10.9.6 三維集成電路測試∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》
3D IC Testing
審稿人：北京大學 馮建華
審稿人：北京大學 張興 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.9先進表征技術與測試技術
第10章 集成電路基礎研究與前沿技術發(fā)展
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊
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集成電路
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