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歐洲石墨烯旗艦項(xiàng)目開發(fā)了一種分析石墨烯的新方法

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2021-03-09 14:27 ? 次閱讀
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歐洲石墨烯旗艦項(xiàng)目開發(fā)了一種分析石墨烯的新方法,利用該方法可以提高石墨烯產(chǎn)量并優(yōu)化器件。

石墨烯的太赫茲成像為其實(shí)現(xiàn)工業(yè)化鋪平了道路。如同X射線掃描對非侵入性醫(yī)療方法的革新一樣,太赫茲光譜可以穿透石墨烯薄膜,使科學(xué)家能夠在不損壞或污染原材料的情況下,繪制出該材料詳細(xì)的電氣特性圖。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,目前,歐洲石墨烯旗艦項(xiàng)目(Graphene Flagship)匯集了學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的研究人員,以開發(fā)和完善這種分析技術(shù),現(xiàn)已開發(fā)了一款新穎的石墨烯表征測量工具。

該研究得益于石墨烯旗艦項(xiàng)目歐洲聯(lián)盟提供的協(xié)作環(huán)境,及其合作伙伴,他們分別是來自丹麥技術(shù)大學(xué)(DTU)、意大利理工學(xué)院(IIT)、芬蘭阿爾托大學(xué)(Aalto University)、愛思強(qiáng)公司(AIXTRON)(英國部)、比利時(shí)微電子研究中心(imec)、西班牙Graphenea、波蘭華沙大學(xué)(Warsaw University)和法國Thales R&T的科學(xué)家,以及在中國、韓國和美國的合作者。

他們的最新研究成果發(fā)表在2D Materials雜志上。

石墨烯的太赫茲成像為其實(shí)現(xiàn)工業(yè)化鋪平了道路
(來源:石墨烯旗艦項(xiàng)目)


質(zhì)量評估簡單化

石墨烯通常被“夾在”許多不同的層和材料之間,用于電子和光子器件。這使石墨烯的質(zhì)量評估過程變得復(fù)雜。然而,太赫茲光譜可使其簡單化。它可以對封裝后的材料進(jìn)行成像,并揭示其下方石墨烯的質(zhì)量,從而暴露出石墨烯制造過程中關(guān)鍵點(diǎn)的瑕疵。

石墨烯的質(zhì)量控制至關(guān)重要。得益于石墨烯旗艦項(xiàng)目的先驅(qū)性發(fā)展,如石墨烯和層狀材料的卷對卷生產(chǎn)等,石墨烯的制造技術(shù)已準(zhǔn)備邁進(jìn)新階段。太赫茲光譜可以在不影響石墨烯質(zhì)量的情況下提高其產(chǎn)量。

石墨烯旗艦項(xiàng)目合作伙伴丹麥技術(shù)大學(xué)的Peter B?ggild表示:“我們需要這種技術(shù)以達(dá)到石墨烯旗艦項(xiàng)目的高通量生產(chǎn)水平。我們有信心,太赫茲光譜技術(shù)在石墨烯制造中的應(yīng)用將會像醫(yī)院的X射線掃描一樣普遍。事實(shí)上,利用太赫茲光譜,甚至可以無需接觸,輕松測繪米級石墨烯樣品,這是其它一些哪怕最先進(jìn)的技術(shù)所無法實(shí)現(xiàn)的?!贝送?,石墨烯旗艦項(xiàng)目目前正在研究如何將太赫茲光譜直接應(yīng)用到卷對卷石墨烯生產(chǎn)線上,并加快其成像速度。

不同行業(yè)知識的碰撞是這一成就的關(guān)鍵點(diǎn)。石墨烯旗艦項(xiàng)目中的學(xué)術(shù)界研究人員與領(lǐng)先的石墨烯制造商進(jìn)行了密切合作,例如石墨烯旗艦項(xiàng)目合作伙伴愛思強(qiáng)公司、Graphenea和比利時(shí)微電子研究中心等。

B?ggild表示:“這是確保我們的解決方案適用于最終用戶、生產(chǎn)石墨烯和層狀材料企業(yè)的最佳方式。我們的論文所展示的是一個(gè)全面的案例研究過程,其中突出了太赫茲光譜技術(shù)在質(zhì)量控制中的多功能性和可靠性,并指導(dǎo)同行將該技術(shù)應(yīng)用于眾多工業(yè)相關(guān)的基板,如硅、藍(lán)寶石、碳化硅和聚合物等?!?br />
制定標(biāo)準(zhǔn)

制定標(biāo)準(zhǔn)是開發(fā)任何新材料的重要步驟,以確保該新材料是安全和純正的,并提供可靠且一致的性能。這就是石墨烯旗艦項(xiàng)目擁有一個(gè)專門工作小組的原因,該工作小組致力于石墨烯測量、技術(shù)分析以及制造流程等的標(biāo)準(zhǔn)化制定。

在石墨烯旗艦項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)化委員會的努力下,這種太赫茲光譜新方法有望成為標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)范。

新技術(shù)適用于許多工業(yè)基板,如硅、藍(lán)寶石、碳化硅和聚合物等
(來源:石墨烯旗艦項(xiàng)目)

“這無疑將加速這項(xiàng)新技術(shù)的應(yīng)用,因?yàn)樗鼘⒔o出如何以可重復(fù)的方式對石墨烯樣品進(jìn)行分析和比較,太赫茲光譜使用戶對石墨烯產(chǎn)品的信賴度又向前邁了一步。”這項(xiàng)研究的合著者、石墨烯旗艦項(xiàng)目合作伙伴,丹麥技術(shù)大學(xué)的Peter Jepsen表示。

該論文合著者、石墨烯旗艦項(xiàng)目合作伙伴Graphenea的科學(xué)總監(jiān)Amaia Zurutuza說:“在Graphenea,我們確信太赫茲成像可以促進(jìn)質(zhì)量控制技術(shù)的發(fā)展,該技術(shù)能夠滿足生產(chǎn)吞吐量的需求,并提供石墨烯相關(guān)的質(zhì)量信息,這對于我們成功實(shí)現(xiàn)石墨烯的工業(yè)化是至關(guān)重要的?!?br />
石墨烯旗艦項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)化委員會主席Thurid Gspann表示:“這種太赫茲光譜技術(shù)有望被業(yè)界廣泛應(yīng)用。它不需要任何特定的樣品制備,是一種能夠高效分析大面積區(qū)域的測繪技術(shù)?!?br />
石墨烯旗艦項(xiàng)目電子與光子集成部門負(fù)責(zé)人Marco Romagnoli補(bǔ)充道:“這種用于晶圓級應(yīng)用的太赫茲光譜工具是一種先進(jìn)的高TRL(thru-reflect-line)系統(tǒng),可以表征含有化學(xué)氣相沉積(CVD)石墨烯的晶圓上的多層堆疊。該方法工作時(shí)間短,精度高,并可提供研究所需的主要參數(shù),如載流子遷移率、電導(dǎo)率、散射時(shí)間和載流子密度等。這項(xiàng)高價(jià)值的技術(shù)成就,同樣是石墨烯旗艦項(xiàng)目等大型合作項(xiàng)目優(yōu)勢的證明。”

責(zé)任編輯:lq

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原文標(biāo)題:借助太赫茲光譜實(shí)現(xiàn)新穎的石墨烯表征:無接觸測繪和分析

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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