3D測量儀適用于各種工件形狀(包含孔、弧面、斜面）等特征尺寸測量，如高度、段差、厚度、平面度、輪廓度等。穩(wěn)定測量各類材質(zhì)產(chǎn)品，如金屬、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品。3D顯微測量產(chǎn)品有哪些？

1、白光干涉儀

白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)3D顯微測量儀器。

2、共聚焦顯微鏡

基于共聚焦顯微測量技術(shù)的激光共聚焦顯微鏡，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等能對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。

3、顯微尺寸測量儀
將顯微成像與傳統(tǒng)影像測量相結(jié)合的顯微尺寸測量儀，實(shí)現(xiàn)了微小特征的大范圍測量。配置電動塔臺，可以自動切換到不同倍率，探測各種精密微觀二維尺寸特征。尺寸測量功能豐富，可進(jìn)行各種二維尺寸點(diǎn)、線、圓等的測量和形位公差的評價。