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      9.6.8 化學機械拋光墊和化學機械修整盤∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-02-28 11:20 ? 次閱讀
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      Chemical Mechanical Polishing Pad and Conditioning Disc

      撰稿人：安集微電子科技(上海)股份有限公司 王淑敏

      http://page.anjimicro.com

      審稿人：浙江大學 余學功

      https://www.zju.edu.cn

      9.6 工藝輔助材料

      第9章 集成電路專用材料

      《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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