中國電科集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗(yàn)證平臺(tái)工程——楚微半導(dǎo)體科技股份有限公司項(xiàng)目進(jìn)展順利，或早于此前規(guī)劃實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線運(yùn)行。公司確保今年底整線工藝串通并實(shí)現(xiàn)首片晶圓下線，實(shí)現(xiàn)國內(nèi)第一條集成電路裝備驗(yàn)證工藝線在湖南運(yùn)行。

據(jù)悉，中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所致力于在半導(dǎo)體工藝設(shè)備與研發(fā)，在長沙市高新區(qū)成立了湖南楚微半導(dǎo)體科技有限公司。湖南楚微半導(dǎo)體科技有限公司實(shí)施 8 英寸線集成電路國產(chǎn)化設(shè)備集成及驗(yàn)證，并進(jìn)行相關(guān)工藝產(chǎn)品規(guī)模制造，以整線工藝驗(yàn)證設(shè)備的模式替代過去的單機(jī)臺(tái)驗(yàn)證模式，實(shí)現(xiàn)成套成體系國產(chǎn)化設(shè)備與工藝相結(jié)合。項(xiàng)目總投資 25 億元，建設(shè) 8 英寸集成電路裝備驗(yàn)證工藝線。

中電科集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗(yàn)證平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目是長沙高新區(qū)重大在建產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一，2018 年 11 月底開工建設(shè)；2019 年 9 月 28 日，廠房主體結(jié)構(gòu)封頂。

在該項(xiàng)目封頂活動(dòng)上，中電科電子裝備集團(tuán)有限公司黨委書記、董事長，48 所黨委書記左雷表示，項(xiàng)目廠房主體封頂只是工程建設(shè)的一半，更關(guān)鍵更繁雜的工作還在后面，希望大家以此為新的起點(diǎn)，繼續(xù)搞好后續(xù)工程建設(shè)，把項(xiàng)目建成樣板工程、示范工程、精品工程，更好服務(wù)國家戰(zhàn)略和地方經(jīng)濟(jì)發(fā)展。

據(jù)悉，該項(xiàng)目一期建成后將提供同時(shí) 20 臺(tái)套設(shè)備在線的驗(yàn)證能力，年驗(yàn)證能力超 40 臺(tái)。在此基礎(chǔ)上，項(xiàng)目二期將進(jìn)一步完善發(fā)展，形成 12 英寸集成電路裝備的驗(yàn)證能力。項(xiàng)目原預(yù)計(jì) 2021 年竣工投產(chǎn)。