雙軸晶圓切割機(jī)—全自動(dòng)晶圓精密劃片機(jī)使用環(huán)境要求
全自動(dòng)晶圓精密劃片機(jī)使用環(huán)境要求
1、切割水：進(jìn)水管φ12mm，采用去離子水，電阻率≥2MΩ，水壓0.2Mpa-0.4Mpa，水流量大于等于13LPM，水溫控制在±1℃。
2、主軸冷卻水：進(jìn)出水管φ12mm，采用高純水，水壓0.2Mpa-0.4Mpa，水流量≥3LPM，水溫19℃-23℃。
3、電源規(guī)格：3相220V，3相5線制，除此規(guī)格以外需要加變壓器。
4、壓縮空氣：請(qǐng)使用大氣壓水汽結(jié)露點(diǎn)-15℃，油殘存不大于0.1ppm，過濾度0.01μm/99.5%以上的潔凈壓縮空氣，壓力0.5Mpa-0.6Mpa，流量450LPM。
5、抽風(fēng)口：接入φ75風(fēng)管。
6、避免把設(shè)備放置在有震動(dòng)的工作環(huán)境工作，遠(yuǎn)離鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口、高溫裝置、油污等環(huán)境。
7、室內(nèi)溫度20-25℃，溫度變化不大于±1℃
8、工廠具有防水性底板。
RO凈化水和EDI超純水制成設(shè)備
壓縮空氣/凈化設(shè)備
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