3D測量儀適用于各種工件形狀(包含孔、弧面、斜面)等特征尺寸測量,如高度、段差、厚度、平面度、輪廓度等。穩(wěn)定測量各類材質產品,如金屬、玻璃、陶瓷等產品。3D顯微測量產品有哪些?
1、白光干涉儀
白光干涉儀以白光干涉技術為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學3D顯微測量儀器。


2、共聚焦顯微鏡
基于共聚焦顯微測量技術的激光共聚焦顯微鏡,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等能對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。


3、顯微尺寸測量儀
將顯微成像與傳統(tǒng)影像測量相結合的顯微尺寸測量儀,實現了微小特征的大范圍測量。配置電動塔臺,可以自動切換到不同倍率,探測各種精密微觀二維尺寸特征。尺寸測量功能豐富,可進行各種二維尺寸點、線、圓等的測量和形位公差的評價。


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