遼寧證監(jiān)局披露了拓荊科技股份有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）輔導(dǎo)備案基本情況表。信息顯示，拓荊科技于2021年1月28日與招商證券簽訂輔導(dǎo)協(xié)議，并于同日進(jìn)行了輔導(dǎo)備案。

據(jù)官網(wǎng)介紹，拓荊科技成立于2010年4月，是由海外專家團(tuán)隊(duì)和中科院所屬企業(yè)共同發(fā)起成立的國家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事高端半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)。

該公司擁有12英寸PECVD（等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備）、ALD（原子層薄膜沉積設(shè)備）、3D NAND PECVD（三維結(jié)構(gòu)閃存專用PECVD設(shè)備）三個(gè)完整系列產(chǎn)品，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路前道和后道、TSV封裝、光波導(dǎo)、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域。

拓荊科技三次承擔(dān)國家“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝科技重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）”。通過多年技術(shù)積累，該公司已形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系，截止到2020年9月底，累計(jì)申請(qǐng)專利453項(xiàng)。

根據(jù)官網(wǎng)信息，2017年4月，拓荊科技位于沈陽市渾南區(qū)的新廠正式啟用。新廠占地80畝，總建筑面積4萬平方米，擁有十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)潔凈廠房共計(jì)2800平方米，一期可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)100臺(tái)套，二期投產(chǎn)將達(dá)到年產(chǎn)350臺(tái)套設(shè)備的生產(chǎn)能力。

2018年9月，由拓荊科技自主研制的12英寸原子層沉積（ALD）設(shè)備FT-300T通過了客戶的驗(yàn)收。

企查查資料顯示，拓荊科技的前三大股東分別為國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司（26.48%）、國投（上海）科技成果轉(zhuǎn)化創(chuàng)業(yè)投資基金企業(yè)（有限合伙）（18.23%）、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（11.2%）。
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