碳化硅襯底是碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中成本最高、技術(shù)門(mén)檻最高的環(huán)節(jié)之一。近期,受到新能源汽車(chē)、光伏和儲(chǔ)能等市場(chǎng)的推動(dòng),碳化硅廠商紛紛投資建設(shè)8英寸晶圓生產(chǎn)線,。國(guó)內(nèi)外廠商如Wolfspeed、羅姆、英飛凌、意法半導(dǎo)體、三星和三菱電機(jī)等都宣布參與8英寸碳化硅生產(chǎn)的競(jìng)爭(zhēng)。
Wolfspeed和羅姆早在2015、2016年左右就已經(jīng)發(fā)布了8英寸碳化硅產(chǎn)品。
日本半導(dǎo)體廠商羅姆預(yù)計(jì)將于2023年開(kāi)始量產(chǎn)8英寸碳化硅襯底。
德國(guó)功率半導(dǎo)體廠商英飛凌計(jì)劃在2023年開(kāi)始量產(chǎn)8英寸襯底,2025年量產(chǎn)8英寸碳化硅器件。
2020年,天岳先進(jìn)啟動(dòng)8英寸碳化硅襯底的研發(fā),此后曾宣布成功研發(fā)了8英寸碳化硅襯底,但目前其8英寸產(chǎn)品尚未達(dá)到量產(chǎn)程度。
今年5月,天岳先進(jìn)、天科合達(dá)簽約英飛凌,供貨碳化硅6英寸襯底、合作制備8英寸襯底,6月三安光電與意法半導(dǎo)體結(jié)盟升級(jí),斥資32億美元共建8英寸碳化硅外延。
2022年1月,爍科晶體實(shí)現(xiàn)8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)。
國(guó)內(nèi)天岳先進(jìn)、天科合達(dá)、三安光電等公司已與國(guó)際巨頭英飛凌和意法半導(dǎo)體達(dá)成合作,共同推進(jìn)8英寸碳化硅襯底的制備和外延生長(zhǎng)。然而,雖然已有部分企業(yè)成功研發(fā)出8英寸碳化硅襯底,但量產(chǎn)尚未達(dá)到規(guī)模。
根據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole的預(yù)測(cè),2021年至2027年全球碳化硅功率器件市場(chǎng)規(guī)模有望保持年均34%的復(fù)合增速,從10.9億美元增長(zhǎng)至62.97億美元。其中,車(chē)規(guī)級(jí)市場(chǎng)是碳化硅的主要應(yīng)用領(lǐng)域,預(yù)計(jì)從2021年的6.85億美元增長(zhǎng)至2027年的49.86億美元。在新能源產(chǎn)業(yè)強(qiáng)勁需求的推動(dòng)下,全球碳化硅產(chǎn)業(yè)進(jìn)入高速發(fā)展期,碳化硅襯底供不應(yīng)求。作為功率元器件中成本占比最大、品質(zhì)關(guān)鍵的環(huán)節(jié),碳化硅襯底也成為國(guó)際巨頭布局碳化硅產(chǎn)業(yè)的重要戰(zhàn)略。
碳化硅8英寸和12英寸區(qū)別
碳化硅(Silicon Carbide,SiC)是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和電力電子領(lǐng)域的材料。在碳化硅晶圓制備過(guò)程中,晶圓的直徑可以有不同的尺寸,如8英寸和12英寸。
主要區(qū)別如下:
直徑:8英寸和12英寸分別指的是碳化硅晶圓的直徑。8英寸晶圓直徑約為200毫米,而12英寸晶圓直徑約為300毫米。
面積:由于直徑不同,8英寸和12英寸碳化硅晶圓的表面積存在差異。12英寸晶圓的表面積比8英寸晶圓大,因此能提供更多的制造空間,可以容納更多的芯片或器件。
生產(chǎn)難度和成本:由于尺寸較大,12英寸碳化硅晶圓的生產(chǎn)相對(duì)更具挑戰(zhàn)性,制備技術(shù)和設(shè)備要求更高。與之相比,8英寸晶圓的生產(chǎn)難度較小,制備成本也相對(duì)較低。
應(yīng)用范圍:8英寸和12英寸碳化硅晶圓在不同的應(yīng)用領(lǐng)域具有不同的用途。較小尺寸的8英寸晶圓通常用于低功耗和高溫應(yīng)用,例如電力電子和汽車(chē)行業(yè)。而較大尺寸的12英寸晶圓則更適合用于高功率和高頻率應(yīng)用,如通信設(shè)備和射頻功放器件。
具體應(yīng)用情況還受到制造工藝、產(chǎn)品需求和市場(chǎng)趨勢(shì)的影響。
編輯:黃飛
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