安裝新鍍膜系統(tǒng)或維護現(xiàn)有系統(tǒng)時, 經(jīng)常會發(fā)生泄漏. 可能是由于連接錯誤或忘記密封或密封件有缺陷. 氦質(zhì)譜檢漏儀的正確使用對于發(fā)現(xiàn)鍍膜產(chǎn)線泄漏和日常維護十分重要.

氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線時建議考慮以下二點
1. 大漏檢測
真空鍍膜設備調(diào)試或維護之后出現(xiàn)的泄漏往往很大, 市場上常見的氦氣檢漏儀最大工作壓力通常在約 6 至 25 mbar 之間. 如果存在大量泄漏, 抽真空時有可能無法達到此壓力. 下圖展示的是一臺 Si3N4 氮化硅鍍膜系統(tǒng). 在某次維護之后, 抽真空時只能達到 80 mbar 的壓力. 為了在如此高的工作壓力之下依然能夠進行檢漏, 推薦選用上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340. ASM 340 檢漏儀特有的定性大漏檢測模式 ( 在 100 hPa 即可進行大漏測試 ) , 借助此模式即可定位存在的漏點.

2. 使用鍍膜系統(tǒng)自帶輔助泵, 協(xié)助抽氣
將氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線的前級真空線上. 可以快速抽空大量氣體, 提高檢漏節(jié)拍, 并且可以保護檢漏儀不受熱應力的影響, 延長檢漏儀維護周期, 降低運營成本.

氦質(zhì)譜檢漏儀真空鍍膜生產(chǎn)線檢漏方法:
采用真空法檢漏, 設定真空模式下漏率值, 鍍膜機不需要停機, 直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀, 在懷疑有漏的地方(管路, 接頭等)噴氦氣, 即可完成檢漏.

上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀技術參數(shù)

	型號	ASM 340 W	ASM 340 D	ASM 340 I
	進氣口法蘭	DN25ISO-KF
	檢測氣體	氫氣和氦氣
	對氦氣4He 的最小檢測漏率	真空模式: 1X10-12mbar l/s, 吸槍模式: 5X10-9mbar l/s
	檢測模式	真空模式 (負壓) 和吸槍模式 (正壓)
	檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
	無校準啟動時間	約 3 min
	響應時間	<1 s
	Interface 接口	RS-232, 基本I/O, 現(xiàn)場總線選項和 USB
	對氦氣的抽氣速度	2.5 l/s
	進氣口最大壓力	25 mbar		5 mbar
	前級泵抽速	油泵 15 m3/h	隔膜泵 3.4 m3/h	不含前級泵
	工作溫度	0-45°C (真空模式) 0-40 °C (吸槍模式)	0-35 °C	0-40 °C
	電壓	100-110 V AC, 50/60 Hz 200-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz
	功耗	850 W	600 W	350 W
	重量	56 kg	45 kg	32 kg
	尺寸	547x350x389 mm

上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用.氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.