差動(dòng)電渦流傳感器測(cè)量原理：

差分測(cè)量系統(tǒng)是精密測(cè)量技術(shù)的重大進(jìn)步。它們提供出色的分辨率、可重復(fù)性和歸零精度，用于檢測(cè)導(dǎo)電目標(biāo)相對(duì)于一對(duì)非接觸式傳感器的對(duì)齊/居中位置。

對(duì)于差分測(cè)量應(yīng)用，每個(gè)通道有兩個(gè)精確匹配的傳感器位于目標(biāo)的相對(duì)兩側(cè)或兩端。在這種傳感器到目標(biāo)的關(guān)系中，當(dāng)目標(biāo)遠(yuǎn)離一個(gè)傳感器時(shí)，它向另一個(gè)傳感器移動(dòng)等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對(duì)腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩(wěn)定性。

差動(dòng)電渦流傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

超高精度宇航應(yīng)用、中繼鏡片激光定位（RME）、激光反射鏡聚焦平臺(tái)定位、半導(dǎo)體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦、精確望遠(yuǎn)鏡定位、磁懸浮軸定位、低溫（液氮環(huán)境測(cè)量金屬位移變化）、真空應(yīng)用（傳感器和KD5100的電子器件都已用在10-6托的真空應(yīng)用中）……

KD5100及DIT5200系列都是基于差分系統(tǒng)的電渦流傳感器。KD5100納米級(jí)差動(dòng)電渦流傳感器主要特點(diǎn)：

（1）、每通道兩個(gè)精確匹配的傳感器使分辨率達(dá)到1nm；
（2）、超耐熱，長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定：1.27x10-4mm/月或更好；
（3）、有耐低溫傳感器；
（4）、超高靈敏度，最高到394 mV/μm；
（5）、低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情況下)；
（6）、探頭和控制器都可用于低至10-6Torr的真空應(yīng)用；
（7）、小尺寸：2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。

KD5100納米級(jí)差動(dòng)電渦流傳感器參數(shù)：

審核編輯 黃昊宇