TCAD相信很多人都用過(guò)，很多人說(shuō)做工藝指導(dǎo)還行，信它就可能把片子玩飛了。TCAD在工藝仿真上有它一定的局限性，畢竟工藝過(guò)程總環(huán)境、物料、人的影響很大。作為器件仿真還是值得學(xué)習(xí)一下。

TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半導(dǎo)體工藝模擬以及器件模擬工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas，Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已經(jīng)被Synopsys公司收購(gòu)）的Dios和Dessis 以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS。此外還有維也納TCAD GlobalSolution公司的TCAD套件，以及新加坡Cogenda公司的VisualTCAD套件。

TCAD流程：

怎么設(shè)計(jì)元件，怎樣做元件的模擬？

第一條路：DeckBuild －＞ command file －＞device simulator

第二條路：process simulator －＞structure files －＞device simulator

使用TCAD原因：

減少開(kāi)發(fā)成本：ITRS roadmap表明，TCAD仿真可以將開(kāi)發(fā)周期的成本降低30％左右。

內(nèi)部物理過(guò)程可視化：你可以看到設(shè)備內(nèi)部。測(cè)量告訴你發(fā)生了什么，而不是為什么它發(fā)生，TCAD提供了為什么答案。

誰(shuí)用TCAD ：

Foundries 和 Integrated Device Manufacturers