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FinFET到GAA:先進制程,先要“支棱起來”

新思科技 ? 來源:未知 ? 2023-06-05 02:35 ? 次閱讀
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我們都知道:

“兩點之間線段最短”、

“走直線,少走彎路”。

然而在芯片界,有時路線卻不是越短越好。

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人類對便攜性的追求,讓電子產(chǎn)品越做越小,

內(nèi)部的電子部分的確是“越來越短”。

比如最初的電腦是個巨無霸,

它有18000個電子管

占地足足170平方,重達30噸,

這樣的電腦可不是隨隨便便就可以擁有的。

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為了讓人人都能用上電腦,

體積小、功耗低、更穩(wěn)定的晶體管

取代了電子管,

集成電路也隨之應(yīng)運而生。

有了晶體管和集成電路,

電路的規(guī)模越來越大,

體積卻能夠越做越小。

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開山之石──MOSFET

1960s,MOSFET晶體管誕生了,

譯為“金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管”。

它可以看作是一種平面結(jié)構(gòu)的晶體管,

由三個區(qū)域組成:

源極(S)、漏極(D)和柵極(G)

MOSFET的工作原理很簡單,

柵極類似于一個控制電壓的閘門,

若給柵極G施加電壓,閘門打開,

電流就能從源極S通向漏極D;

撤掉柵極上的電壓,閘門關(guān)上,

電流就無法流過S/D極間的通道。

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一個比較傳統(tǒng)的MOSFET長度大概100納米,

那怎么理解這個長度呢?

我們的頭發(fā)絲直徑大約0.1毫米,

已經(jīng)是MOSFET的1000倍了。

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橫空出世──FinFET

隨著元件尺寸縮小,柵極的長度也越做越短,

當(dāng)制程小于20nm時,麻煩出現(xiàn)了:

MOSFET的柵極難以關(guān)閉電流通道,

躁動的電子無法被阻攔,

漏電現(xiàn)象屢屢出現(xiàn),功耗也隨之變高。

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為了減少漏電,

胡正明教授發(fā)明了晶體管的立體結(jié)構(gòu),

他將電流通道做成很薄的豎片,

將其三面都用柵極包夾起來,

控制通道關(guān)閉的效率就高多了。

這種結(jié)構(gòu)長得很像鯊魚背鰭(Fin),

因此也被稱為FinFET晶體管。

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FinFET技術(shù)一路披荊斬棘,

成為了先進制造市場上的先鋒。

但當(dāng)制造工藝微縮到3nm時,

漏電“魔咒”又hold不住了。

閃耀新星──GAA

既然三面包夾還在漏電,

那就四面統(tǒng)統(tǒng)包起來試試!

Gate-all-Around a.k.a GAA(全環(huán)繞柵)

是FinFET技術(shù)的終極進化版。

通過堆疊多個水平的納米線,

讓柵極包裹無死角,

精確控制電流通道,打破漏電“魔咒”。

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由于GAA與FinFET技術(shù)相似度很高,

廠商在3nm制成工藝上選擇了不同的道路。

三星選擇直接上馬GAA技術(shù),

而臺積公司則試圖深度改進FinFET。

2nm制程上巨頭們同歸殊途,

不約而同都選擇了GAA,

看來,未來能夠接棒FinFET,

提升至下一代技術(shù)的非GAA莫屬。

此外,三星設(shè)計出另一種GAA形式──

MBCFET(多橋-通道場效應(yīng)管)。

多層納米片替代了GAA中的納米線,

更大寬度的片狀結(jié)構(gòu)增加了接觸面,

在保留了所有原有優(yōu)點的同時,

還實現(xiàn)了復(fù)雜度最小化。

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新思科技和代工廠長期緊密合作,

通過DTCO

(Design Technology Co-optimization)

創(chuàng)新協(xié)同優(yōu)化FinFET,

提供面向FinFET/GAA工藝技術(shù)的解決方案,

并積極支持更先進的新型晶體管工藝,

攜手推進半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)開拓未來。

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