公司創(chuàng)辦至今，一直將自主創(chuàng)新放在重要位置，并高度重視研發(fā)工作。2018年，國內(nèi)外主流6英寸劃片機一直采用同步帶、渦輪蝸桿等機械輔助傳動轉(zhuǎn)臺方案。經(jīng)過數(shù)月的調(diào)查和不斷的試驗，通過大量的數(shù)據(jù)積累和不斷的設(shè)計改進，陸芯團隊成功地攻克了直驅(qū)電機轉(zhuǎn)角結(jié)構(gòu)方案，使轉(zhuǎn)角定位精度及穩(wěn)定性大幅度提高，一舉達(dá)到國際先進水平。在以公司精密劃片機型號LX-6366為代表（兼容6?12寸晶圓，雙頭切割，自動修復(fù)法蘭，CCD雙鏡頭，重復(fù)精度1μm），不僅代表了公司最先進的技術(shù)，也代表了國內(nèi)外精密劃片產(chǎn)品的領(lǐng)先技術(shù)，這標(biāo)志著陸芯精密劃片機從技術(shù)上已經(jīng)搶占了行業(yè)制高點。

6英寸主戰(zhàn)場、碳化硅——功率半導(dǎo)體的未來

碳化硅（SIC）材料是半導(dǎo)體行業(yè)的主要發(fā)展方向。當(dāng)用于制造電力設(shè)備時，它可以顯著提高電能的利用率。以碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體功率芯片和器件以其高壓、高頻、高溫、高速的優(yōu)異特性，可以大大提高各種電力電子設(shè)備的能量密度，降低成本，增強可靠性和適用性，提高功率轉(zhuǎn)換效率，降低損耗。

光伏、風(fēng)電等新能源發(fā)電、直流特高壓輸電、新能源汽車、軌道交通、工業(yè)電源、民用電器等領(lǐng)域?qū)Ω咝Чβ兽D(zhuǎn)換有著巨大的需求，而新型功率半導(dǎo)體也適應(yīng)了這一需求趨勢。未來十年是第三代功率半導(dǎo)體的創(chuàng)新加速期，滲透率將全面提升。

目前，市場上碳化硅晶片的尺寸仍集中在4英寸和6英寸。雖然已經(jīng)開發(fā)出8英寸碳化硅單晶樣品，但離大規(guī)模生產(chǎn)還有一段時間。受技術(shù)條件等因素影響，碳化硅芯片的價格也很高，不能在短時間內(nèi)完全替代硅基產(chǎn)品。因此，對于碳化硅（晶片和外延晶片）的切割，小型切割機具有獨特的優(yōu)勢。陸芯順應(yīng)市場需求，改進了自己的機型，現(xiàn)推出LX3252半自動單軸晶圓切割機。

6英寸精密劃片機主流配置

1.5KW大功率主軸；

高剛性機械結(jié)構(gòu)；

旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達(dá)；

進口超高精密導(dǎo)軌；

進口超高精密研磨級滾珠型絲桿；

全行程定位精度4μm；

自動對焦功能，CSP切割功能，在線刀痕檢測功能；

自動修磨法蘭功能；

此次陸芯推出的6寸專用精密劃片機，在軟件方面繼承和優(yōu)化了公司最新的軟件技術(shù)，如：工件形狀的識別和功能，更友好人機界面。由于機械結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu)相對最先進的XL-6366要簡單。所以，在設(shè)備后期的維護成本上會更低，這對于只需要用到6寸劃片機的廠商來講無疑是個巨大的福音，并且陸芯在設(shè)備的交貨周期上，也比最先進的設(shè)備交期提前不少。