| 摩爾定律放緩是微電子所自主工藝的機(jī)會

由于技術(shù)和商業(yè)上的原因，摩爾定律也失去了效力，而且受制于光刻技術(shù)、硅材料的極限等因素，若要再進(jìn)一步提升芯片性能，將FinFET和SOI相結(jié)合的道路不失為解決之道——采用FinFET+SOI襯底來提升芯片性能，畢竟FinFET（晶體管）+FD-SOI（底襯）顯然是優(yōu)于FinFET（晶體管）+硅襯底的。

而且由于商業(yè)上的原因，在制程大于28nm的情況下，隨著芯片制程的提升，成本會逐漸降低，但是在芯片制程達(dá)到28nm以后，單個晶體管的成本卻不降反升。這使得X nm FinFET（晶體管）+FD-SOI（底襯）的做法不僅在性能上不會遜色于Y nm FinFET（晶體管）+硅襯底（X》Y），與在商業(yè)上也很可能是有一定優(yōu)勢的。而這也是兼容主流體硅FinFET工藝，通過體硅襯底形成介質(zhì)隔離的類SOI器件（FOI FinFET）已經(jīng)成為重要的研究方向的原因。

而微電子所的新工藝就類似于FinFET（晶體管）+FD-SOI（底襯）的思路，根據(jù)微電子所官方介紹可以整理，新型FinFET器件工藝有以下特點(diǎn)：

一是針對FOI FinFET的固有缺陷，采用基于低溫低阻NiPt硅化物的全金屬化源漏在介質(zhì)隔離上可以有效消除常規(guī)體fin上的漏電影響，并大幅降低源漏寄生電阻。使實(shí)際物理柵長為20nm的FOI FinFET的源漏接觸電阻和方塊電阻分別減小10倍和1.1倍，從而將N/P型FOI FinFET器件性能提高大約30倍，并且維持新結(jié)構(gòu)的優(yōu)異短溝道抑制特性。

二是由NiPt全金屬源漏與Si界面的晶格失配在溝道中產(chǎn)生了附加張應(yīng)力，有效地增強(qiáng)了電子遷移率，為N型 FOI FinFET的溝道遷移率增強(qiáng)技術(shù)提供新的集成方案。

三是通過肖特基源漏（SBSD）技術(shù)使源漏寄生電阻進(jìn)一步降低，有效地提升了P型 FOI FinFET器件驅(qū)動性能（大于50%）。研究結(jié)果表明，全金屬化源漏FOI FinFET相比類似工藝的常規(guī)FinFET漏電降低1個數(shù)量級，驅(qū)動電流增大2倍，驅(qū)動性能在低電源電壓下達(dá)到國際先進(jìn)水平。由于替代了傳統(tǒng)的源漏SiGe外延技術(shù)，與極小pitch的大規(guī)模FinFET器件的兼容性更好，有助于降低制造成本，提高良品率，具有很高的技術(shù)價值。

也正是因此，微電子所的新型FinFET器件工藝能夠得到IBM、意法半導(dǎo)體等國際知名主流集成電路公司的青睞。

最后要說的是，能否被商業(yè)化，技術(shù)指標(biāo)是一方面，產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟也非常重要。如果國內(nèi)研究所、企業(yè)能夠和IBM、意法半導(dǎo)體、格羅方德等公司組成產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，共同推廣這項(xiàng)工藝，也許能有所斬獲。