全球光刻機(jī)大廠ASML（艾司摩爾）在日前的2020 年第4 季與全年財務(wù)電話會議上透露，2020年全年ASML營收達(dá)到140億歐元，其中有45 億歐元的收入來自EUV（極紫外光微影）設(shè)備的銷售，而DUV（深紫外光微影）設(shè)備則是創(chuàng)下73億歐元的紀(jì)錄?？偛敏邎?zhí)行長Peter Wennink 表示，2021 年的EUV 設(shè)備供應(yīng)仍將因關(guān)鍵元件備貨不足而持續(xù)吃緊。

而值得注意的是，以2020 年來看，臺灣在ASML銷售地區(qū)占比雖仍維持最高，但從前一年的51% 下降至36%，反之，南韓則是從16% 上升至31%，來自三星的設(shè)備需求是推動南韓市占的最大因素。另一方面，中國雖然遭受貿(mào)易制裁，無法取得EUV 設(shè)備，但其他設(shè)備的銷售仍使中國的銷售占比從12% 上升至18%。

至于全世界最關(guān)注的先進(jìn)制程與EUV 設(shè)備供應(yīng)方面，Peter Wennink 表示，由于受到客戶預(yù)定數(shù)量的影響，2021 年的EUV 設(shè)備產(chǎn)能將不會有太大的成長。

實(shí)際上，2020 年初因?yàn)橐咔橛绊?，多?shù)電子產(chǎn)品需求預(yù)估皆悲觀，這使得不論是先進(jìn)邏輯晶片，或者是記憶體晶片的需求都被嚴(yán)重低估。市場根據(jù)Peter Wennink 的發(fā)言研判，2020 年由于英特爾取消了預(yù)定的EUV 設(shè)備，所以臺積電、三星都分到比預(yù)期更多的EUV 設(shè)備。但臺積電因?yàn)樵菊労玫? 奈米客戶被制裁而無法下單，因此原本在2021 年預(yù)定的EUV 機(jī)臺數(shù)量也大幅削減。而雖然Peter Wennink 并沒有提到三星有什么變動，但根據(jù)三星從去年開始大增的資本支出來看，極可能已趁機(jī)擴(kuò)大其EUV 機(jī)臺儲備。

由于EUV 的交期長達(dá)20 個月，如果前一年沒有確定好數(shù)量，那么就只能等待下一個預(yù)定與出貨的時程循環(huán)，因此在2020 年底，臺積電回頭想要緊急加回新年度的EUV 機(jī)臺預(yù)定量，ASML也愛莫能助。不過Peter Wennink 強(qiáng)調(diào)，2021 年下半年的新型號機(jī)臺3600D 將取代既有的3400C，其產(chǎn)能增加了15%，可以相當(dāng)程度舒緩晶圓代工廠產(chǎn)能的緊繃。

機(jī)臺產(chǎn)能雖受限，但新機(jī)臺效率可提升15%

Peter Wennink 在會議上指出，EUV 機(jī)臺需要許多關(guān)鍵零組件與光學(xué)元件，這些元件的制造非常困難，事實(shí)上為了臺積電的追加訂單，ASML也詢問相關(guān)供應(yīng)鏈?zhǔn)欠衲芫o急增產(chǎn)，補(bǔ)足原本計劃中不足的部分，但得到的回應(yīng)也是無能為力。他認(rèn)為，原本要在2021 年達(dá)到50 部是沒有問題的，但受限于關(guān)鍵零件的供應(yīng)，ASML無法讓產(chǎn)能滿載。不過因?yàn)橛唵尾粩?，隨著這些關(guān)鍵料件的補(bǔ)齊，Peter Wennink 認(rèn)為2022 年ASML將可能全力運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到50 部的產(chǎn)能目標(biāo)。

會議中，也有分析師詢問，如何看待全球的市場布局。Peter Wennink 認(rèn)為，中國的設(shè)備需求仍將持續(xù)增長，不過主要會集中在記憶體的部分，邏輯芯片代工由于受到美國法律的限制，Peter Wennink 沒有辦法給出明確的答案，但他樂觀認(rèn)為，如果美國政府依照目前的步調(diào)走下去，那么中國的邏輯芯片制造設(shè)備市場仍將會有很明顯的上升空間。

Peter Wennink 補(bǔ)充說，2021 年另外一個可見的趨勢，那就是會有越來越多EUV 設(shè)備被使用于記憶體的生產(chǎn)當(dāng)中，不過僅限于DRAM，他并不看好NAND 使用EUV 設(shè)備的必要性。由于電子消費(fèi)市場的復(fù)蘇，這方面的需求可預(yù)期會有很大的成長。

編輯：hfy