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      6.3.5.2 氧化后退火∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-13 11:21 ? 次閱讀
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      6.3.5.2 氧化后退火

      6.3.5 氧化硅/SiC 界面特性及其改進方法

      6.3 氧化及氧化硅/SiC 界面特性

      第６章碳化硅器件工藝

      《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

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