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超純水在芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

鄭先生 ? 來源: jf_70685061 ? 作者: jf_70685061 ? 2023-04-15 14:27 ? 次閱讀
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什么是芯片?集成電路就是芯片,是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心元件。從芯片的設(shè)計(jì)、制造、封裝材料等相關(guān)企業(yè)層出不窮。但高品質(zhì)的產(chǎn)品才能被市場(chǎng)認(rèn)可,再多的芯片廠家涌起也得禁得住市場(chǎng)的考驗(yàn)。芯片從制造開始就有考究,無論是原材料還是工藝都是經(jīng)過精挑細(xì)選的。在制造芯片中有一種水也要經(jīng)過專業(yè)的制取工藝而得來,才能更好地應(yīng)用在芯片制造中,這種水便是超純水。

芯片生產(chǎn)所需的清洗用水為電阻率大于18MΩcm,接近于18.3MΩcm的超純水。這種超純水的制備過程比較復(fù)雜,為了達(dá)到芯片生產(chǎn)的用水要求,制備超純水的設(shè)備需要經(jīng)過嚴(yán)格的檢測(cè)。

據(jù)了解,傳統(tǒng)超純水制備過程中通常采用離子交換樹脂,此工藝需要進(jìn)行樹脂再生,既耗費(fèi)物力又耗費(fèi)人工。目前,為了更好地節(jié)省人工和耗材,人們開始采用RO反滲透技術(shù)和EDI相結(jié)合的工藝,從而來制備超純水。

目前這種超純水設(shè)備與傳統(tǒng)工藝相比,不僅投入的運(yùn)行成本低且人工成本也是很低的,并且設(shè)備的整體集成化程度高,自動(dòng)化程度高,遇故障可以實(shí)現(xiàn)立即自停,具有自動(dòng)保護(hù)功能。而且該設(shè)備應(yīng)用的膜技術(shù),具有較高的溶質(zhì)分離率和透過率,可以高效產(chǎn)出高品質(zhì)超純水。

綜上,我們了解到,超純水設(shè)備出水電導(dǎo)率可達(dá)18.2mΩ,大大地滿足芯片行業(yè)用水需求,是該行業(yè)清洗用水的重要保障。

目前,常見超純水設(shè)備多是采用反滲透技術(shù)與電去離子(EDI)技術(shù)相結(jié)合的方式來制取超純水,這樣的超純水設(shè)備無論出水還是制作過程都是環(huán)保且符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的。超純水設(shè)備可以將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度,符合超純水出水標(biāo)準(zhǔn)。

這樣的超純水設(shè)備無需使用任何再生化學(xué)品進(jìn)行再生,無需中和藥劑,應(yīng)用EDI模塊就不會(huì)產(chǎn)生酸堿廢液。設(shè)備選用優(yōu)質(zhì)膜元件,能夠去除水中的導(dǎo)電介質(zhì),并具有純度高,無病毒和細(xì)菌,不含任何懸浮物、無化學(xué)污染等優(yōu)勢(shì)。對(duì)于芯片制造來說,該設(shè)備生產(chǎn)的超純水符合產(chǎn)業(yè)需求,同時(shí)高品質(zhì)的超純水可以幫助芯片制造業(yè)提高成品率。

綜上,超純水設(shè)備的產(chǎn)業(yè)無論是從技術(shù)、人員還是專業(yè)服務(wù)來說都需要保持嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膽B(tài)度,這樣才能保證生產(chǎn)出的超純水值得人信賴。(文章轉(zhuǎn)載與網(wǎng)絡(luò),如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系刪除)

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