我們都知道:
“兩點之間線段最短”、
“走直線,少走彎路”。
然而在芯片界,有時路線卻不是越短越好。


人類對便攜性的追求,讓電子產(chǎn)品越做越小,
內(nèi)部的電子部分的確是“越來越短”。
比如最初的電腦是個巨無霸,
它有18000個電子管,
占地足足170平方,重達30噸,
這樣的電腦可不是隨隨便便就可以擁有的。

為了讓人人都能用上電腦,
體積小、功耗低、更穩(wěn)定的晶體管
取代了電子管,
集成電路也隨之應(yīng)運而生。
有了晶體管和集成電路,
電路的規(guī)模越來越大,
體積卻能夠越做越小。

開山之石──MOSFET
1960s,MOSFET晶體管誕生了,
譯為“金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管”。
它可以看作是一種平面結(jié)構(gòu)的晶體管,
由三個區(qū)域組成:
源極(S)、漏極(D)和柵極(G)
MOSFET的工作原理很簡單,
柵極類似于一個控制電壓的閘門,
若給柵極G施加電壓,閘門打開,
電流就能從源極S通向漏極D;
撤掉柵極上的電壓,閘門關(guān)上,
電流就無法流過S/D極間的通道。

一個比較傳統(tǒng)的MOSFET長度大概100納米,
那怎么理解這個長度呢?
我們的頭發(fā)絲直徑大約0.1毫米,
已經(jīng)是MOSFET的1000倍了。

橫空出世──FinFET
隨著元件尺寸縮小,柵極的長度也越做越短,
當制程小于20nm時,麻煩出現(xiàn)了:
MOSFET的柵極難以關(guān)閉電流通道,
躁動的電子無法被阻攔,
漏電現(xiàn)象屢屢出現(xiàn),功耗也隨之變高。


為了減少漏電,
胡正明教授發(fā)明了晶體管的立體結(jié)構(gòu),
他將電流通道做成很薄的豎片,
將其三面都用柵極包夾起來,
控制通道關(guān)閉的效率就高多了。
這種結(jié)構(gòu)長得很像鯊魚背鰭(Fin),
因此也被稱為FinFET晶體管。

FinFET技術(shù)一路披荊斬棘,
成為了先進制造市場上的先鋒。
但當制造工藝微縮到3nm時,
漏電“魔咒”又hold不住了。
閃耀新星──GAA
既然三面包夾還在漏電,
那就四面統(tǒng)統(tǒng)包起來試試!
Gate-all-Around a.k.a GAA(全環(huán)繞柵)
是FinFET技術(shù)的終極進化版。
通過堆疊多個水平的納米線,
讓柵極包裹無死角,
精確控制電流通道,打破漏電“魔咒”。

由于GAA與FinFET技術(shù)相似度很高,
廠商在3nm制成工藝上選擇了不同的道路。
三星選擇直接上馬GAA技術(shù),
而臺積公司則試圖深度改進FinFET。
2nm制程上巨頭們同歸殊途,
不約而同都選擇了GAA,
看來,未來能夠接棒FinFET,
提升至下一代技術(shù)的非GAA莫屬。
此外,三星設(shè)計出另一種GAA形式──
MBCFET(多橋-通道場效應(yīng)管)。
多層納米片替代了GAA中的納米線,
更大寬度的片狀結(jié)構(gòu)增加了接觸面,
在保留了所有原有優(yōu)點的同時,
還實現(xiàn)了復(fù)雜度最小化。

新思科技和代工廠長期緊密合作,
通過DTCO
(Design Technology Co-optimization)
創(chuàng)新協(xié)同優(yōu)化FinFET,
提供面向FinFET/GAA工藝技術(shù)的解決方案,
并積極支持更先進的新型晶體管工藝,
攜手推進半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)開拓未來。





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FinFET到GAA:先進制程,先要“支棱起來”
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