《華林科納-半導(dǎo)體工藝》減薄硅片的蝕刻技術(shù)
摘要
高效指間背接觸太陽能電池有助于減少太陽能電池板的面積，需要提供足夠數(shù)量的能源供家庭消費(fèi)。我們認(rèn)為適當(dāng)?shù)牟捎霉廒寮夹g(shù)的IBC電池即使在厚度不足的情況下也能保持20%的效率。文章全部詳情：壹叁叁伍捌零陸肆叁叁叁本工作采用光刻和刻蝕技術(shù)對晶圓進(jìn)行深度刻蝕，使晶圓厚度小于20μm。
關(guān)鍵詞:IBC太陽能電池，掩模蝕刻，光刻，反應(yīng)離子蝕刻，TMAH蝕刻
介紹
太陽能顯示出供應(yīng)潛力，這個因素取決于對高效率光伏器件和降低制造成本的需求。IA是光伏產(chǎn)業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn)以與化石燃料競爭的成本生產(chǎn)足夠數(shù)量的能源。這個因素取決于對高效率光伏器件和降低制造成本的需求。據(jù)報道，太陽能電池的效率在規(guī)模上高于20%。商用太陽能電池使用晶體硅材料。這種類型的PV電池是指間背接觸太陽能電池。
實(shí)驗(yàn)
審核編輯：符乾江
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發(fā)表于 04-15 13:52
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