中微半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012)今日宣布其MOCVD設備迎來又一里程碑：Prismo UniMax MOCVD設備訂單超100腔。Prismo UniMax MOCVD設備于今年6月正式發(fā)布，主要用于氮化鎵(GaN)基Mini LED外延片量產(chǎn)。Mini LED可被廣泛應用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產(chǎn)品。

中微公司所開發(fā)的Prismo UniMax MOCVD設備憑借優(yōu)異的波長均勻性、高能效和高產(chǎn)能等優(yōu)勢迅速獲得了市場認可;專業(yè)及時的現(xiàn)場支持和客戶服務也是客戶看重的優(yōu)勢之一。產(chǎn)品正式發(fā)布半年內(nèi)取得超過100腔訂單，這一卓越里程碑進一步鞏固了中微公司在MOCVD設備市場的領先地位。

Prismo UniMax MOCVD設備專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設計，通過創(chuàng)新的多區(qū)溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度上提升LED波長均勻性。此外，優(yōu)化的噴淋頭設計實現(xiàn)了更好的均勻性和產(chǎn)出穩(wěn)定性，新一代直流電源進一步提升了電能轉(zhuǎn)化效率。

Prismo UniMax具有行業(yè)領先的高產(chǎn)能和生產(chǎn)靈活性。設備配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計，最多可以同時加工 164片4英寸或72片6英寸外延晶片，能提高產(chǎn)能并有效降低Mini LED生產(chǎn)成本。Prismo UniMax在同一系統(tǒng)中可配備多達4個反應腔，每個反應腔都可以獨立控制。

Prismo UniMax是中微公司MOCVD設備系列的最新產(chǎn)品，該系列產(chǎn)品還包括Prismo D-BLUE、Prismo A7和Prismo HiT3。2013年，Prismo D-BLUE作為當時國內(nèi)率先自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設備正式發(fā)布。此后，公司相繼發(fā)布Prismo A7和Prismo HiT3產(chǎn)品。如今，中微公司的MOCVD設備在行業(yè)內(nèi)主要的LED生產(chǎn)線上全面投入量產(chǎn)。

中微公司執(zhí)行副總裁兼首席運營官杜志游博士認為，Prismo UniMax被客戶迅速采用主要歸功于中微公司在MOCVD設備和工藝領域的持續(xù)創(chuàng)新，并與領先客戶保持密切合作?！半S著客戶進一步拓展新的應用，我們很自豪能通過極具競爭力的技術解決方案，來滿足客戶Mini LED大規(guī)模量產(chǎn)的需求。這一里程碑充分證明了我們Prismo系列MOCVD設備的性能優(yōu)勢，以及我們在客戶合作中體現(xiàn)的值得信賴的專業(yè)技能?！?/p>

Prismo D-BLUE, Primo A7, Prismo HiT3 and Prismo UniMax 是中微公司的注冊商標。

關于中微半導體設備(上海)股份有限公司

中微半導體設備(上海)股份有限公司(證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012)致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用，中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據(jù)領先地位。

原文標題：中微公司Prismo UniMax? MOCVD設備訂單超100腔

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