙中的陽極反應(yīng)沿厚度方向均勻進行
2021-12-30 14:09:06589

HF溶液陽極氧化形成多孔硅層的機理

引言 我們根據(jù)實驗,研究了多孔硅層(PSL)的形成機理。PSL是由只發(fā)生在孔隙底部的硅的局部溶解而形成的。在陽極化過程中,PSL孔隙中電解質(zhì)的HF濃度保持恒定,孔隙中的陽極反應(yīng)沿厚度方向均勻進行
2021-12-30 14:20:27511

對于不同KOH和異丙醇濃度溶液中Si面蝕刻各向的研究

引言 氫氧化鉀溶液通常用于改善硅(100)表面光滑度和減少三維硅結(jié)構(gòu)的凸角底切。異丙醇降低了氫氧化鉀溶液表面張力,改變了硅的蝕刻各向異性,顯著降低了(110)和(hh1)面的蝕刻速率,并在較小程度
2022-01-13 13:47:261157

溫度對KOH溶液中多晶硅電化學(xué)紋理化的影響

在含HF/HNO 3的溶液中進行酸性蝕刻來實現(xiàn)。酸性溶液各向同性地蝕刻多晶硅晶片,即在所有晶體取向上產(chǎn)生圓形紋理。然而,酸性蝕刻工藝難以控制,并且化學(xué)廢物的處理昂貴。 為了克服這種對環(huán)境有害的酸性蝕刻工藝,同時保持mc-Si晶片
2022-01-13 14:47:19624

太陽能電池減薄中酸性溴溶液的化學(xué)處理的研究

法測定CIGSe的溶解動力學(xué)速率。x射線光電子能譜分析表明,處理表面酸性溴溶液的蝕刻過程提供了一個控制的化學(xué)變薄過程,這使得幾乎平坦的表面和非常低的表面Se0 成為可能。 實驗細節(jié) 刻蝕條件:本文的溶液氫溴酸:溴:水配方為0.25molL?1:0.02molL?1,超純?nèi)ルx子水。溶解過程在
2022-01-24 10:37:49286

關(guān)于GaAs在酸性和堿性溶液中的濕蝕刻研究報告

表面的Ga-As鍵斷裂,元素砷留在砷化鎵表面。此外,用鹽酸+2-丙醇溶液蝕刻時可以觀察到吸附的2-丙醇分子,但用氨水溶液蝕刻時沒有檢測到吸附的水分子。 介紹 濕式化學(xué)蝕刻工藝在器件制造中已被廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體/電解質(zhì)界面上發(fā)生的過程
2022-01-24 15:07:301071

濕法清洗過程中硅片表面顆粒的去除

研究了在半導(dǎo)體制造過程中使用的酸和堿溶液從硅片表面去除粒子。 結(jié)果表明,堿性溶液的顆粒去除效率優(yōu)于酸性溶液。 在堿性溶液中,顆粒去除的機理已被證實如下:溶液腐蝕晶圓表面以剝離顆粒,然后顆粒被電排斥到晶圓表面。 實驗結(jié)果表明,需要0.25 nm /min以上的刻蝕速率才能使吸附在晶圓表面的顆粒脫落。
2022-02-17 16:24:272167

SC1/SC2蝕刻后Si表面的分析

本文首次提出了由標準SC1/SC2腐蝕周期引起的Si (100)表面改性的證據(jù)。SC1/SC2蝕刻(也稱為RCA清洗)通過NH3:H2O2:H2O混合物使硅片氧化,在稀釋的HF中去除氧化物,通過
2022-02-23 14:15:227113

HF/HNO3和氫氧化鉀溶液中深濕蝕刻對硅表面質(zhì)量的影響

引言 拋光液中的污染物和表面劃痕、挖掘和亞表面損傷(固態(tài)硬盤)等缺陷是激光損傷的主要前兆。我們提出了在拋光后使用HF/HNO3或KOH溶液進行深度濕法蝕刻,以提高熔融石英光學(xué)器件在351 nm波長
2022-02-24 16:26:032429

HF溶液中二氧化硅刻蝕機理實驗

在高頻水溶液中,SiO的蝕刻可以通過電場的應(yīng)用而被阻礙或停止。在CMOS制造中,非常低水平的光可以導(dǎo)致這種影響。對溶解過程提出了平行反應(yīng)路徑,并加上電場在中間步驟中停止或重定向反應(yīng)的能力。
2022-03-07 15:28:241519

預(yù)清洗對KOH/IPA溶液中單晶硅表面紋理化的影響

實驗研究了預(yù)清洗對KOH/IPA溶液中單晶硅表面紋理化的影響。如果沒有適當?shù)念A(yù)清洗,表面污染會形成比未污染區(qū)域尺寸小的金字塔,導(dǎo)致晶片表面紋理特征不均勻,晶片表面反射率不均勻。根據(jù)供應(yīng)商的不同,晶片的表面質(zhì)量和污染水平可能會有所不同,預(yù)清洗條件可能需要定制,以達到一致和期望的紋理化結(jié)果。
2022-03-17 15:23:08501

硅在氫氧化鉀水溶液中的刻蝕機理

本文根據(jù)測量的OCP和平帶電壓,構(gòu)建了氫氧化鉀水溶液中n-St的定量能帶圖,建立了同一電解質(zhì)中p-St的能帶圖,進行了輸入電壓特性的測量來驗證這些能帶圖,硅在陽極偏置下的鈍化作用歸因于氧化物膜的形成
2022-03-17 17:00:081119

HF/H2O二元溶液中硅晶片變薄的蝕刻特性

使用酸性或氟化物溶液對硅表面進行濕蝕刻具有重大意義,這將用于生產(chǎn)微電子包裝所需厚度的可靠硅芯片。本文研究了濕蝕刻對浸入48%高頻/水溶液中的硅片厚度耗散、減重、蝕刻速率、表面形貌和結(jié)晶性
2022-03-18 16:43:11530

硅片氫氟酸處理后的漂洗干燥方法

本文對晶片采用HF溶液洗凈的晶片氫氟酸處理后的護發(fā)素及干燥方法,使用異丙基去除上述晶片表面殘存的HF的步驟,關(guān)于晶片氫氟酸處理后的護發(fā)素和干燥方法,其特點是在對上述晶片施加82-84℃溫度的同時通過
2022-03-23 17:06:051599

使用臭氧和HF清洗去除金屬雜質(zhì)的研究

量,測量了漆器和表面形狀,并根據(jù)清潔情況測量了科隆表面特性。 本實驗使用半導(dǎo)體用高純度化學(xué)溶液和DI 晶片,電阻率為22~38 ohm~ cm,使用了具有正向的4 inches硅基底,除裸晶圓外,所有晶片均采用piranha+HF清洗進行前處理,清楚地知道紗線過程
2022-03-24 17:10:271760

蝕刻溶液的組成和溫度對腐蝕速率的影響

我們?nèi)A林科納研究探索了一種新的濕法腐蝕方法和減薄厚度在100 μm以下玻璃的解決方案,為了用低氫氟酸制備蝕刻溶液,使用NH4F或nh4hf 2作為主要成分并加入硫酸或硝酸是有效的,研究了混合酸溶液
2022-05-20 16:20:243162

GAP system離散代數(shù)開發(fā)庫

./oschina_soft/gap.zip
2022-06-16 14:27:231

濕法清洗中去除硅片表面的顆粒

用半導(dǎo)體制造中的清洗過程中使用的酸和堿溶液研究了硅片表面的顆粒去除。
2022-07-05 17:20:171683

使用稀釋的HCN水溶液的碳化硅清洗方法

的蝕刻去除了金屬污染物。用氰化氫HCN水溶液清洗被金屬污染的碳化硅,然后進行RCA清洗,反之亦然,可以完全去除它們。結(jié)果表明,強吸附金屬和粗糙碳化硅表面底部區(qū)域的金屬不能分別用RCA法和HCN法去除。由于
2022-09-08 17:25:461453

金屬表面處理工藝匯總

微弧氧化:在電解質(zhì)溶液中(一般是弱堿性溶液)施加高電壓生成陶瓷化表面膜層的過程,該過程是物理放電與電化學(xué)氧化協(xié)同作用的結(jié)果。
2023-02-20 11:18:311518

等離子體表面預(yù)處理改善油漆和清漆對表面的粘合,提高涂料和上漆的質(zhì)量

等離子體表面預(yù)處理改善油漆和清漆對表面的粘合,從而提高涂料和上漆的質(zhì)量。 許多成分由金屬、玻璃、陶瓷甚至木材和紡織品天然材料等制成,它們的表面很難上漆。
2022-09-05 14:43:23386

鋁箔等離子表面處理設(shè)備原理 增加鋁箔表面的粘附力

通過金徠等離子體處理,可以提高金屬表面的活性,改善金屬表面的結(jié)合力、增強涂層附著力等性質(zhì),使得金屬制品的質(zhì)量和性能得到明顯的改善和提升。此外,等離子體處理還可以改善金屬表面的光潔度,使得金屬表面更加平整光滑。
2023-05-05 10:51:23528

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