12月8日，首屆“臨港新片區(qū)投資論壇”在上海舉行。

國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，將建立一個臨港半導(dǎo)體設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)基地，其中有研發(fā)中心、大規(guī)模生產(chǎn)基地、銷售和結(jié)算中心、產(chǎn)品投資平臺，集成電路工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺。

尹志堯指出，臨港新片區(qū)承載國家戰(zhàn)略使命，立足“卡脖子”和新興產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)的創(chuàng)新發(fā)展，對集成電路產(chǎn)業(yè)政策支持力度非常大，這里將成為世界級先進集成電路產(chǎn)業(yè)高地。

作為科創(chuàng)板首批上市企業(yè)，中微半導(dǎo)體成立于2004年5月，是我國集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)，主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。自成立以來，其主要業(yè)務(wù)是開發(fā)加工微觀器件的大型真空工藝設(shè)備，目前開發(fā)的產(chǎn)品以集成電路前道生產(chǎn)的等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備為主，并已逐步開發(fā)應(yīng)用于后道先進封裝、MEMS、Mini LED、Micro LED等領(lǐng)域的泛半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品。

中微半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的重要代表客戶包括臺積電、中芯國際、聯(lián)華電子、華力微電子、海力士、華邦電子、晶方科技、格芯、博世、意法半導(dǎo)體等國內(nèi)外知名集成電路企業(yè)，MOCVD設(shè)備也已被三安光電、華燦光電、乾照光電、璨揚光電等多家一流LED外延片及芯片制造廠商大批量采購。
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