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晶圓切割機:硬脆材料劃片機的工藝參數(shù)研究!

博捷芯半導(dǎo)體 ? 2022-05-30 09:23 ? 次閱讀
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硬脆材料劃片的實現(xiàn)依賴于銳利的金剛石刀片和高精度、高剛性的劃片裝置,以及高精度的空氣靜壓主軸等來實現(xiàn)。在了解硬脆材料的性能和劃片機理的基礎(chǔ)上,作為設(shè)備制造廠家對硬脆材料劃片工藝的研究,就顯得十分必要和緊迫,對工藝參數(shù)的研究和優(yōu)化,能夠支持設(shè)備及半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。

砂輪劃片機的劃片質(zhì)量和劃片效率,與劃片工藝參數(shù)有十分密切的關(guān)系.在劃片硬脆材料中,劃切道寬度與崩邊的大小,主要是受主軸轉(zhuǎn)速、刀片、劃片速度、劃片深度、冷卻方式等工藝參數(shù)的影響。所以本研究主要是研究工藝參數(shù)最佳化,從劃片質(zhì)量、劃片效率、刀片磨塤以及鄧命上綜合考慮,得出經(jīng)濟適用的工藝參數(shù)。

具體研究內(nèi)容包括以下幾個方面:

( 1)砂輪劃片機劃切性能的研究。

( 2)金剛石砂輪刀片的特性分析研究。

( 3)劃片工藝參數(shù)主軸轉(zhuǎn)速、劃片速度、劃片深度和冷卻流且等對劃片影響的研究。

( 4)采用田口實驗法,用正交實驗對多種可控因素進行定量研究,對實驗數(shù)據(jù)進行處理,得到優(yōu)化的工藝參數(shù),并進行實驗驗證。

( 5)設(shè)備的功能完善和改進,使設(shè)備更好地滿足工藝要求。

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