據(jù)徐州日報報道,近日,徐州高新區(qū)再傳捷報—— 江蘇集芯先進材料有限公司(以下簡稱 “江蘇集芯”)成功出爐首枚 8 英寸液相法(LPE)高質(zhì)量碳化硅單晶。經(jīng)檢測,晶體面型、晶型與結晶質(zhì)量均達到預期目標,標志著江蘇集芯在第三代半導體核心材料領域再下一城,也為我國碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控寫下關鍵一筆。
碳化硅晶體是第三代半導體的重要基礎材料,在6/8 英寸物理氣相傳輸法(PVT)已實現(xiàn)量產(chǎn)的基礎上,江蘇集芯 “自我革命”,僅用半年便完成液相法工藝從 6 英寸到 8 英寸的研發(fā)跨越。相比 PVT,液相法在生產(chǎn)效率、材料利用率、成本控制及大尺寸擴徑等方面優(yōu)勢顯著,被公認為下一代碳化硅長晶的核心路線。全球范圍內(nèi),僅極少數(shù)頂尖機構曾試制出液相法晶體,真正邁入 8 英寸級仍屬罕見。江蘇集芯此次突破為未來低成本、低缺陷、易摻雜的碳化硅晶體生產(chǎn)打通了 “快車道”。
截至目前,江蘇集芯已布局專利167 件,其中發(fā)明專利 83 件,覆蓋晶體生長等全流程。此次液相法 8 英寸單晶的成功,將進一步夯實其 “大尺寸 + 低成本” 雙輪驅動戰(zhàn)略,為后續(xù)產(chǎn)能擴張、市場份額提升和長期價值增長奠定技術底座。
江蘇集芯的新突破,不僅提升了我國第三代半導體材料的戰(zhàn)略安全水平,也為徐州打造千億級第三代半導體產(chǎn)業(yè)集群注入了“加速度”,有望吸引更多上下游企業(yè)集聚,形成 “材料 — 芯片 — 系統(tǒng)” 完整生態(tài),進一步放大區(qū)域在全球新興產(chǎn)業(yè)版圖中的聲量與影響力。
來源:半導體芯科技
審核編輯 黃宇
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江蘇集芯首枚8英寸液相法高質(zhì)量碳化硅單晶出爐?
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