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創(chuàng)建靈敏的MEMS結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù)介紹

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2017-07-13 08:50:15

MEMS技術(shù)及其應(yīng)用詳解

往往會(huì)采用常見(jiàn)的機(jī)械零件和工具所對(duì)應(yīng)微觀模擬元件,例如它們可能包含通道、孔、懸臂、膜、腔以及其它結(jié)構(gòu)。然而,MEMS器件加工技術(shù)并非機(jī)械式。相反,它們采用類(lèi)似于集成電路批處理式的微制造技術(shù)?! 〗裉?/div>
2018-11-07 11:00:01

MEMS技術(shù)的原理制造及應(yīng)用

哪位大佬可以詳細(xì)介紹MEMS技術(shù)到底是什么
2020-11-25 07:23:59

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2019-02-23 14:05:47

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2016-12-09 17:46:21

MEMS傳感器概念和分類(lèi)等基礎(chǔ)知識(shí)詳解

的微型器件研究,還有很多創(chuàng)新工作要做,不然就會(huì)面臨發(fā)展停滯的風(fēng)險(xiǎn)。技術(shù)優(yōu)勢(shì):用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結(jié)構(gòu), 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點(diǎn), 產(chǎn)能高,良品率
2018-11-12 10:51:35

MEMS傳感器焊接工藝

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MEMS制造技術(shù)

結(jié)構(gòu)材料,而不是使用基材本身。[23]表面微機(jī)械加工創(chuàng)建于1980年代后期,旨在使硅的微機(jī)械加工與平面集成電路技術(shù)更加兼容,其目標(biāo)是在同一硅晶片上結(jié)合MEMS和集成電路。最初的表面微加工概念基于薄多晶硅
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MEMS加速度計(jì)性能成熟

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2018-11-09 10:38:15

MEMS組裝技術(shù)淺談

MEMS裝配技術(shù)的公司是不會(huì)公開(kāi)他們經(jīng)驗(yàn)的,這是一個(gè)保密的行業(yè),以后也是如此?!痹S多PCB裝配問(wèn)題都會(huì)影響靈敏度,比如說(shuō)焊點(diǎn)就有較大的影響,這主要是由于機(jī)械而非電氣性原因。在決定碰撞時(shí)感應(yīng)器的感應(yīng)強(qiáng)度
2014-08-19 15:50:19

MEMS麥克風(fēng)設(shè)計(jì)方法及關(guān)鍵特性

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EMC設(shè)計(jì)、工藝技術(shù)基本要點(diǎn)和問(wèn)題處理流程

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。 SMT有關(guān)的技術(shù)組成 1、電子元件、集成電路的設(shè)計(jì)制造技術(shù) 2、電子產(chǎn)品的電路設(shè)計(jì)技術(shù) 3、電路板的制造技術(shù) 4、自動(dòng)貼裝設(shè)備的設(shè)計(jì)制造技術(shù) 5、電路裝配制造工藝技術(shù) 6、裝配制造中使用的輔助材料的開(kāi)發(fā)生產(chǎn)技術(shù)
2010-03-09 16:20:06

Sic mesfet工藝技術(shù)研究與器件研究

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2009-10-06 09:48:48

[下載]SMT技術(shù)之-無(wú)鉛工藝技術(shù)應(yīng)用及可靠性

;nbsp;  <br/>薛競(jìng)成----無(wú)鉛工藝技術(shù)應(yīng)用和可靠性 <br/>主辦單位&
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《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》GaN晶體蝕刻的幾何方面和光子應(yīng)用

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2006-04-16 21:37:53669

IC工藝技術(shù)問(wèn)題

IC工藝技術(shù)問(wèn)題    集成電路芯片偏置和驅(qū)動(dòng)的電源電壓Vcc是選擇IC時(shí)要注意的重要問(wèn)題。從IC電源管腳吸納的電流主要取決于該電壓值以及該IC芯片輸出級(jí)
2009-08-27 23:13:38780

釋放MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)

釋放MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)   濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝,總部位于蘇格蘭的Point 35 Microstructures在SEMICON C
2009-11-18 09:17:32880

ADI完成制造工藝技術(shù)的升級(jí),有效提高晶圓制造效率

ADI完成制造工藝技術(shù)的升級(jí),有效提高晶圓制造效率 Analog Devices, Inc.,最近成功完成了對(duì)專(zhuān)有模擬、混合信號(hào)和 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造工藝技術(shù)的升級(jí)和改進(jìn),目的是
2009-12-24 08:44:23659

什么是CPU的生產(chǎn)工藝技術(shù)/向下兼容?

什么是CPU的生產(chǎn)工藝技術(shù)/向下兼容? CPU的生產(chǎn)工藝技術(shù) 我們??梢栽贑PU性能列表上看到“工藝技術(shù)”一項(xiàng),其中有“
2010-02-04 10:41:53742

超細(xì)線蝕刻工藝技術(shù)介紹

超細(xì)線蝕刻工藝技術(shù)介紹  目前,集成度呈越來(lái)越高的趨勢(shì),許多公司紛紛開(kāi)始SOC技術(shù),但SOC并不能解決所有系統(tǒng)集成的問(wèn)題,因
2010-03-30 16:43:081181

采用SiGe:C BiCMOS工藝技術(shù)的射頻/微波產(chǎn)品

采用SiGe:C BiCMOS工藝技術(shù)的射頻/微波產(chǎn)品 恩智浦將在2010年底前推出超過(guò)50種采用SiGe:C技術(shù)的產(chǎn)品,其QUBiC4 SiGe:C工藝技術(shù)可提供高功率增益和優(yōu)
2010-05-24 11:06:351367

光刻膠與光刻工藝技術(shù)

光刻膠與光刻工藝技術(shù) 微電路的制造需要把在數(shù)量上精確控制的雜質(zhì)引入到硅襯底上的微小 區(qū)域內(nèi),然后把這些區(qū)域連起來(lái)以形成器件和VLSI電路.確定這些區(qū)域圖形 的工藝是由光刻來(lái)完成的,也就是說(shuō),首先在硅片上旋轉(zhuǎn)涂覆光刻膠,再將 其曝露于某種光源下,如紫外光,
2011-03-09 16:43:210

PCB:PALUP基板結(jié)構(gòu)工藝技術(shù)

對(duì)于PCB抄板工程師來(lái)說(shuō),除了掌握一定的抄板技術(shù)技巧和軟件應(yīng)用技能之外,還應(yīng)該對(duì)各類(lèi)電路板基板材料有初步的了解,本文我們將為大家介紹一種新的基板--PALUP基板的結(jié)構(gòu)工藝和性
2011-06-23 11:27:051204

雷達(dá)技術(shù)叢書(shū) 雷達(dá)結(jié)構(gòu)工藝全冊(cè)

雷達(dá)是一個(gè)復(fù)雜的電子機(jī)械機(jī)構(gòu),因此雷達(dá)的結(jié)構(gòu)工藝技術(shù)在雷達(dá)研制中占有極為重要的地位。結(jié)構(gòu)工藝不僅是雷達(dá)研制中不可或缺的技術(shù)支撐,而且是雷達(dá)性能和質(zhì)量的重要保證
2011-08-03 17:08:310

典型MEMS工藝流程

MEMS表面微機(jī)械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進(jìn)行的 MEMS 制造工藝。表面微加工中,采用低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)這一類(lèi)方法來(lái)獲得作為結(jié)構(gòu)單元的薄膜。表面微加工工藝采用若
2011-11-01 11:45:2311161

3D封裝與硅通孔(TSV)工藝技術(shù)

對(duì)3D封裝技術(shù)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、主流多層基板技術(shù)分類(lèi)及其常見(jiàn)鍵合技術(shù)的發(fā)展作了論述,對(duì)過(guò)去幾年國(guó)際上硅通孔( TSV)技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)給與了重點(diǎn)的關(guān)注。尤其就硅通孔關(guān)鍵工藝技術(shù)如硅片減薄
2011-12-07 11:00:52149

科銳公司推出兩項(xiàng)新型GaN工藝技術(shù)

科銳公司(CREE)宣布推出兩項(xiàng)新型GaN工藝:0.25微米、漏極電壓最高為40V的G40V4和0.4微米、漏極電壓最高為50VG50V3。新的工藝技術(shù)增加了工作電壓和無(wú)線射頻功率密度,與傳統(tǒng)的技術(shù)相比
2012-07-18 14:30:561306

TSMC持續(xù)開(kāi)發(fā)先進(jìn)工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn) 中國(guó)IC設(shè)計(jì)發(fā)展可期

隨著芯片微縮,開(kāi)發(fā)先進(jìn)工藝技術(shù)的成本也越來(lái)越高。TSMC對(duì)外發(fā)言人孫又文表示,臺(tái)積電會(huì)繼續(xù)先進(jìn)工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)的投入和開(kāi)發(fā),今年年底臺(tái)積電將推出20nm工藝
2012-08-30 14:34:301782

MEMS加工工藝技術(shù)詳解

本文重點(diǎn)描述運(yùn)用MEMS微機(jī)械加工工藝技術(shù)設(shè)計(jì)、加工、生產(chǎn)胎壓傳感器IC芯片,希望對(duì)大家學(xué)習(xí)MEMS有所幫助
2012-12-11 14:17:267238

半導(dǎo)體工藝技術(shù)

半導(dǎo)體的制造流程以及各工位的詳細(xì)工藝技術(shù)。
2016-05-26 11:46:340

PCB測(cè)試工藝技術(shù)

PCB測(cè)試工藝技術(shù),很詳細(xì)的
2016-12-16 21:54:480

撓性電路板化學(xué)鎳鈀金工藝技術(shù)研究

撓性電路板化學(xué)鎳鈀金工藝技術(shù)研究
2017-01-22 20:56:130

Micralyne即將推出下一代小型化低功耗氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺(tái)

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,MEMS代工廠Micralyne展示了用于開(kāi)發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺(tái)——標(biāo)準(zhǔn)的硅工藝技術(shù)工藝模塊。
2017-10-16 17:17:546724

工藝技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)蜂窩網(wǎng)絡(luò)技術(shù)

業(yè)界對(duì)哪種半導(dǎo)體工藝最適合某一給定應(yīng)用存在著廣泛的爭(zhēng)論。雖然某種特殊工藝技術(shù)能更好地服務(wù)一些應(yīng)用,但其它工藝技術(shù)也有很大的應(yīng)用空間。像CMOS、BiCMOS、砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP
2019-03-15 11:06:13447

氣體傳感器需求市場(chǎng)可期 Micralyne開(kāi)發(fā)下一代氣體傳感器MEMS技術(shù)平臺(tái)

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和傳感器代工廠Micralyne在日本“MEMS傳感和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)展會(huì)”上展示了用于開(kāi)發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺(tái)——標(biāo)準(zhǔn)的硅工藝技術(shù)工藝模塊。
2018-04-28 15:30:002103

CMOS工藝制程技術(shù)的詳細(xì)資料說(shuō)明

本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是CMOS工藝制程技術(shù)的詳細(xì)資料說(shuō)明。主要包括了:1.典型工藝技術(shù):①雙極型工藝技術(shù)② PMOS工藝技術(shù)③NMOS工藝技術(shù)④ CMOS工藝技術(shù)2.特殊工藝技術(shù)。BiCOMS工藝技術(shù),BCD工藝技術(shù),HV-CMOSI藝技術(shù)
2019-01-08 08:00:0075

技術(shù)已成熟:MEMS加速度計(jì)

對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇
2019-04-10 15:20:072356

曝光成像與顯影工藝技術(shù)的原理及特點(diǎn)

PCB板上的線路圖形就是PCB線路板廠家采用曝光成像與顯影蝕刻工藝技術(shù)來(lái)完成的,無(wú)論是PCB多層線路板還是柔性線路板在制作線路圖形時(shí)都要用到曝光成像與顯影工藝技術(shù)。下面來(lái)詳細(xì)介紹這兩種工藝的加工特點(diǎn)及加工原理。
2019-04-28 15:10:5231336

IMT再次頒發(fā)2018年度MEMS專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金 以鼓勵(lì)在MEMS制造領(lǐng)域的創(chuàng)新

IMT公司專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金支持未來(lái)之才開(kāi)展創(chuàng)新研究,推動(dòng)MEMS制造工藝技術(shù)快速發(fā)展。
2019-05-06 14:22:04809

MEMS加速度計(jì)性能已經(jīng)達(dá)到何種程度?

對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇。采用專(zhuān)門(mén)化MEMS結(jié)構(gòu)工藝技術(shù),現(xiàn)在已實(shí)現(xiàn)諧振頻率高達(dá)50 kHz、噪聲密度低至25 g/Hz的加速度計(jì)。
2019-05-20 14:14:182628

SONNET中的工藝技術(shù)介紹

在14版本中,SONNET新引入了一種名為工藝技術(shù)層的屬性定義層,以實(shí)現(xiàn)EDA框架和設(shè)計(jì)流程的平滑過(guò)渡。該工藝技術(shù)層實(shí)際上是用戶創(chuàng)建的EM工程中 的多個(gè)屬性對(duì)象的集合體,其中包括了很多基本屬性設(shè)置,比如層的命名、物理位置、金屬屬性、網(wǎng)格控制選項(xiàng)等等。
2019-10-08 15:17:412021

mems傳感器現(xiàn)狀_mems傳感器制作工藝

MEMS技術(shù)基于已經(jīng)是相當(dāng)成熟的微電子技術(shù)、集成電路技術(shù)及其加工工藝。它與傳統(tǒng)的IC工藝有許多相似之處,如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學(xué)機(jī)械拋光工藝等,但是有些復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)難以用IC工藝實(shí)現(xiàn),必須采用微加工技術(shù)制造。
2019-12-25 10:03:092631

MEMS加速度計(jì)性能測(cè)評(píng)

比較。 對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇。采用專(zhuān)門(mén)化MEMS結(jié)構(gòu)工藝技術(shù),現(xiàn)在已實(shí)現(xiàn)諧振頻率高達(dá)50 kHz、噪聲密度低至25 g/?Hz的加速度計(jì)。通過(guò)精心設(shè)計(jì)的信號(hào)調(diào)理電子電路,可
2020-04-09 09:12:311318

MEMS與傳統(tǒng)CMOS刻蝕與沉積工藝的關(guān)系

CMOS器件是在硅材料上逐層制作而成的。雖然蝕刻和沉積是標(biāo)準(zhǔn)工藝,但它們主要使用光刻和等離子蝕刻在裸片上創(chuàng)建圖案。另一方面,MEMS是采用體硅加工工藝嵌入到硅中,或通過(guò)表面微加工技術(shù)在硅的頂部形成。
2020-09-01 11:21:323490

CMOS工藝技術(shù)的學(xué)習(xí)課件免費(fèi)下載

本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是CMOS工藝技術(shù)的學(xué)習(xí)課件免費(fèi)下載。
2020-12-09 08:00:000

IBM推出一項(xiàng)微芯片工藝技術(shù)中的新改進(jìn)

IBM日前推出一項(xiàng)微芯片工藝技術(shù)中的新改進(jìn)。該公司表示,這項(xiàng)改進(jìn)將讓為手機(jī)和其它通信設(shè)備制造更高速的硅設(shè)備
2021-03-26 11:08:541281

MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)

MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)說(shuō)明。
2021-04-08 09:30:41237

多絞屏蔽線處理及焊接工藝技術(shù)綜述

多絞屏蔽線處理及焊接工藝技術(shù)綜述
2021-07-12 09:45:593

MEMS工藝的關(guān)鍵技術(shù)有哪些

件、電子電路、傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)集成在一塊電路板上的高附加值元件。 MEMS工藝 MEMS工藝以成膜工序、光刻工序、蝕刻工序等常規(guī)半導(dǎo)體工藝流程為基礎(chǔ)。 下面介紹MEMS工藝的部分關(guān)鍵技術(shù)
2021-08-27 14:55:4417759

全面解讀電子封裝工藝技術(shù)

全面解讀電子封裝工藝技術(shù)
2022-10-10 11:00:51876

MEMS工藝中的鍵合技術(shù)

鍵合技術(shù)MEMS 工藝中常用的技術(shù)之一,是指將硅片與硅片、硅片與玻璃或硅片與金屬等材料通過(guò)物理或化學(xué)反應(yīng)機(jī)制緊密結(jié)合在一起的一種工藝技術(shù)。
2022-10-11 09:59:573731

MEMS 與CMOS 集成工藝技術(shù)的區(qū)別

Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結(jié)構(gòu)在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS結(jié)構(gòu)部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
2022-10-13 14:52:435875

MEMS加速度計(jì)性能成熟

對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資,加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新,極大地提高了MEMS性能,足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測(cè)應(yīng)用的可行選擇?,F(xiàn)在,通過(guò)專(zhuān)門(mén)的MEMS結(jié)構(gòu)工藝技術(shù),可以提高諧振頻率高達(dá)50 kHz,噪聲密度
2023-01-03 11:00:44980

氮化鎵工藝技術(shù)是什么意思

氮化鎵工藝技術(shù)是什么意思? 氮化鎵是一種無(wú)機(jī)物,化學(xué)式GaN,是氮和鎵的化合物,是一種直接能隙(direct bandgap)的半導(dǎo)體,自1990年起常用在發(fā)光二極管中。此化合物結(jié)構(gòu)類(lèi)似纖鋅礦,硬度
2023-02-05 10:24:521177

虹科小課堂|MEMS技術(shù)應(yīng)用案例介紹

傳感器公司為例,介紹了他們的MEMS傳感器技術(shù)。更詳細(xì)的技術(shù)干貨,帶你進(jìn)一步揭開(kāi)MEMS技術(shù)神秘的面紗。01丨開(kāi)拓—什么是MEMS技術(shù)MEMS的全稱(chēng),是Micro-E
2021-10-29 18:24:49554

超越微觀邊界:MEMS器件真空封裝結(jié)構(gòu)與制造工藝全景剖析

隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展,微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)逐漸成為眾多領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。MEMS器件在諸如傳感器、執(zhí)行器等方面表現(xiàn)出卓越的性能,但要實(shí)現(xiàn)這些優(yōu)越特性,對(duì)其封裝結(jié)構(gòu)和制造工藝要求極高。本文將詳細(xì)介紹MEMS器件真空封裝結(jié)構(gòu)及其制造工藝。
2023-04-21 14:18:181042

2006電子元器件搪錫工藝技術(shù)要求

2006電子元器件搪錫工藝技術(shù)要求
2023-08-23 16:48:033

制造MEMS芯片需要什么工藝?對(duì)傳感器有什么影響?這次終于講明白了?。ㄍ扑])

本文整理自公眾號(hào)芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容,全面、專(zhuān)業(yè)地介紹MEMS芯片制造中的常用工藝情況,推薦! ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術(shù),MEMS
2023-10-20 16:10:351409

電子產(chǎn)品裝聯(lián)工藝技術(shù)詳解

電子產(chǎn)品裝聯(lián)工藝技術(shù)詳解
2023-10-27 15:28:22373

MEMS封裝中的封帽工藝技術(shù)

密性等。本文介紹了五種用于MEMS封裝的封帽工藝技術(shù),即平行縫焊、釬焊、激光焊接、超聲焊接和膠粘封帽??偨Y(jié)了不同封帽工藝的特點(diǎn)以及不同MEMS器件對(duì)封帽工藝的選擇。本文還介紹了幾種常用的吸附劑類(lèi)型,針對(duì)吸附劑易于飽和問(wèn)題,給出了封帽工藝解決方案,探
2024-02-25 08:39:28171

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